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조절 가능한 플라즈모닉 공진 특성을 가지는 메타물질 구조체 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020000229
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 명세서는 기판; 기판 상의 나노패턴으로 구성된 제1금속; 제1금속의 외면에서 갈바닉 치환된 제2금속; 제2금속으로 구성된 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 및 그 제조방법을 개시한다.
Int. CL C23C 18/31 (2006.01.01) C23C 18/16 (2006.01.01) C23C 18/18 (2006.01.01) G02B 1/00 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01) C23C 18/31(2013.01)
출원번호/일자 1020180075758 (2018.06.29)
출원인 고려대학교 산학협력단, 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0002348 (2020.01.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.06.29)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수정 인천광역시 부평구
2 오승주 서울특별시 중구 청구로
3 이헌 서울특별시 서초구
4 성민기 서울특별시 성북구
5 홍성훈 대전광역시 유성구
6 윤혜원 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)
2 이형석 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
2 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0642998-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0088393-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0699941-48
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1205172-24
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-1205125-99
8 등록결정서
Decision to grant
2020.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0020525-46
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번호 청구항
1 1
나노패턴으로 구성된 제1금속; 상기 제1금속의 외면에서 갈바닉 치환된 제2금속; 상기 제2금속 내지 제n-1금속 각각의 외면에서 갈바닉 치환된 제3 내지 제n금속; 및상기 제2금속 내지 제n금속으로 구성된 코팅층;을 포함하며, 상기 제1 내지 제n금속은 각각 독립적으로 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 납(Pb)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체:(단, n은 4 또는 5)
2 2
제1항에 있어서, 상기 제2금속은 상기 제1금속보다 환원전위가 높고, 상기 제n금속은 상기 제n-1금속보다 환원전위가 높은 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체
3 3
제2항에 있어서, 상기 코팅층의 두께가 1nm 이상 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체
4 4
제3항에 있어서, 상기 제1금속과 치환된 상기 제2금속의 원자함량비가 10:1 이상 10:8 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체
5 5
삭제
6 6
메타물질 구조체 제조방법에 있어서,(제1단계) 기판을 준비하는 단계;(제2단계) 상기 기판 상에 제1금속을 금속 박막으로 나노패터닝하는 단계; (제3단계) 상기 기판 및 제1금속을, 제2금속을 포함하는 수용액에 잠입시키는 단계; (제4단계) 상기 제1금속의 외면이 상기 제2금속으로 갈바닉 치환되어 제2금속으로 구성된 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 제2금속 내지 제n-1금속 각각의 외면이 제3금속 내지 제n금속으로 갈바닉 치환되어 제3 내지 제n금속으로 구성된 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 내지 제n금속은 각각 독립적으로 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 납(Pb)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고, 상기 나노패터닝은 전자빔 리소그래피, 가열식 임프린팅, UV 임프린팅, 미세접촉프린팅, 미세전사법, 광 스탬프, 모세관 힘 리소그래피, 모세관-미세몰딩, 미세전사몰딩, 나노 임프린팅, 액체중재전사몰딩, 화학적 증기 증착법, 물리적 증기 증착법 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법:(단, n은 4 또는 5)
7 7
제6항에 있어서, 상기 제2금속을 포함하는 수용액의 온도가 60℃ 이상 100℃ 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 코팅층의 두께가 1nm 이상 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 금속 박막의 제1금속과 상기 갈바닉 치환된 제2금속의 원자함량비가 10:1 이상 10:8 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
10 10
삭제
11 11
메타물질 구조체 제조방법에 있어서,(제1단계) 기판을 준비하는 단계;(제2단계) 상기 기판 상에 제1금속을 적어도 하나 이상인 금속 나노입자로 나노패터닝하는 단계; (제3단계) 상기 기판 및 제1금속을, 제2금속을 포함하는 수용액에 잠입시키는 단계; (제4단계) 상기 제1금속의 외면이 상기 제2금속으로 갈바닉 치환되어 제2금속으로 구성된 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 제2금속 내지 제n-1금속 각각의 외면이 제3 내지 제n금속으로 갈바닉 치환되어 제3 내지 제n금속으로 구성된 코팅층을 형성하는 단계; 를 포함하며, 상기 제1 내지 제n금속은 각각 독립적으로 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 납(Pb)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고, 상기 나노패터닝은 전자빔 리소그래피, 가열식 임프린팅, UV 임프린팅, 미세접촉프린팅, 미세전사법, 광 스탬프, 모세관 힘 리소그래피, 모세관-미세몰딩, 미세전사몰딩, 나노 임프린팅, 액체중재전사몰딩, 화학적 증기 증착법, 물리적 증기 증착법 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법:(단, n은 4 또는 5)
12 12
제11항에 있어서, 상기 제2단계 이후에,상기 금속 나노입자를 열적으로 소결하여 금속 나노입자 간 커플링시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
13 13
삭제
14 14
제12항에 있어서, 상기 제2금속을 포함하는 수용액의 온도가 60℃ 이상 100℃ 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 코팅층의 두께가 1nm 이상 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 금속 나노입자의 제1금속과 상기 갈바닉 치환된 제2금속의 원자함량비가 10:1 이상 10:8 이하인 것을 특징으로 하는 메타물질 구조체 제조방법
17 17
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 고려대학교 STEAM연구(R&D) 20 nm 급 3차원 테라스케일 메타물질 구현을 위한 공정·소재 기술 개발
2 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원 STEAM연구(R&D) 가시광파장용 나노결정기반 3차원 저손실 메타소재 개발