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고체 레이저를 출사하는 고체 레이저 광원;상기 고체 레이저를 제1 결정화 레이저와 제2 결정화 레이저로 분리하는 스플릿 모듈;상기 제2 결정화 레이저를 상기 제1 결정화 레이저 보다 소정 시간 늦게 출사하는 시간지연 모듈; 및상기 제1 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 제1 위상 지연판 및 상기 제2 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 제2 위상 지연판을 포함하는 편광 상태 제어모듈을 포함하되,상기 제1 결정화 레이저는 상기 제2 결정화 레이저 보다 강도가 강하고, 상기 제2 결정화 레이저 보다 결정화 대상체에 상기 소정 시간 먼저 제공되며,제어부를 더 포함하며,상기 결정화 대상체의 채널들이, 제1 길이방향으로 연장하는 제1 채널과 상기 제1 길이방향에서 소정 각도 기울어져 연장하는 제2 채널로 이루어진 경우, 상기 제어부는, 상기 소정 각도가 기준 각도 미만인 경우, 상기 제1 위상 지연판 및 상기 제2 위상 지연판 중 어느 하나의 위상 지연판을 제어하고, 상기 소정 각도가 상기 기준 각도 초과인 경우, 상기 제1 위상 지연판 및 상기 제2 위상 지연판 중 나머지 위상 지연판을 제어하는 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 위상 지연판 중 적어도 하나의 위상 지연판의 회전에 따라, 각각 상기 제1 결정화 레이저 및 상기 제2 결정화 레이저 중 적어도 하나의 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 레이저 결정화 장치
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제2 항에 있어서, 상기 편광 상태 제어모듈은 제1 편광 상태 제어모듈과 제2 편광 상태 제어모듈을 포함하고,상기 제1 편광 상태 제어모듈은 상기 제1 결정화 레이저의 출사 경로에 마련되어, 상기 제1 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하고,상기 제2 편광 상태 제어모듈은 상기 제2 결정화 레이저의 출사 경로에 마련되어, 상기 제2 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제어부의 상기 제1 및 제2 위상 지연판 중 적어도 하나의 위상 지연판 제어에 따라, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널의 재 결정화 방향은 서로 동일한, 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제1 결정화 레이저의 강도는 225 mJ/cm2 초과 및 270 mJ/cm2 미만이고,상기 제2 결정화 레이저의 강도는 상기 제1 결정화 레이저 강도의 10 내지 50%이고,상기 제1 결정화 레이저는 상기 제2 결정화 레이저 보다 30ns 내지 80ns 먼저 제공되는 레이저 결정화 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제2 결정화 레이저는, 상기 제1 결정화 레이저에 의하여 액화된 결정화 대상체가 냉각되는 중에 제공되는 것을 포함하는 레이저 결정화 장치
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고체 레이저 광원에서 고체 레이저를 출사하는 출사 단계; 상기 출사된 고체 레이저를 제1 결정화 레이저 및 제2 결정화 레이저로 분리하는 분리 단계; 상기 제1 결정화 레이저를 결정화 대상체에 조사하는 제1 조사 단계; 및상기 제1 조사 단계 후에, 소정 시간이 지나 상기 결정화 대상체에 상기 제2 결정화 레이저를 조사하는 제2 조사 단계를 포함하되,상기 결정화 대상체의 채널들이, 제1 길이방향으로 연장하는 제1 채널과 상기 제1 길이방향에서 소정 각도 기울어져 연장하는 제2 채널로 이루어진 경우, 상기 소정 각도가 기준 각도 초과인 경우, 상기 제1 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 제1 위상 지연판 및 상기 제2 결정화 레이저의 편광 상태를 제어하는 제2 위상 지연판 중 어느 하나의 위상 지연판을 제어하고, 상기 소정 각도가 기준 각도 미만인 경우, 상기 제1 위상 지연판 및 상기 제2 위상 지연판 중 나머지 위상 지연판을 제어하는 단계를 더 포함하는 레이저 결정화 방법
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제10 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 위상 지연판 중 적어도 하나의 위상 지연판 제어에 따라, 상기 제1 채널과 상기 제2 채널의 재 결정화 방향은 서로 동일한, 레이저 결정화 방법
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