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제공된 레이저의 강도를, 상기 레이저의 진행 경로에 대한 입사 각도에 따라 조절하는 어테뉴에이터 미러(Attenuator Mirror); 및상기 어테뉴에이터 미러를 통과한 레이저의 경로 상에 위치하며, 상기 어테뉴에이터 미러를 투과 시에 상기 입사 각도에 의하여 변화된 레이저의 편광 상태를 조절하는 편광 제어부를 포함하되,상기 편광 제어부는 반파장판을 포함하며,상기 반파장판의 회전에 따라 상기 입사 각도에 의하여 변화된 레이저의 편광 상태가 조절되고,상기 편광 제어부는, 상기 어테뉴에이터 미러와 상기 반파장판 사이의 레이저 경로에 위치하는 선형 편광판을 더 포함하는 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서,상기 어테뉴에이터 미러와 상기 선형편광판 사이의 레이저 경로에 위치하여 레이저 경로를 보상하는 보상 미러를 더 포함하는 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서,상기 편광 제어부는 P-편광 상태 또는 S-편광 상태의 레이저 중 선택된 편광 상태의 레이저를 레이저 형상 변환 모듈로 제공하는 레이저 결정화 장치
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제공된 레이저의 강도를, 상기 레이저의 진행 경로에 대한 입사 각도에 따라 조절하는 어테뉴에이터 미러;상기 입사 각도를 제어하는 어테뉴에이터 미러 구동기;상기 어테뉴에이터 미러를 통과한 레이저의 경로 상에 위치하는 반파장판; 및상기 반파장판을 회전시켜, 상기 어테뉴에이터 미러를 투과시에 상기 입사 각도에 의하여 변화된 레이저의 편광 상태를 조절하는 반파장판 구동기를 포함하되,상기 어테뉴에이터 미러와 상기 반파장판 사이의 레이저 경로에 위치하는 선형 편광판을 더 포함하는 레이저 결정화 장치
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제6 항에 있어서,상기 어테뉴에이터 미러를 통과한 레이저 경로를 보상하는 보상 미러,상기 레이저 경로 상에서의 상기 보상 미러의 위치를 조절하는 보상 미러 구동기, 및상기 어테뉴에이터 미러에 의하여 조절된 레이저의 강도 변화량에 기초하여 상기 보상 미러 구동기를 구동하는 제어부를 더 포함하는 레이저 결정화 장치
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제6 항에 있어서,레이저 결정화 대상체에 가해지는 레이저 편광 상태 변화에 따라 상기 반파장판 구동기를 제어하는 제어부를 더 포함하는 레이저 결정화 장치
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제1 편광 상태로 이루어지고 제1 강도를 가지는 레이저를 준비하는 제1 단계;상기 레이저의 제1 강도를 변경시켜야 하는 경우, 레이저의 입사 각도에 따라 강도를 변화시키는 어테뉴에이터 미러를 회전시켜, 상기 레이저의 강도를 제2 강도로 변경시키는 제2 단계; 및상기 제2 단계에 의하여 강도가 조절된 레이저가 상기 제1 편광 상태를 가지도록 반파장판을 회전시키는 제3 단계를 포함하되, 상기 어테뉴에이터 미러와 상기 반파장판 사이의 레이저 경로에는 선형 편광판이 배치되는 레이저 결정화 장치 제어 방법
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제9항에 있어서,상기 제1 편광 상태는 P 편광 상태 또는 S 편광 상태인 레이저 결정화 장치 제어 방법
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