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이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법

  • 기술번호 : KST2019037865
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 촉매금속을 사용하지 않고, 이산화주석 나노구조물에 대한 열처리 공정이 제거되며, 기판 표면에 이산화주석 나노구조물을 직접 성장하는 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법을 개시한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/16 (2006.01.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020170082221 (2017.06.29)
출원인 목원대학교 산학협력단, (주) 월드테크
등록번호/일자 10-1921603-0000 (2018.11.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 목원대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 서구
2 (주) 월드테크 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기출 대한민국 대전광역시 중구
2 장훈식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 맹성재 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** (둔산동) 수협빌딩 *층(RnD특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 목원대학교 산학협력단 대전광역시 서구
2 주식회사 월드테크 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0622998-31
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0637027-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0078301-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0396747-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0794682-98
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0794683-33
8 등록결정서
Decision to grant
2018.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0761830-33
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.12.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5262504-12
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
석영관 내부에 이산화주석 파우더를 배치하고, 소정의 간격으로 이격되어 기판을 배치하는 단계;상기 석영관 외부를 가열하는 가열수단을 이용하여 이산화주석 파우더를 이산화주석 기화물로 승화하는 단계;가스주입수단을 이용하여 이산화주석 기화물을 이송하는 불활성 가스 및 이산화주석 기화물과 반응하는 반응성 가스를 포함하는 캐리어 가스를 주입하는 단계 및상기 캐리어 가스에 의해 기판 표면에 이산화주석 기화물을 증착시켜 이산화주석 나노구조물로 성장하는 단계를 포함하여,이산화주석 파우더와 기판 간의 거리를 고려하여 영역별로 각각 제어하여, 이산화주석 파우더가 배치된 제1 영역을 제1 가열수단으로 기상화 온도로 가열하고, 기판이 배치된 제2 영역을 제2 가열수단으로 성장 온도로 가열하며,촉매금속을 사용하지 않고, 이산화주석 나노구조물에 대한 열처리 공정이 제거되며, 기판 표면에 이산화주석 나노구조물을 직접 성장하는 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 가스주입수단은 500~1200SCCM 유량으로 불활성 가스를 주입하고, 1~100SCCM 유량으로 반응성 가스를 주입하는 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법
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삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 제1 가열수단은 800~ 1200℃의 기상화 온도로 1~4시간 동안 가열하고, 제2 가열수단은 300~ 700℃의 성장 온도로 1~4시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 이산화주석 파우더와 기판 간의 거리는 10~70cm인 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 이산화주석 나노구조물 상부에 2개의 전극을 형성하고, 전극을 통하여 검출 시간간격으로 수소가스의 저항값을 검출하며, 연산수단을 통하여 저항값을 누적하여 검출시간에 따른 저항변화율을 연산하는 것을 특징으로 하는 이산화주석 나노구조물을 포함하는 수소가스 검출장치 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 목원대학교 산학협력단 2016년 산학연협력 기술개발사업 기능성 나노소재 기반의 고감도/저비용 수소 감지 센서 개발