| 1 |
1
공정 챔버;상기 공정 챔버에 형성되고, 공급된 Ti 막대를 유도 가열하는 유도 가열 장치;상기 공정 챔버에 형성되고, 유도 가열되어 용융된 Ti 용액을 Ti 분말 상태로 분무시키는 Ti 분무 장치;상기 공정 챔버의 상부에 형성되고, 외부에서 인입되는 상기 Ti 막대를 상기 공정 챔버로 공급할 수 있도록 내부가 진공상태로 형성되는 압력 조절 챔버;상기 공정 챔버 및 상기 압력 조절 챔버 중 적어도 어느 하나 이상의 내부를 진공상태로 형성할 수 있도록 상기 공정 챔버 및 상기 압력 조절 챔버의 외부에서 조절관과 조절 밸브로 각각 연결되어 형성되는 진공 펌프; 및진공상태의 상기 압력 조절 챔버에 1bar 이상의 압력으로 Ar 가스를 주입하는 Ar 가스 공급부;를 포함하고,상기 압력 조절 챔버와 공정 챔버 사이에는 메인 게이트 개방 시 상기 공정 챔버의 내부 환경이 외부로 노출되지 않도록 밀폐시키는 게이트 밸브가 형성되고,상기 압력 조절 챔버는,상기 Ti 막대를 연속적으로 공정 챔버에 인입시킬 수 있도록 상기 진공 펌프에 의하여 진공이 유지된 다음, 파티클이 내부로 유입되지 않도록 상기 Ar 가스 공급부에 의하여 내압이 외압과 같거나 외압보다 높은 압력으로 유지되는, Ti 분말 제조 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 공정 챔버 내에서 상기 유도 가열 장치에 의해 용융되어 낙하되는 Ti 물방울이 상기 Ti 분말 형태로 분무할 수 있도록 상기 Ti 분무 장치에 고압의 분산 가스를 공급하는 Ar 가스 공급부;를 더 포함하는, Ti 분말 제조 장치
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 압력 조절 챔버는,상기 Ti 막대가 인입되는 인입부; 및상기 인입부에 형성되는 실링부;를 포함하는, Ti 분말 제조 장치
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 압력 조절 챔버에 형성되고, 외부에서 상기 압력 조절 챔버로 인입된 상기 Ti 막대를 상기 공정 챔버로 이송하는 Ti 막대 이송 장치;를 더 포함하는, Ti 분말 제조 장치
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 압력 조절 챔버에 상기 Ti 막대를 공급하는 Ti 막대 공급장치;를 더 포함하고,상기 Ti 막대 공급 장치는,상기 압력 조절 챔버의 상부에 형성되고, 복수개의 상기 Ti 막대를 수용할 수 있는 Ti 카트리지; 및상기 공정 챔버에 형성되고, 상기 압력 조절 챔버에서 상기 공정 챔버로 인입된 상기 Ti 막대를 상기 유도 가열 장치로 이송할 수 있는 제 1 이송 장치;를 더 포함하는, Ti 분말 제조 장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 Ti 카트리지는,복수개의 상기 Ti 막대들이 적어도 하나의 열을 이루어서 배치되도록 상기 Ti 막대를 수용할 수 있는 일렬식 수용 공간이 형성되고, 상기 압력 조절 챔버에 착탈 결합되는 직동형 카트리지인, Ti 분말 제조 장치
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서,상기 Ti 카트리지는,몸체의 내부에 복수개의 상기 Ti 막대들이 회전축으로부터 일정한 거리의 원호 상에 배치되도록 상기 Ti 막대를 수용할 수 있는 회전식 수용체가 형성되고, 상기 압력 조절 챔버에 착탈 결합되는 회동형 카트리지인, Ti 분말 제조 장치
|
| 10 |
10
공정 챔버에 공급된 Ti 막대를 유도 가열하여 용융시키고, 용융된 Ti 용액을 Ti 분말 상태로 분무시키는 Ti 분말 제조 방법에 있어서,진공 펌프를 사용하여 상기 공정 챔버 및 상기 공정 챔버의 상부에 형성된 압력 조절 챔버 중 적어도 어느 하나 이상의 내부를 진공상태로 형성하는 단계;진공상태의 상기 압력 조절 챔버에 Ar 가스 공급부를 통하여 1bar 이상의 압력으로 Ar 가스를 주입하는 단계;상기 압력 조절 챔버에 형성된 제 1 이송 장치를 사용하여, 외부에서 상기 압력 조절 챔버로 인입된 상기 Ti 막대를 상기 공정 챔버로 이송하는 단계;상기 공정 챔버에 형성된 유도 가열 장치를 사용하여 공급된 상기 Ti 막대를 유도 가열하는 단계; 및상기 공정 챔버에 형성된 Ti 분무 장치를 사용하여, 유도 가열되어 용융된 Ti 용액을 Ti 분말 상태로 분무시키는 단계;를 포함하고,상기 유도 가열하는 단계에서 상기 Ti 막대를 유도가열하는 동안, 상기 공정 챔버로 이송하는 단계에서 상기 압력 조절 챔버로 인입된 상기 Ti 막대는 연속적으로 상기 공정 챔버에 인입되고,상기 Ar 가스를 주입하는 단계는,파티클이 내부로 유입되지 않도록 상기 압력 조절 챔버의 내압이 외압과 같거나 외압보다 높은 압력을 유지하도록 Ar 가스를 주입하는, Ti 분말 제조 방법
|
