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샘플이 마련되는 진공챔버의 외측에 구비되는 베이스 플랫폼부; 상기 베이스 플랫폼부와 축방향을 따라 이격되게 구비되는 무빙 플랫폼부; 상기 베이스 플랫폼부의 중심에 회전 가능하게 결합되는 구 조인트; 일단부는 상기 무빙 플랫폼부에 결합되어 상기 축방향으로 연장 구비되고 상기 구 조인트를 관통하여 상기 진공챔버의 내측으로 연장되며 타단부에는 상기 샘플이 마련되는 샘플팁이 형성되는 프로브부; 일단부는 상기 베이스 플랫폼부에 결합되고 타단부는 상기 무빙 플랫폼부에 연결되도록 상기 축방향으로 구비되되, 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되어 구비되며 다자유도를 가지고 각각 독립적으로 작동하면서 상기 무빙 플랫폼부의 경사를 조절하는 복수의 링크부를 가지는 링크조립체부; 그리고 상기 베이스 플랫폼부를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제1항에 있어서, 상기 회전구동부는 상기 베이스 플랫폼부에 결합되는 제1기어부와, 상기 베이스 플랫폼부, 상기 구 조인트 및 상기 링크조립체부가 동시에 회전되도록, 상기 제1기어부와 기어 결합되어 상기 제1기어부가 회전되도록 동력을 전달하는 제2기어부를 가지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제2항에 있어서, 상기 무빙 플랫폼부는 상기 베이스 플랫폼부가 회전 시에 상기 링크조립체부에 구속되어 함께 회전하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제1항에 있어서, 상기 링크조립체부는 제1링크부, 제2링크부 및 제3링크부를 가지고, 상기 제1링크부 및 상기 제2링크부는 각각 상기 베이스 플랫폼부에 결합되는 제1동력부와, 상기 제1동력부에 결합되고 상기 축방향으로 직선운동하는 제1-1부재와, 상기 무빙 플랫폼부에 결합되고 상기 무빙 플랫폼부의 반경방향으로 직선 운동하는 제2-1부재와, 상기 제1-1부재 및 상기 제2-1부재를 연결하되, 상기 제1-1부재와는 구면조인트 결합되고, 상기 제2-1부재에는 상기 반경방향과 교차하는 방향으로 직선운동하도록 결합되는 제3-1부재를 가지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제4항에 있어서, 상기 제3링크부는 상기 베이스 플랫폼부에 결합되는 제2동력부와, 상기 제2동력부에 결합되고 상기 축방향으로 직선운동하는 제1-2부재와, 상기 무빙 플랫폼부에 결합되고 상기 무빙 플랫폼부의 반경방향으로 직선 운동하며 상기 제1-2부재와 구면조인트 결합되는 제2-2부재를 가지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제4항에 있어서, 상기 제3링크부는 상기 베이스 플랫폼부에 결합되는 제2동력부와, 상기 제2동력부에 결합되고 상기 축방향으로 직선운동하는 제1-2부재와, 상기 무빙 플랫폼부에 결합되고 상기 무빙 플랫폼부의 반경방향으로 직선 운동하는 제2-2부재와, 상기 제1-2부재 및 상기 제2-2부재를 연결하되, 상기 제1-2부재와는 유니버설 조인트 결합되고, 상기 제2-2부재에는 상기 반경방향과 교차하는 방향으로 직선운동하도록 결합되는 제3-2부재를 가지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제1항에 있어서, 상기 링크조립체부는 제1링크부, 제2링크부 및 제3링크부를 가지고, 상기 제1링크부, 상기 제2링크부 및 상기 제3링크부는 각각 상기 베이스 플랫폼부에 결합되는 제1동력부와, 일단부는 상기 제1동력부에 결합되어 상기 축방향으로 직선운동하고, 타단부는 상기 무빙 플랫폼부에 슬라이딩 가능하게 밀착되는 제1-1부재를 가지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제7항에 있어서, 상기 무빙 플랫폼부에 구비되고, 상기 무빙 플랫폼부가 상기 링크조립체부에 밀착되도록 힘을 제공함과 동시에, 상기 무빙 플랫폼부가 상기 베이스 플랫폼부와 연동되어 회전하도록 구속하는 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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제1항에 있어서,상기 샘플팁의 미세 조정이 가능하도록, 상기 프로브부는, 상기 베이스 플랫폼부를 기준으로, 상기 무빙 플랫폼부 방향으로 연장되는 제1길이가 상기 샘플팁 방향으로 연장되는 제2길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 병렬형 고니오미터
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