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상부면에 전극이 배치되는 복수의 홈 및 상기 복수의 홈 각각에 연통되는 관통홀을 구비하는 기판;상기 기판 상부면의 제1 홈에 백금 플레이트가 형성된 작업 전극;상기 기판 상부면의 제1 홈에 이격되게 배치된 제2 홈에 은/염화은 박막이 형성된 기준 전극; 및상기 제1 홈 및 제2 홈 각각에 연통된 관통홀을 통하여 상기 작업 전극 및 기준 전극 각각에 대응되게 연결되는 전극 배선;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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제1항에 있어서,상기 기판 상부면의 제1 홈에 이격되게 배치된 제3 홈에 백금 플레이트가 형성된 카운터 전극;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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제2항에 있어서,상기 카운터 전극은 상기 기판의 제3홈에 연통된 관통홀을 통하여 전극 배선이 연결된 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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제3항에 있어서,상기 제2 홈의 깊이는 상기 제1 홈 및 제3 홈보다 더 깊게 형성되고,상기 기준 전극은 상기 제2 홈에 백금 플레이트 및 은/염화은 박막이 순차적으로 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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제1항에 있어서,상기 기준 전극은 디스펜싱(dispensing) 또는 스크린 프린팅으로 은/염화은 박막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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제1항에 있어서,상기 기판의 수평면을 기준으로 상기 기판과 상기 전극의 높이에 있어서 단차가 없는 것을 특징으로 하고,상기 작업 전극 및 기준 전극의 외곽 가장자리에 원형 웰벽이 형성된 것을 특징으로 하는 전기화학센서
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상부면에 전극이 배치되는 복수의 홈을 구비하는 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상부면의 제1 홈에 백금 플레이트를 배치하여 작업 전극을 형성하는 단계;상기 기판 상부면의 제1 홈에 이격되게 형성된 제2 홈에 은/염화은 박막이 기준 전극을 형성하는 단계; 및상기 기판의 제1 홈 및 제2 홈 각각에 연통된 관통홀을 통하여 상기 작업 전극 및 기준 전극 각각에 대응되게 연결되는 전극 배선을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 기준 전극을 형성하는 단계 이후에,상기 기판 상부면의 제1 홈에 이격되게 형성된 제3 홈에 백금 플레이트가 형성된 카운터 전극을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 전극 배선을 형성하는 단계는, 상기 카운터 전극을 형성하는 단계 이후에, 상기 기판의 제3홈에 연통된 관통홀을 통하여 상기 카운터 전극에 전극 배선이 연결되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 제2 홈의 깊이는 상기 제1 홈 및 제3 홈보다 더 깊게 형성되고,상기 기준 전극은 상기 제2 홈에 백금 플레이트 및 은/염화은 박막이 순차적으로 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 기판의 수평면을 기준으로 상기 기판과 상기 전극의 높이에 있어서 단차가 없도록 폴리싱(polishing)을 하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 작업 전극 및 기준 전극의 외곽 가장자리에 원형 웰벽이 형성되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학센서의 제조방법
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