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(1단계) 퍼플루오로디클로로실란 및 할로실란을 염기성 용매에 용해시켜 혼합용액을 제조한 후 교반하는 단계;(2단계) 상기 혼합용액에 암모니아 가스를 주입하고 교반하는 단계;(3단계) 침전된 염 및 잔류 용매를 제거하는 단계; 및(4단계) 최종 생성물을 숙성하여 하기 화학식 2 내지 4로 이루어진 군에선 선택되는 1종의 불소계 유기폴리실라잔을 제조하되,상기 1단계 및 2단계에서 교반은 -10 ~ 10℃ 범위의 온도에서 수행되어 가암모니아 분해를 유도하고, 상기 4단계에서 숙성은 70 ~ 80℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 불소계 유리폴리실라잔의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 퍼플루오로디클로로실란은 (3,3,3-트리플루오로프로필)디클로로메틸실란, 3,3,4,4,5,5,5,-헵타플루오로펜틸메틸디클로로실란 및 1H,1H,2H,2H-퍼플루오로데실메틸디클로로실란으로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 불소계 유기폴리실라잔의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 할로실란은 메틸디클로로실란인 불소계 유기폴리실라잔의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 암모니아 가스는 10 ~ 30 ml/min의 속도로 주입되는 것을 특징으로 하는 불소계 유기폴리실라잔의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 2단계는 24 ~ 48시간 수행되는 것을 특징으로 하는 불소계 유기폴리실라잔의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 1단계에서 염기성 용매는 트리메틸아민, 디메틸에틸아민, 디에틸메틸아민, 트리에틸아민, 피리딘, 피콜린, 디메틸아닐린, 트리메틸포스핀, 디메틸에틸포스핀, 메틸디에틸포스핀, 트리에틸포스핀, 트리메틸아르신, 트리메틸스티핀, 트리메틸아민, 트리에틸아민, 트리아진으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 불소계 유기 폴리실라잔의 제조방법
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