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유기화합물 입자 크기 및 입자 발생량 실시간 측정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2020000177
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 기술은 반도체/디스플레이 공정 중 화학 증착 소재로 사용하는 유기화합물 입자크기 및 입자발생량 실시간 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기화합물이 분사되었을 때의 입자크기 및 입자발생량을 실시간으로 측정할 수 있고, 발광부와 렌즈부의 노출면에 유기화합물로 인한 윈도우 오염도를 감지하여 측정오차를 줄이고 윈도우 교체시기를 판단할 수 있는 유기화합물 입자크기 및 입자발생량 실시간 측정 장치에 관한 것이다.
Int. CL G01N 15/02 (2006.01.01) G01N 15/10 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 15/0211(2013.01) G01N 15/0211(2013.01) G01N 15/0211(2013.01) G01N 15/0211(2013.01)
출원번호/일자 1020180068217 (2018.06.14)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0141440 (2019.12.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 서울시 양천구
2 김진태 대전시 유성구
3 송제범 대전광역시 유성구
4 안종기 대전광역시 대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0582195-03
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
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반도체/디스플레이 공정 중 발생하는 유기화합물의 입자 크기 및 입자 발생량을 측정하기 위한 장치 및 방법에 있어서,진공상태에서 유기화합물을 분사하는 모듈;레이저 발생부와 레이저 수집부 사이에 진공 및 가스유동에 의해 유기화합물 입자가 흐를 수 있도록 경로를 형성하고, 레이저산란방식을 도입하여 유기화합물의 입자 크기 및 입자 발생량을 실시간으로 측정하는 입자 측정 모듈;을 포함하여 구성되며,또한 상기 실시간 측정 모듈은 입자측정 윈도우의 오염을 방지하기 위해 프리즘 형태의 구조를 포함하며,또한, 윈도우 오염도 측정 모듈을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 유기화합물 입자 크기 및 입자 발생량 실시간 측정 장치 및 그 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 국가과학기술연구회 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 미래 나노급 반도체 및 대면적 OLED를 위한 증착소재개발의 한계돌파를 위한 복합물성 측정 장비개발