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신축성 기판 구조체 및 그 제조방법, 신축성 디스플레이 및 그 제조방법 그리고 신축성 디스플레이 사용방법

  • 기술번호 : KST2019038461
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시 예에 따른 신축성 디스플레이는, 저 신축성 영역(low stretchable region)과 상기 저 신축성 영역보다 모듈러스(modulus)가 낮은 고 신축성 영역(high stretchable region)으로 구획된, 하이브리드 신축성 기판, 상기 저 신축성 영역 상에 형성되어, 발광층을 제어하는 구동소자와 상기 고 신축성 영역 상에 형성되어, 상기 구동소자의 일부와 전기적으로 연결되어 전기신호를 인가하는 배선을 포함하는 구동소자층 및 상기 구동소자층 상에 마련되고, 상기 구동소자층과 전기적으로 연결되어 발광되는 발광층을 포함하되, 상기 구동소자와 상기 배선 중 상기 배선은, 상기 저 신축성 영역 및 상기 고 신축성 영역 중 어느 한 신축성 영역에 대응하는 형상을 가지는 신축성 마스크 패턴과 중첩할 수 있다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 51/50 (2006.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01)
출원번호/일자 1020170075621 (2017.06.15)
출원인 고려대학교 세종산학협력단
등록번호/일자 10-2030235-0000 (2019.10.01)
공개번호/일자 10-2018-0136652 (2018.12.26) 문서열기
공고번호/일자 (20191010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.15)
심사청구항수 52

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 세종산학협력단 대한민국 세종특별자치시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상일 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 홍문표 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 이동혁 대한민국 서울특별시 송파구
4 윤호원 대한민국 서울특별시 강북구
5 정민현 대한민국 세종특별자치시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 세종산학협력단 대한민국 세종특별자치시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0571231-67
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0619332-84
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2018-5011666-45
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2018-5138839-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0106362-71
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0381450-72
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0381416-29
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0556504-45
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5165251-68
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.09.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0908579-13
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0908583-07
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0701209-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5228968-96
14 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2020-0209142-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073634-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
