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은나노와이어를 포함하는 도전성 막에 사용되는 에칭액 조성물, 이를 이용한 투명 전극 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019037965
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 은나노와이어를 기반으로 하는 투명 전극의 제조시 헤이즈 차이로 발생하는 시인성의 문제점을 해결할 수 있는 에칭액 조성물에 관한 것으로, 산소계 산화제; 카르복실산류; 및 환원방지제를 포함하는 에칭액 조성물을 이용하면, 패턴 시인성의 문제점이 해결된 투명 전극을 제조할 수 있다.
Int. CL C23F 1/30 (2006.01.01) H01B 1/16 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01)
CPC C23F 1/30(2013.01) C23F 1/30(2013.01) C23F 1/30(2013.01)
출원번호/일자 1020160033202 (2016.03.21)
출원인 정병현, 재단법인 구미전자정보기술원
등록번호/일자 10-1744520-0000 (2017.06.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 정병현 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 재단법인 구미전자정보기술원 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정병현 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 임철순 대한민국 경기도 수원시 팔달구
3 정연재 대한민국 경상북도 구미시
4 박재성 대한민국 경상북도 구미시
5 박성은 대한민국 경상북도 구미시
6 김삼수 대한민국 경상북도 구미시
7 황도연 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정은 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호 (역삼동, 동원빌딩)(양지특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 정병현 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 재단법인 구미전자정보기술원 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0266930-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2016-0051531-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0020186-78
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0206230-50
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0206229-14
7 등록결정서
Decision to grant
2017.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0330204-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.28 수리 (Accepted) 4-1-2018-0010296-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
산소계 산화제, 카르복실산류 및 환원방지제를 포함하는 에칭액 조성물로,상기 산소계 산화제는 염소산나트륨(NaClO3), 차아염소산나트륨(NaOCl) 및 과염소산(HClO)로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 은나노와이어를 포함하는 도전성 막에 사용되는 에칭액 조성물
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 카르복실산류는 모노카르복실산류, 다이카르복실산류, 트리카르복실산류 및 아크릴산류로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 은나노와이어를 포함하는 도전성 막에 사용되는 에칭액 조성물
4 4
제 3항에 있어서,상기 모노카르복실산류는 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부틸산 또는 벤조산이며,상기 다이카르복실산류는 옥살산, 말론산, 숙신산, 말레익산, 푸마릭산 또는 프탈산이며,상기 트리카르복실산류는 시트르산 또는 이소시트르산인 것을 특징으로 하는 은나노와이어를 포함하는 도전성 막에 사용되는 에칭액 조성물
5 5
염소산나트륨(NaClO3) 5-30중량%, 차아염소산나트륨(NaOCl) 1-20중량% 및 과염소산(HClO) 1-20중량%;카르복실산류 0
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
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9 9
삭제
10 10
은나노와이어를 포함하는 도전성 막에 사용되는 에칭액 조성물을 이용하여 제조된 투명 전극으로서,은나노와이어가 코팅된 기판을 전열처리한 후 포토레지스트를 코팅하고 패터닝하는 단계, 상기 패터닝 단계 이후 상기 포토레지스트를 제거하는 단계 및 상기 제 1항의 에칭액 조성물을 이용하여 상기 은나노와이어를 에칭하는 단계를 포함하는 제조방법에 의해 제조되며,상기 은나노와이어 에칭 단계에서, 상기 은나노와이어는 상기 에칭액 조성물과 접촉하여 절연성을 갖도록 변성되며,도전성 영역과 절연성 영역 간의 헤이즈 차가 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.