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복수 개의 유입포트 및 각각의 유입포트로 유입된 시료들이 합류하여 형성된 액적이 배출되도록 마련된 배출 포트를 갖는 액적 발생부;배출 포트와 유체 이동 가능하게 연결된 교반 채널을 포함하는 액적 교반부; 및마이크로웰을 포함하며, 액적 및 특정 시료의 밀도 차이에 의해 마이크로웰로 액적이 부유하도록 마련된 액적 부유부를 포함하는 실리카 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,복수 개의 유입포트는 제1 시료가 유입되는 제1 유입포트, 제2 시료가 유입되는 제2 유입포트 및 제3 시료가 유입되는 제3 유입포트를 포함하며,제1 시료 내지 제3 시료는 배출포트에서 합류하는 실리카 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,제3 유입포트는, 제3 시료가 배출포트의 합류 지점의 양 측에서 합류되도록 마련된 실리카 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,액적 교반부의 교반 채널은, 액적 발생부에서 유입된 액적의 유동 시, 액적을 가압하도록 마련된 실리카 입자 제조장치
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제 4 항에 있어서,액적 교반부의 교반 채널은 액적 내부에서 유체 유동이 발생함으로써 교반을 유도하도록 마련된 실리카 입자 제조장치
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제 5 항에 있어서,교반 채널은 마이크로채널인 실리카 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서, 액적 부유부는 교반 채널과 연결된 주 채널을 포함하고,마이크로웰은 주 채널 상부에 위치하고, 주 채널 측으로 개방된 실리카 입자 제조장치
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제 7 항에 있어서, 액적 부유부는 반전 가능하게 마련된 실리카 입자 제조장치
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제 7 항에 있어서,주채널의 높이는 100㎛이고, 마이크로웰의 깊이는 100㎛인 실리카 입자 제조장치
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10
제 2 항에 있어서,적어도 하나의 유입포트 및 배출포트 사이에는, 해당 유입포트 및 배출포트를 연결하는 유동 라인의 개방 정도를 조절하기 위한 밸브가 마련된 실리카 입자 제조장치
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제 1 항에 따른 실리카 입자 제조장치를 이용한 실리카 입자 제조방법으로서,복수 개의 유입포트에 각각 에탄올 용액, 포스페이트(phosphate)가 들어있는 수용액 및 오일을 주입하는 단계; 및소정 시간 경과 후, 액적 부유부를 반전시켜, 마이크로웰 내부의 입자를 회수하는 단계를 포함하는 실리카 입자 제조방법
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제 11 항에 있어서,회수된 입자를 세척 및 건조시키는 단계를 추가로 포함하는 실리카 입자 제조방법
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