저 신축성 영역(low stretchable region)과 상기 저 신축성 영역보다 모듈러스(modulus)가 낮은 고 신축성 영역(high stretchable region)으로 구획된, 하이브리드 신축성 기판;상기 저 신축성 영역 상에 형성되어, 발광층을 제어하는 구동소자와 상기 고 신축성 영역 상에 형성되어, 상기 구동소자의 일부와 전기적으로 연결되어 전기신호를 인가하는 배선을 포함하는 구동소자층; 및상기 구동소자층 상에 마련되고, 상기 구동소자층과 전기적으로 연결되어 발광되는 발광층을 포함하되,상기 하이브리드 신축성 기판은 주름을 가지며, 상기 저 신축성 영역은 상기 고 신축성 영역보다 적은 주름을 가지고,상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역을 구획하며, 상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역 중 어느 하나의 영역 상에 마련된 신축성 마스크 패턴을 더 포함하고,상기 구동소자와 상기 배선 중 상기 배선과 상기 신축성 마스크 패턴은 서로 중첩되되, 상기 배선과 상기 신축성 마스크 패턴은 서로 대응하는 형상을 가지는, 신축성 디스플레이
2 2
제1 항에 있어서,상기 저 신축성 영역은 상기 고 신축성 영역에 의하여 둘러싸인, 아일랜드 형상(island shape)인, 신축성 디스플레이
3 3
제1 항에 있어서,상기 고 신축성 영역, 상기 고 신축성 영역 상의 상기 신축성 마스크 패턴, 및 상기 신축성 마스크 패턴과 중첩하는 배선의 순서로 모듈러스가 높은, 신축성 디스플레이
4 4
제1 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴은 비정질 금속합금 또는 배리어를 포함하여 이루어진, 신축성 디스플레이
5 5
제4 항에 있어서,상기 비정질 금속합금은 상호간 규칙적 구조 형성을 방해하는 적어도 2개의 금속들로 이루어진 비정질 상태의 합금인, 신축성 디스플레이
6 6
제4 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴은, 상기 신축성 마스크 패턴 및 상기 고 신축성 영역과 중첩하는, 신축성 디스플레이
7 7
제1 항에 있어서,상기 구동소자의 일부와 상기 배선은 전기적으로 연결되되, 상기 구동소자의 일부와 상기 배선은, 상기 배선 하의 신축성 마스크 패턴에 의하여 단차가 발생하는, 신축성 디스플레이
8 8
제7 항에 있어서,상기 구동소자 및 상기 배선을 덮는 보호층을 더 포함하고,상기 구동소자의 일부와 상기 배선의 일부는, 상기 보호층을 관통하는 인터커넥터에 의하여 전기적으로 상호 연결되는, 신축성 디스플레이
9 9
제1 항에 있어서,상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역의 모듈러스 차이는 10배 이상인, 신축성 디스플레이
10 10
제1 항에 있어서,상기 배선은 최대 10% 연신시에 저항이 1
11 11
제1 항에 있어서,상기 발광층은, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부 및 상기 고 신축성 영역의 적어도 일부에 걸쳐서 형성되는, 신축성 디스플레이
12 12
제1 항에 있어서,상기 발광층은, 상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역 중, 상기 저 신축성 영역에 선택적으로 형성된, 신축성 디스플레이
13 13
제12항에 있어서,상기 발광층은, 픽셀 단위로 이격된 복수의 발광부를 포함하고,상기 이격된 복수의 발광부를 보호하는 인캡슐레이션층을 더 포함하는, 신축성 디스플레이
14 14
제1 항에 있어서,상기 구동소자층 및 상기 발광층이 형성되는 면과 타 면의 상기 신축성 기판에는 상기 신축성 기판의 신축 경로(Stretching path)를 제공하는 그루브(groove)가 형성된, 신축성 디스플레이
15 15
제1 항에 있어서,상기 구동소자층은 표시 영역에 형성되고, 상기 표시 영역 외측의 주변 영역에 형성되되, 상기 구동소자층에 전기 신호를 인가하는 구동회로소자를 더 포함하는, 신축성 디스플레이
16 16
제15 항에 있어서,상기 구동회로소자가 IC 칩으로 이루어진 경우, 상기 구동회로소자는, 상기 저 신축성 영역에 형성되는, 신축성 디스플레이
17 17
제15 항에 있어서,상기 구동회로소자가 신축성 필름으로 이루어진 경우, 상기 구동회로소자는, 상기 고 신축성 영역 상에 형성되는, 신축성 디스플레이
18 18
삭제
19 19
제1 항에 있어서,상기 하이브리드 신축성 기판은, 제1 축 및 상기 제1 축과 다른 방향의 제2 축 중 적어도 하나의 축 방향으로 신축성을 가지는, 신축성 디스플레이
20 20
제1 항에 있어서,상기 하이브리드 신축성 기판은, 주름진 상태로 수축된 제1 신축상태, 상기 주름진 상태가 펼쳐져 상기 제1 신축상태보다 연신된 제2 신축상태, 상기 신축성 기판의 소재가 펼쳐져 상기 제2 신축상태보다 연신된 제3 신축상태를 제공하는, 신축성 디스플레이
21 21
캐리어 기판을 준비하는, 캐리어 기판 준비 단계;상기 캐리어 기판 상에 신축성 기판을 형성하는, 신축성 기판 형성 단계;상기 신축성 기판 상에 신축성 마스크층을 형성하는, 신축성 마스크층 형성 단계;상기 신축성 마스크층을 패터닝하여, 개구 영역과 차단 영역을 가지는 신축성 마스크 패턴으로 형성하는, 신축성 마스크 패턴 형성 단계;상기 신축성 마스크 패턴의 상기 개구 영역과 상기 차단 영역을 통하여, 상기 신축성 기판에 저 신축성 영역과 상기 저 신축성 영역보다 모듈러스가 낮은 고 신축성 영역을 형성하는, 하이브리드 신축성 기판 형성 단계;상기 저 신축성 영역 상에, 픽셀의 발광층을 제어하는 구동소자를 형성하고, 상기 고 신축성 영역 상에, 상기 구동소자에 전기신호를 인가하는 배선을 형성하되, 상기 배선은 상기 차단 영역을 이루는 상기 신축성 마스크 패턴 상에 형성되는, 구동소자층 형성 단계; 및상기 구동소자층과 전기적으로 연결되어 발광되는 발광층을 형성하는, 발광층 형성 단계를 포함하는 신축성 디스플레이 제조방법
