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전자현미경의 전자선 방출부의 대향하는 위치에 방사성 동위원소 전지용 에너지 흡수체를 위치시키는 에너지 흡수체 배치단계;상기 에너지 흡수체에 프로브워크스테이션과 연결되는 2개의 전극을 연결하는 전극 연결단계;상기 프로브워크스테이션과 전기특성 평가장치를 연결하는 특성평가 준비단계;상기 전자선 방출부에서 방출되는 전자선을 에너지 흡수체에 조사하며 에너지 흡수체의 전기적 특성을 평가하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 성능 평가단계;상기 에너지 흡수체에 조사할 방사선량을 결정하는 방사선량 결정단계;상기 에너지 흡수체에 결정된 방사선량을 조사하는 방사선 조사단계; 및방사선이 조사된 에너지 흡수체의 성능을 다시 평가하는 성능 재평가단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 1에 있어서,상기 동위원소 전지용 에너지 흡수체는 실리콘, 실리콘 카바이드(SiC) 또는 질화갈륨(GaN) 기반의 P-N 접합 다이오드 반도체로 구성되는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 1에 있어서,상기 방사선 조사단계에서 조사되는 방사선은 베타선(beta-ray), 엑스선(X-ray) 또는 감마선(gamma-ray) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 1에 있어서,상기 방사선 조사단계에서 조사되는 방사선은 63Ni, 3H, 90Sr, 204Tl, 또는 85Kr이 방출하는 베타선의 에너지 범위인 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 4에 있어서,상기 방사선 조사단계는 주사 전자 현미경(SEM)의 전자선 방출부를 이용하는 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 5에 있어서,상기 전자선 방출부에서 방출되는 전자선의 에너지는 5 내지 40 keV 범위인 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 1에 있어서,상기 방사선 조사단계에서 조사되는 방사선은 1 내지 10 MeV의 에너지 범위인 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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청구항 1에 있어서,상기 방사선 조사단계는 베타선을 1 내지 100,000 Hz 범위에서 펄스로 조사하는 것을 특징으로 하는 동위원소 전지용 에너지 흡수체의 전기특성 및 방사선에 대한 내구성 평가방법
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