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제1차동차이 증폭기와 제2차동차이 증폭기를 포함하며, 테스트 대상 소자를 연결하고, 상기 테스트 대상 소자에 전압을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 흐르는 전류를 측정하는 FVMI 모드, 상기 테스트 대상 소자에 전압을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압을 측정하는 FVMV 모드, 상기 테스트 대상 소자에 전류을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 흐르는 전류를 측정하는 FIMI 모드 및 상기 테스트 대상 소자에 전류을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압를 측정하는 FIMV 모드 중에서 선택된 하나의 모드에서 측정을 수행하는 DC 파라메터 측정 유닛에 있어서,상기 제1차동차이 증폭기의 출력단자에 저항(Rs)의 일 단을 연결하고, 상기 저항(Rs)의 타 단은 상기 테스트 대상 소자에 연결되며, 상기 제1차동차이 증폭기의 비 반전 양의 입력단자에는 입력전압(Vin)이 연결되며, 상기 제1차동차이 증폭기의 비 반전 음의 입력단자에는 공통전압(Vcm)이 연결되며, 상기 제2차동차이 증폭기의 비 반전 음의 입력단자는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결하고, 반전 음의 입력단자는 제7모드스위치를 통하여 상기 입력전압(Vin) 또는 상기 공통전압(Vcm)와 연결되며,상기 제7모드스위치는 상기 FVMI 모드에서는 상기 입력전압(Vin)이 인가되도록 스위칭되며 상기 FVMI 모드를 제외한 나머지 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)이 인가되도록 스위칭되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제1항에 있어서,상기 제2차동차이 증폭기의 비 반전 양의 입력단자는 상기 FIMI 모드에서 상기 저항(Rs)의 일 단과 연결되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2차동차이 증폭기의 반전 양의 입력단자와 각각 일 단이 연결되는 제1스위치(SW1) 및 제2-1스위치(SW2-1)와,상기 제2-1스위치(SW2-1)의 타 단은 저항(R2)의 일 단과 저항(R1)의 일 단과 연결되며, 상기 저항(R1)의 타 단은 제8모드스위치(MSW8)을 통해 상기 공통전압(Vcm) 또는 상기 입력전압(Vin)과 선택적으로 연결되며,상기 저항(R2)의 타 단은 제2-2스위치(SW2-2)를 통해 상기 제2차동차이 증폭기의 출력단과 연결되며,상기 제8모드스위치(MSW8)는 상기 FVMI 모드에서는 상기 입력전압(Vin)이 인가되도록 스위칭되며, 상기 FVMI 모드를 제외한 나머지 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)이 인가되도록 스위칭되며,상기 제1스위치(SW1)가 온 상태일 경우에는 상기 제2-1스위치(SW2-1) 및 제2-2스위치(SW2-2)는 오프 상태로 유지되며, 상기 제1스위치(SW1)가 오프 상태일 경우에는 상기 제2-1스위치(SW2-1) 및 제2-2스위치(SW2-2)는 온 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제1차동차이 증폭기와 제2차동차이 증폭기를 포함하며, 테스트 대상 소자를 연결하고, 상기 테스트 대상 소자에 전압을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 흐르는 전류를 측정하는 FVMI 모드, 상기 테스트 대상 소자에 전압을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압을 측정하는 FVMV 모드, 상기 테스트 대상 소자에 전류을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 흐르는 전류를 측정하는 FIMI 모드 및 상기 테스트 대상 소자에 전류을 인가한 후 상기 테스트 대상 소자에 인가되는 전압를 측정하는 FIMV 모드 중에서 선택된 하나의 모드에서 측정을 수행하는 DC 파라메터 측정 유닛에 있어서,상기 제1차동차이 증폭기의 출력단자에 저항(Rs)의 일 단을 연결하고, 상기 저항(Rs)의 타 단은 상기 테스트 대상 소자에 연결되며, 상기 제1차동차이 증폭기의 비 반전 양의 입력단자에는 입력전압(Vin)이 연결되며, 상기 제1차동차이 증폭기의 비 반전 음의 입력단자에는 공통전압(Vcm)이 연결되며, 상기 제2차동차이 증폭기의 비 반전 음의 입력단자는 제6모드스위치(MSW6)를 통해서 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되거나 또는 공통전압(Vcm)에 연결되며,상기 제2차동차이 증폭기의 반전 음의 입력단자는 제7모드스위치(MSW7)를 통해서 상기 공통전압(Vcm) 또는 입력전압(Vin)에 연결되며,상기 제6모드스위치(MSW6)는 상기 FIMI 모드에서는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되도록 스위칭되며, 상기 FIMV 모드 또는 상기 FVMV 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)과 연결되도록 스위칭되며,상기 제7모드스위치는 상기 FVMI 모드에서는 상기 입력전압(Vin)이 인가되도록 스위칭되며, 상기 FVMI 모드를 제외한 나머지 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)이 인가되도록 스위칭되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제4항에 있어서,상기 제2차동차이 증폭기의 비 반전 양의 입력단자는 상기 FIMI 모드 상태에서는 상기 제1차동차이 증폭기의 출력단과 연결되고, 상기 FVMV 모드, 상기 FIMV 모드 및 상기 FVMI 모드에서 선택된 하나의 모드에서는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제4항 또는 제5항에 있어서,상기 제1차동차이 증폭기의 반전 음의 입력단자는 제1모드스위치(MSW1)을 통해서 상기 공통전압(Vcm) 또는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되며,상기 제1모드스위치(MSW1)은 상기 FVMV 모드 및 상기 FVMI 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)과 연결되도록 스위칭되며, 상기 FIMV 모드 및 상기 FIMI 모드에서는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되도록 스위칭되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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7
제6항에 있어서,상기 제1차동차이 증폭기의 반전 양의 입력단자는 FIMI 모드 또는 FIMV 모드에서는 상기 저항(Rs)의 일 단과 연결되고, FVMI 모드 또는 FVMV 모드에서는 상기 저항(Rs)의 타 단과 연결되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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제7항에 있어서,상기 제2차동차이 증폭기의 반전 양의 입력단자와 각각 일 단이 연결되는 제1스위치(SW1) 및 제2-1스위치(SW2-1)와,상기 제2-1스위치(SW2-1)의 타 단은 저항(R2)의 일 단과 저항(R1)의 일 단과 연결되며, 상기 저항(R1)의 타 단은 제8모드스위치(MSW8)을 통해 상기 공통전압(Vcm) 또는 상기 입력전압(Vin)과 선택적으로 연결되며,상기 저항(R2)의 타 단은 제2-2스위치(SW2-2)를 통해 상기 제2차동차이 증폭기의 출력단과 연결되며,상기 제8모드스위치(MSW8)는 상기 FVMI 모드에서는 상기 입력전압(Vin)이 인가되도록 스위칭되며, 상기 FVMI 모드를 제외한 나머지 모드에서는 상기 공통전압(Vcm)이 인가되도록 스위칭되며,상기 제1스위치(SW1)가 온 상태일 경우에는 상기 제2-1스위치(SW2-1) 및 제2-2스위치(SW2-2)는 오프 상태로 유지되며, 상기 제1스위치(SW1)가 오프 상태일 경우에는 상기 제2-1스위치(SW2-1) 및 제2-2스위치(SW2-2)는 온 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 DC 파라메터 측정 유닛
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