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원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템으로:상기 시스템은, 시료를 고정하는 상판과 자석에 끌리는 하판을 포함하는 원판형 시료홀더;상기 시료홀더를 상면 공간에 고정하고 회전시키는 전자석과 회전축을 내부에 구비하고 받침판에 고정된 시료 고정 베이스부;상기 베이스부 상면 공간과 상기 원자간력 현미경에 탈착가능하며, 상기 시료홀더를 붙잡아 이동시키는 그리퍼(gripper)의 움직임을 조절하는 다축 스테이지;상기 다축 스테이지의 그리퍼가 붙잡은 시료 홀더에 고정된 시료의 형상을 관찰하도록 상기 고정 베이스부와 함께 받침판에 고정된 광학 현미경; 및상기 베이스부 상면 공간과 상기 원자간력 현미경에 상기 다축 스테이지와 호환되도록 탈착가능한 탐침 스테이지를 포함하고,상기 다축 스테이지는, 상기 고정 베이스부 상면에서 상기 탐침 스테이지와 상기 다축 스테이지를 교차 부착하여 조절된 측정 위치 및 간격 정보를 저장하여, 원자간력 현미경 내부에서 상기 시료와 상기 탐침이 동일한 위치와 간격이 되도록 제어하는 제어부에 상기 정보를 제공하고, 상기 다축 스테이지의 축은 서로 직교하는 3(x, y, z)축이고, 상기 그리퍼는 상기 시료홀더의 측면을 붙잡거나 놓는 동작을 하고,상기 그리퍼는, 양팔을 개방하는 직선 운동 가이드를 사용하거나, 다른 종횡비의 캠에 모터가 부착되어 작동될 수 있는,원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템
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제 1항에 있어서,상기 고정 베이스부의 회전축은 상기 받침판에 고정된 회전모터와 타이밍 벨트(Timing belt)로 연결된,원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템
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제 1항에 있어서,상기 전자석은 상기 고정 베이스부의 회전축을 둘러싸는 코일로 형성되는, 원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템
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원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템을 이용한 관찰방법으로, 상기 관찰방법은, 시료를 고정하는 상판과 자석에 끌리는 하판을 포함하는 원판형 시료홀더를 준비하는 단계;상기 시료홀더를 상면 공간에 고정하고 회전시키는 전자석과 회전축을 내부에 구비하고 받침판에 광학 현미경과 함께 고정된 시료 고정 베이스부를 준비하는 단계;상기 베이스부 상면 공간과 상기 원자간력 현미경에 탈착가능하며, 상기 시료홀더를 붙잡아 이동시키는 그리퍼(gripper)의 움직임을 조절하는 다축 스테이지를 상기 베이스부 상면 공간에 부착하는 단계;상기 부착하는 단계에서 부착된 다축 스테이지의 위치를 초기화하고 이탈시키는 단계;상기 다축 스테이지를 이탈시킨 공간에 상기 다축 스테이지와 크기 및 형상이 동일한 탐침 스테이지를 부착하고 탐침의 위치와 영상을 저장하는 단계;상기 탐침 스테이지를 이탈시키는 단계;상기 탐침 스테이지를 이탈시킨 공간에 시료를 부착한 시료홀더를 상기 전자석이 고정하도록 위치시키는 단계;상기 시료가 위치한 공간을 감싸는 다축 스테이지를 부착하고 회전축 위치를 조절한 뒤 시료홀더를 상기 그리퍼로 고정하는 단계;상기 그리퍼로 고정한 시료홀더를 상기 저장하는 단계에서 저장된 탐침의 위치와 영상에 맞추어 상기 광학 현미경과 제어부를 통해 조절하는 단계; 상기 조절하는 단계에서 조절된 위치정보를 저장하는 단계;상기 다축 스테이지를 상기 원자간력 현미경에 장착하고, 상기 시료 홀더를 저장된 위치정보에 따라 위치시키는 단계; 및상기 다축 스테이지를 상기 원자간력 현미경에서 제거하고, 상기 다축 스테이지 위치에 탐침 스테이지를 장착하여 관찰하는 단계를 포함하고, 상기 다축 스테이지의 축은 서로 직교하는 3(x, y, z)축이고, 상기 그리퍼는 상기 시료홀더의 측면을 붙잡거나 놓는 동작을 하고, 상기 그리퍼는, 양팔을 개방하는 직선 운동 가이드를 사용하거나, 다른 종횡비의 캠에 모터가 부착되어 작동될 수 있는,원자간력 현미경 시료와 탐침 사이의 위치조절을 위한 시료 스테이지 시스템을 이용한 관찰방법
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