| 1 |
1
상부 표면으로부터 식각되어 일정 깊이를 갖도록 형성된 다수 개의 공기층 들 및 상기 공기층들의 사이에 식각되지 않고 남아있는 다수 개의 지지대들을 구비하는 기판;상기 기판의 상부 표면에 형성된 절연막;상기 절연막의 상부 표면에 패터닝되어 형성된 저항 패턴;상기 저항 패턴의 양단에 형성된 전극 단자;를 구비하고, 상기 저항 패턴의 하부에는 기판의 공기층들만이 배치된 것을 특징으로 하는 온도 측정 및 제어가 가능한 마이크로 히터
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 저항 패턴은 p형의 불순물이 고농도 주입된 폴리실리콘으로 구성된 것을 특징으로 하는 온도 측정 및 제어가 가능한 마이크로 히터
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 저항 패턴의 하부에 위치한 기판의 공기층들은 상부의 저항 패턴보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하며, 상기 기판의 지지대들은 상기 저항 패턴의 가장자리로부터 사전 설정된 거리만큼 이격 배치되어 저항 패턴의 열손실을 방지하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 및 제어가 가능한 마이크로 히터
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 마이크로 히터는 상기 전극 단자에 인가되는 구동 전압에 따라 온도 센서 및 마이크로 히터 중 하나로 동작되도록 하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 및 제어가 가능한 마이크로 히터
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 기판의 지지대들의 직경 및 지지대들간의 이격 거리는 상기 절연막과 저항 패턴의 하중을 지지함과 동시에 공기층의 면적을 최대화시킬 수 있는 값으로 결정되는 것을 특징으로 하는 온도 측정 및 제어가 가능한 마이크로 히터
|
| 6 |
6
기판; 상기 기판 위에 패터닝되어 구비된 저항 패턴; 상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극;을 구비한 마이크로 히터의 구동 방법에 있어서,상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극에 발열을 위하여 사전 설정된 제1 전압 펄스를 인가하여 마이크로 히터를 구동시키거나,상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극에 온도 감지를 위하여 사전 설정된 제2 전압 펄스를 인가하여 온도 센서로 구동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 7 |
7
기판; 상기 기판의 표면에 구비된 절연막; 상기 기판 위에 패터닝되어 구비된 저항 패턴; 상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극;을 구비하고, 상기 기판은 상기 절연막 아래의 영역에 구비된 공기층 및 상기 공기층에 하나 또는 둘 이상의 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법에 있어서,상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극에 발열을 위하여 사전 설정된 제1 전압 펄스를 인가하여 마이크로 히터로 구동시키거나,상기 저항 패턴의 양단에 구비된 금속 전극에 온도 감지를 위하여 사전 설정된 제2 전압 펄스를 인가하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 8 |
8
제6항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발열을 위한 제1 전압 펄스와 온도를 감지하기 위한 제2 전압 펄스를 번갈아 인가하거나 2개 이상의 발열을 위한 제1 전압 펄스를 인가한 다음 온도 감지를 위한 제2 전압 펄스를 인가하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 제1 전압펄스와 제2 전압펄스의 폭과 펄스 사이의 간격을 조절하여 인가하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 10 |
10
제6항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 발열을 위한 상기 제1 전압 펄스는 0
|
| 11 |
11
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 마이크로 히터에 대한 구동 방법에 있어서, 온도 센서로 구동시키는 센서용 구동 전압 및 히터로 구동시키는 히터용 구동 전압을 사전에 설정하는 단계;센서용 구동 전압이 인가될 때의 저항과 외부 온도의 관계에 대한 정보를 사전에 저장하는 단계;온도 센서로 구동시키는 경우, 상기 전극 단자로 상기 센서용 구동 전압을 인가하고 상기 전극 단자의 저항을 측정하고, 상기 저장된 저항과 온도의 관계에 대한 정보를 이용하여 상기 측정된 저항에 대응되는 온도를 검출하는 단계; 를 구비하여 온도 센서로 구동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 마이크로 히터로 구동시키는 경우, 히터용 구동 전압을 펄스 형태로 인가하되 펄스의 폭과 개수 및 펄스들 사이의 이격 시간을 조절하는 단계를 더 구비하여 마이크로 히터로 구동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 13 |
13
제11항에 있어서, 마이크로 히터를 사전 설정된 온도로 구동시키는 경우, 히터용 구동 전압을 펄스 형태로 인가하여 히터로 구동시키는 단계; 일정 시간 경과후 센서용 구동 전압을 펄스 형태로 인가하여 온도를 측정하는 단계; 측정된 온도에 따라 히터용 구동 전압의 펄스를 조절하여 인가하여 히터의 온도를 제어하는 단계;를 반복적으로 수행하여 사전 설정된 온도를 유지하도록 마이크로 히터를 구동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터의 구동 방법
|
| 14 |
14
(a) 기판의 상부에 절연막을 형성하는 단계;(b) 사진 식각 공정을 이용하여 상기 절연막에 슬릿 형태의 식각 패턴들을 형성하는 단계;(c) 상기 식각 패턴을 통해 식각액 또는 식각가스를 주입하여 식각 패턴으로부터 기판을 등방성 식각하여 표면으로부터 일정 깊이를 갖는 공기층들을 형성하는 단계; (d) 상기 절연막의 상부에 절연물질을 증착하여 식각 패턴을 메우고 건식 에칭하여 절연막의 상부를 평탄화시키는 단계;(e) 절연막의 상부에 폴리실리콘을 증착한 후 패터닝하여 폴리실리콘 저항 패턴을 형성하는 단계;(f) 폴리실리콘 저항 패턴에 p형 불순물을 주입하는 단계;(g) 상기 폴리실리콘 저항 패턴의 상부에 절연막을 증착하여 보호피막을 형성한 후 저항 패턴의 양단에 금속패드를 형성하여 전극 단자를 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서, 상기 (b) 단계에서의 식각 패턴들의 크기와 위치는, 상기 폴리실리콘 저항 패턴의 하부에 기판의 공기층들만이 위치하도록 식각 패턴들의 크기와 위치를 설정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
| 16 |
16
제14항에 있어서, 상기 (c) 단계의 등방성 식각은 플루오르기 가스(SF6)를 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
| 17 |
17
제14항에 있어서, 상기 (d) 단계의 절연물질은 PE-TEOS 인 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
| 18 |
18
제14항에 있어서, 상기 (f) 단계의 불순물은 붕소(B)인 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
| 19 |
19
제14항에 있어서, 상기 (d) 단계에서 절연막의 상부를 평탄화시킨 후 사진 식각 공정을 이용하여 CMOS 공정이 진행될 영역의 절연막을 제거하는 단계를 더 구비하고,후속 단계에서 상기 절연막이 제거된 영역에 CMOS 공정을 함께 진행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터 제조 방법
|