22 22
제21 항에 있어서,상기 신축성 기판 형성 단계는,상기 캐리어 기판 상에 상기 신축성 기판을 접착 또는 용액 형성하는 단계를 포함하는 신축성 디스플레이 제조방법
23 23
제22 항에 있어서,상기 접착 시, 온도 민감성 양면접착제가 사용되는, 신축성 디스플레이 제조방법
24 24
제21 항에 있어서,상기 신축성 기판 형성 단계는,상기 신축성 기판을 1축 또는 2축으로 연신된 상태에서 상기 캐리어 기판에 부착하는 단계를 포함하는 신축성 디스플레이 제조방법
25 25
제24 항에 있어서,상기 신축성 기판에 상기 캐리어 기판에 연신된 상태에서 부착된 경우, 상기 신축성 기판이 형성된 면과 반대 면의 상기 캐리어 기판을 향하여 광을 조사하여 상기 신축성 기판의 일 면에 신축 경로를 제공하는 그루브(groove)를 형성하는 단계를 더 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
26 26
제25 항에 있어서,상기 그루브를 형성하는 단계에서,상기 그루브를 형성하는 광원은, 상기 신축성 기판에 흡수되고, 상기 캐리어 기판을 통과하는 특성을 동시에 가지는, 신축성 디스플레이 제조방법
27 27
제21 항에 있어서,상기 신축성 마스크층 및 상기 신축성 마스크 패턴은 비정질 금속합금 또는 배리어를 포함하여 이루어진, 신축성 디스플레이 제조방법
28 28
제27 항에 있어서,상기 비정질 금속합금은 상호간 규칙적 구조 형성을 방해하는 적어도 2개의 금속들로 이루어진 비정질 상태의 합금인, 신축성 디스플레이 제조방법
29 29
제21 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴 형성 단계는, 상기 신축성 마스크층을 포토리소그래피 방식으로 상기 신축성 마스크 패턴으로 형성하는 단계를 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
30 30
제29 항에 있어서,상기 하이브리드 신축성 기판 형성 단계는,상기 포토리소그래피 방식으로 형성된 개구 영역을 통하여 상기 신축성 기판을 경화하여 상기 저 신축성 영역을 형성하는 단계를 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
31 31
제21 항에 있어서,상기 저 신축성 영역은 아일랜드 형상인, 신축성 디스플레이 제조방법
32 32
제21 항에 있어서,상기 구동소자층 형성 단계 이후 및 상기 발광층 형성 단계 전에, 상기 신축성 마스크 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
33 33
제32 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴은 상기 고 신축성 영역을, 상기 구동소자층 형성 단계의 공정으로부터, 보호하는 신축성 디스플레이 제조방법
34 34
제32 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴을 제거하는 단계 이후, 상기 배선과 중첩되는 영역의 상기 신축성 마스크 패턴은 잔류하고, 상기 배선과 비 중첩되는 영역의 상기 신축성 마스크 패턴은 제거되는, 신축성 디스플레이 제조방법
35 35
제34 항에 있어서, 상기 배선과 상기 신축성 마스크 패턴 간의 에칭 선택비는 적어도 10 이상인, 신축성 디스플레이 제조방법
36 36
제34 항에 있어서,상기 발광층 중 적어도 한 층은, 상기 구동소자층 상에 전사(transfer)되는, 신축성 디스플레이 제조방법
37 37
제34 항에 있어서,상기 발광층 중 적어도 한 층은, 상기 구동소자층 상에 기상증착되는, 신축성 디스플레이 제조방법
38 38
제32 항에 있어서, 상기 발광층은, 상기 저 신축성 영역의 적어도 일부 및 상기 고 신축성 영역의 적어도 일부 상에 형성되는, 신축성 디스플레이 제조방법
39 39
제21 항에 있어서,상기 구동소자층 형성 단계 및 상기 발광층 형성 단계 후에, 상기 신축성 마스크 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
40 40
제39 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴은 상기 고 신축성 영역을, 상기 구동소자층 형성 단계 및 상기 발광층 형성 단계의 공정으로부터, 보호하는 신축성 디스플레이 제조방법
41 41
제39 항에 있어서,상기 신축성 마스크 패턴을 제거하는 단계 이후, 상기 배선과 중첩되는 영역의 상기 신축성 마스크 패턴은 잔류하고, 상기 배선과 비 중첩되는 영역의 상기 신축성 마스크 패턴은 제거되는, 신축성 디스플레이 제조방법
42 42
