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기판;상기 기판상에 형성되는 유연 재질의 절연성 물질층; 및상기 절연성 물질층상에 형성된 전도성 물질층을 포함하며,상기 절연성 물질층은 상층의 면적이 하층보다 좁아지는 다층 구조의 돌출부를 포함하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 1에 있어서,상기 돌출부에는 상층과 하층상에 각각 형성된 전도성 물질층이 서로 연결되도록 전도성 물질로 채워지는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 2에 있어서,상기 홈은 상기 돌출 영역의 일측면에서 타측면을 가로지르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 3에 있어서,상기 기판은 유연 재질의 기판인 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 4에 있어서,상기 전도성 물질은 압전 물질인 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 4에 있어서,상기 돌출부 상부에서 상기 돌출부와 이격되어 위치하는 제 1 전극; 및 상기 전도성 물질층과 연결된 제 2 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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청구항 4에 있어서,상기 압력 인가시 상기 돌출부 상부에서 상기 전도성 물질층과 접촉하는 제 1 전극; 및상기 돌출부와 이격되어 상기 전도성 물질층과 연결된 제 2 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자
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8
센서 기판상에 상층의 면적이 하층보다 좁아지는 다층 구조의 돌출부를 포함하는 유연 재질의 절연성 물질층을 형성하는 단계; 및상기 절연성 물질층상에 전도성 물질층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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청구항 8에 있어서,몰드 기판에 하층의 면적이 상층보다 좁아지는 다층 구조의 홈부를 형성하는 단계;상기 몰드 기판의 홈부상에 상기 유연 재질의 절연성 물질층을 형성하는 단계; 및상기 몰드 기판상에 형성된 유연 재질의 절연성 물질층을 상기 센서 기판으로 전사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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10
청구항 9에 있어서,상기 홈부의 일부 영역상에 상기 홈부의 상층과 하층을 연결하는 연결부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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11
청구항 10에 있어서,상기 연결부는 상기 홈부의 일측면에서 타측면을 가로지르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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12
청구항 11에 있어서,상기 홈부의 다층 구조는 상기 몰드 기판을 서로 다른 면적으로 반복 식각함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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청구항 12에 있어서,상기 홈부는 식각 깊이에 따라 경사지도록 식각되는 것을 특징으로 하는 압력 센서 소자 제조 방법
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