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캐리어 기판을 수용하는 캐리어 기판 수용부;상기 캐리어 기판과 마주보는 방향으로 신축성 기판을 수용하는 신축성 기판 수용부; 및다이어프램을 포함하되,상기 다이어프램은, 상기 다이어프램의 일 면에 제공된 공기압에 따라 변형되고, 상기 변형된 다이어프램이 상기 신축성 기판의 전면에 걸쳐서 면 방향으로 접촉함으로써, 상기 신축성 기판이 상기 다이어프램의 변형된 형상에 따라 변형됨에 의하여 상기 캐리어 기판에 합착되는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제1 항에 있어서,상기 신축성 기판은 상기 캐리어 기판보다 소프트한 소재로 이루어진, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제1 항에 있어서,상기 신축성 기판 수용부는, 상기 신축성 기판의 적어도 일 변을 잡는 홀더를 포함하는 신축성 기판 구조체 제조장치
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제3 항에 있어서,상기 홀더는, 상기 합착 전, 상기 신축성 기판을 적어도 1축으로 연장시킨 상태로 제공하는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제3 항에 있어서,상기 홀더는, 상기 합착 전, 상기 신축성 기판을 동시에 2축으로 연장시킨 상태로 제공하는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제1 항에 있어서,상기 공기압에 의하여, 상기 다이어프램은 상기 신축성 기판에 면 방향으로 직접 접촉하여, 상기 신축성 기판을 상기 캐리어 기판 방향으로 미는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 캐리어 기판 수용부 및 상기 신축성 기판 수용부를 제공하는 하우징을 더 포함하고,상기 하우징은, 상기 캐리어 기판 주변의 공기를 유출시켜 상기 공기압을 형성하는 공기 유출구를 더 포함하는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제8 항에 있어서,상기 공기 유출구는, 상기 하우징에 형성되되, 상기 캐리어 기판 수용부를 기준으로 상기 신축성 기판 수용부가 제공되는 방향과 반대 방향에 형성되는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제1 항에 있어서,상기 캐리어 기판 수용부 및 상기 신축성 기판 수용부를 제공하는 하우징을 더 포함하고,상기 하우징은, 상기 다이어프램을 상기 신축성 기판 방향으로 밀기 위한 공기를 유입시키는 공기 유입구를 더 포함하는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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제10 항에 있어서,상기 공기 유입구는, 상기 하우징에 형성되되, 상기 신축성 기판 수용부를 기준으로 상기 캐리어 기판 수용부가 제공되는 방향과 반대 방향에 형성되는, 신축성 기판 구조체 제조장치
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캐리어 기판을 제공하는, 캐리어 기판 제공단계;다이어프램 상에 위치하고, 상기 캐리어 기판을 마주보도록 신축성 기판을 제공하는, 신축성 기판 제공단계; 및상기 다이어프램의 일 면에 공기압을 제공하여, 상기 다이어프램의 형상을 변형시키고, 상기 변형된 다이어프램이 상기 신축성 기판의 전면에 걸쳐서 면 방향으로 접촉됨으로써, 상기 신축성 기판이 상기 다이어프램의 변형된 형상에 따라 변형됨에 의하여 상기 신축성 기판을 상기 캐리어 기판에 합착시키는 합착 단계;를 포함하는 신축성 기판 구조체 제조방법
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제12 항에 있어서,상기 캐리어 기판 제공단계는,상기 신축성 기판을 향하는 방향으로 상기 캐리어 기판 상에 접착제를 형성하는 단계를 더 포함하는, 신축성 기판 구조체 제조방법
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제13 항에 있어서,상기 신축성 기판 제공 단계는, 상기 신축성 기판을 적어도 2축 방향으로 동시에 연신시키는 단계를 더 포함하고,상기 합착 단계에 있어서,상기 신축성 기판과 상기 접착제 사이의 접착력은, 상기 연신된 신축성 기판의 복원력보다 큰, 신축성 기판 구조체 제조방법
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제14 항에 있어서,상기 합착 단계에 있어서,상기 접착제와 상기 캐리어 기판 사이의 접착력은, 상기 신축성 기판과 상기 접착제 사이의 접착력보다 큰, 신축성 기판 구조체 제조방법
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제13 항에 있어서,상기 접착제의 접착력은 온도에 따라 가변하는, 신축성 기판 구조체 제조방법
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제12 항에 있어서,상기 신축성 기판은 고 신축성 영역과 상기 고 신축성 영역보다 신축성이 낮은 저 신축성 영역을 포함하는, 신축성 기판 구조체 제조방법
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제12 항에 있어서,상기 캐리어 기판 제공단계에서의 상기 캐리어 기판은, 상기 신축성 기판 제공 단계에서의 상기 신축성 기판보다 작은, 신축성 기판 구조체 제조방법
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