제39 항에 있어서,상기 구동소자층 형성 단계는, 상기 구동소자를 상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역 중 상기 저 신축성 영역에 선택적으로 형성하고,상기 발광층 형성 단계는, 상기 발광층을 상기 저 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역 중 상기 저 신축성 영역에 선택적으로 형성하는, 신축성 디스플레이 제조방법
43 43
제39 항에 있어서,상기 발광층 형성 단계 후에, 상기 발광층을 보호하는 인캡슐레이션층 형성 단계를 더 포함하고,상기 신축성 마스크 패턴을 제거하는 단계는 상기 인캡슐레이션층 형성 단계 이후에 수행되는, 신축성 디스플레이 제조방법
44 44
제43 항에 있어서,상기 인캡슐레이션층 형성 단계는, 상기 저 신축성 영역 상부에 형성된 발광층을 상기 인캡슐레이션층으로, 픽셀 단위로 덮어서, 상기 고 신축성 영역 상부의 신축성 마스크 패턴을 노출시키는, 신축성 디스플레이 제조방법
45 45
제44 항에 있어서,상기 저 신축성 영역 및 상기 고 신축성 영역에 걸쳐서 상기 인캡슐레이션층을 덮는 보조 인캡슐레이션층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
46 46
제21 항에 있어서,상기 고 신축성 영역, 상기 고 신축성 영역 상의 상기 신축성 마스크 패턴, 및 상기 차단 영역을 이루는 신축성 마스크 패턴 상의 배선의 순서로 모듈러스가 높은, 신축성 디스플레이 제조방법
47 47
제21 항에 있어서,상기 구동소자층 형성 단계는, 상기 구동소자 및 상기 배선을 덮는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 신축성 디스플레이 제조방법
48 48
제47 항에 있어서,상기 구동소자층 형성 단계는, 상기 보호층을 형성하는 단계 이후에, 상기 구동소자의 일부와 상기 배선의 일부를 노출하는, 관통홀을 형성하는 단계; 및상기 관통홀을 통하여, 상기 구동소자의 일부와 상기 배선의 일부를 전기적으로 연결하는 인터커넥터(interconnector)를 형성하여, 상기 배선 하부의 상기 신축성 마스크 패턴에 의한 단차를 해소하는, 신축성 디스플레이 제조방법
49 49
제21 항에 있어서,상기 발광층을 형성하는 단계 이후에, 상기 캐리어 기판을, 상기 하이브리드 신축성 기판으로부터 제거하는 단계를 더 포함하는 신축성 디스플레이 제조방법
50 50
제49 항에 있어서,상기 캐리어 기판은, 광 조사 또는 탈착 온도를 받음으로써, 상기 하이브리드 신축성 기판으로부터 제거되는, 신축성 디스플레이 제조방법
51 51
삭제
52 52
신축성 기판 상에 신축성 마스크층을 형성하는, 신축성 마스크층 형성 단계;상기 신축성 마스크층을 패터닝하여, 개구 영역과 차단 영역을 가지는 신축성 마스크 패턴으로 형성하는, 신축성 마스크 패턴 형성 단계; 및상기 신축성 마스크 패턴의 상기 개구 영역과 상기 차단 영역을 통하여, 상기 신축성 기판에 저 신축성 영역과 상기 저 신축성 영역보다 모듈러스가 낮은 고 신축성 영역을 형성하는, 하이브리드 신축성 기판 형성 단계;를 포함하는 신축성 기판 구조체 제조방법
53 53
저 신축성 영역과 상기 저 신축성 영역보다 모듈러스가 낮은 고 신축성 영역으로 구획되고 두께 방향으로 주름진 신축성 기판, 상기 저 신축성 영역 상에 형성되어, 발광층을 제어하는 구동소자와 상기 고 신축성 영역 상에 형성되어, 상기 구동소자의 일부와 전기적으로 연결되어 전기신호를 인가하고 신축성 마스크 패턴 상에 형성된 배선을 포함하는 구동소자층을 포함하는 신축성 디스플레이 사용방법에 있어서, 상기 신축성 디스플레이 사용방법은, 상기 신축성 기판이 주름진 상태(wrinkle state)로 수축된 제1 사용상태;상기 주름진 상태가 펼쳐져 상기 제1 사용상태보다 연신된 제2 사용상태; 및상기 주름진 상태가 펼쳐진 신축성 기판의 소재가 늘어나 상기 제2 사용상태보다 연신된 제3 사용상태를 포함하는 신축성 디스플레이 사용방법
54 54
제53 항에 있어서,상기 제2 사용상태에서,상기 고 신축성 영역에 형성된 배선이 상기 저 신축성 영역에 형성된 구동소자 보다 더 많이 연신되는, 신축성 디스플레이 사용방법
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순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN110945674 CN 중국 FAMILY
2 US20200119294 US 미국 FAMILY
3 WO2018230940 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN110945674 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 US2020119294 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2018230940 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 고려대학교 세종산학협력단 미래성장동력사업 스트레쳐블 디스플레이를 위한 20%이상 신축성을 갖는 백플레인, 발광화소용 소재·소자·공정 원천 기술 개발