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양방향성 트랜지스터와 이를 이용한 접촉신호 전달감지센서

  • 기술번호 : KST2019036708
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 양방향성 트랜지스터와 이를 이용한 접촉신호 전달감지센서에 관한 것으로, 상기 양방향 트랜지터는 기판: 상기 기판 위에 형성되는 게이트 전극; 상기 기판과 상기 게이트 전극 위에 형성되는 SiOC 박막으로 이루어진 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 서로 이격하여 형성되는 소스 전극부 및 드레인 전극부를 포함하고, 상기 소스 전극부와 드레인 전극부는, 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극 좌우에 배치되는 소스 대표전극 및 드레인 대표전극과, 상기 소스 대표전극 및 드레인 대표전극 사이에 복수개의 소스 서브전극과 드레인 서브전극을 교대로 반복하여 배열한 것을 특징으로 하는 것이다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H02H 9/02 (2006.01.01)
CPC H01L 29/78648(2013.01) H01L 29/78648(2013.01) H01L 29/78648(2013.01) H01L 29/78648(2013.01) H01L 29/78648(2013.01)
출원번호/일자 1020170079316 (2017.06.22)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2014315-0000 (2019.08.20)
공개번호/일자 10-2019-0000233 (2019.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20190826) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오데레사 대한민국 충청북도 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 추혁 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***-** 효성아이씨티타워 ****호(지엠국제특허)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0601359-40
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0569490-53
3 협의요구서
Request for Consultation
2018.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0569487-15
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1036412-33
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1036397-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1039295-02
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0117491-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0183299-84
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0183284-00
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0294207-11
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0646015-17
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0645979-26
13 등록결정서
Decision to grant
2019.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0596716-44
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번호 청구항
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게이트 전원부가 게이트 전극에 연결되는 제1양방향 트랜지스터와, 부하가 드레인 전극에 연결되는 제2양방향 트랜지스터를 포함하는 접촉신호 전달감지센서로서, 상기 제1 및 제2양방향성 트랜지스터는, 기판; 상기 기판 위에 형성되는 게이트 전극; 상기 기판과 상기 게이트 전극 위에 형성되는 SiOC 박막으로 이루어진 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 서로 이격하여 형성되는 소스 전극부 및 드레인 전극부를 포함하고, 상기 소스 전극부와 드레인 전극부는, 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극 좌우에 배치되는 소스 대표전극 및 드레인 대표전극과,상기 소스 대표전극 및 드레인 대표전극 사이에 소스 서브전극 및 드레인 서브전극이 양단부에 형성되는 복수개의 금속배선을 서로 이격하여 배열되고, 상기 제1양방향성 트랜지스터는 게이트 전극과 드레인 전극 사이에서 확산전류에 의한 전기신호가 발생하며,상기 제2양방향성 트랜지스터는 게이트 전극와 드레인 전극 사이로 확산전류에 의한 전기신호를 수신하는 것을 특징으로 하는 양방향성 트랜지스터를 이용한 접촉신호 전달감지센서
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제 10항에 있어서,상기 제1 및 제2양방향성 트랜지스터는, 상기 게이트 절연막 위에 형성되는 층간전극;상기 층간전극 위에 SiOC 박막으로 이루어진 또 하나의 게이트 절연막;을 더 형성하며,상기 층간전극과 상기 또 하나의 게이트 절연막이 상기 게이트 절연막과 상기 소스 전극부 및 상기 드레인 전극부 사이에 교대로 반복하여 적층된 것을 특징으로 하는 양방향성 트랜지스터를 이용한 접촉신호 전달감지센서
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제 10항에 있어서,상기 제1양방향성 트랜지스터의 게이트 전극에 연결되는 전원부는 휘스톤 브리지를 포함하는 교류전원이 연결되고, 상기 제2양방향성 트랜지스터의 게이트 전극에는 커패시터와 휘스톤 브리지가 병렬연결되는 것을 특징으로 하는 양방향성 트랜지스터를 이용한 접촉신호 전달감지센서
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 청주대학교 개인연구지원 초고속 터널링트랜지스터를 이용한 투명바이오센서