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전도성 고분자 박막 패턴형성 방법

  • 기술번호 : KST2020000257
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) PEDOT:PSS(poly(3,4-ethylenedioxythiophene):polystyrene sulfonate)을 포함하는 용액을 기판 상에 코팅하여 상기 용액을 포함하는 코팅층을 기판 상에 형성하는 단계; (b) 상기 코팅층의 소정 부분에 광을 조사하여 상기 소정부분에 패턴화된 PEDOT:PSS와 상기 소정부분 이외에 상기 코팅층을 포함하는 프리-패턴화된(pre-patterned) 기판을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 프리-패턴화된 기판에서 상기 코팅층을 제거하여 PEDOT:PSS 패턴을 포함하는 전도성 고분자 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법을 제공한다. 본 발명의 전도성 고분자 패턴형성 방법은 PEDOT:PSS 용액에 레이저를 직접 조사하여 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 패턴 형성 방법을 이용함으로써, 추가적인 건조과정을 수행하지 않아 공정을 단순화시키고, 공정 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, PEDOT:PSS 용액에 광을 직접 조사하여 패턴을 형성하여 투명전극에 사용할 수 있는 박막을 제조함으로써, 전극의 전도성, 투과율, 평탄도 및 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01B 1/12 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01)
출원번호/일자 1020180073788 (2018.06.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-2124630-0000 (2020.06.12)
공개번호/일자 10-2020-0001173 (2020.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20200618) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.06.27)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤창훈 광주광역시 광산구
2 고혁 광주광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0629872-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0009315-29
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0060912-39
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0294960-40
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0294980-53
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0386523-38
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0580387-74
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0580357-15
11 등록결정서
Decision to grant
2020.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0397361-96
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번호 청구항
1 1
(a) PEDOT:PSS(poly(3,4-ethylenedioxythiophene):polystyrene sulfonate)을 포함하는 용액을 기판 상에 코팅하여 상기 용액을 포함하는 코팅층을 기판 상에 형성하는 단계;(b) 상기 코팅층의 소정 부분에 광을 조사하여 상기 소정부분에 패턴화된 PEDOT:PSS와 상기 소정부분 이외에 상기 코팅층을 포함하는 프리-패턴화된(pre-patterned) 기판을 제조하는 단계; 및(c) 상기 프리-패턴화된 기판에서 상기 소정부분 이외의 코팅층을 제거하여 상기 소정부분에 패턴화된 PEDOT:PSS 패턴을 포함하는 전도성 고분자 박막을 제조하는 단계;를 포함하고,상기 소정부분에 패턴화된 PEDOT:PSS 패턴은 고체화된 것이고,상기 광의 파장이 500nm 내지 10㎛인 것인, 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 광이 레이저, 다 파장 램프, 제온 램프(Xeon lamp), 단 파장 램프, 모노크로미터(monochrometer), 플래시 램프(Flash lamp) 및 이들을 광원으로 하는 광학 기구 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
3 3
제1항에 있어서,단계 (a) 이후,상기 코팅층을 소프트 베이크(soft bake)하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 소프트 베이크(soft bake)가 10 내지 200℃의 온도에서 열처리하여 상기코팅층의 용매의 일부를 증발시키는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 소프트 베이크(soft bake)가 1 내지 1,000초 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 용액이 PEDOT:PSS 고분자 및 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 용액의 농도가 0
8 8
제6항에 있어서,상기 용매가 극성 용매인 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 용액이 전도성 물질을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 전도성 물질이 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 이리듐(Ir), 알루미늄(Al), 은(Ag), 티타늄(Ti), 바나듐(V), 크롬(Cr) 및 망간(Mn) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
11 11
제1항에 있어서,단계 (b)에서, 상기 광 조사에 의해 상기 PEDOT:PSS을 포함하는 용액에 포함된 용매가 증발하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
12 12
제1항에 있어서,단계 (b)에서, 상기 코팅층에 상기 광을 직접 조사하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
13 13
삭제
14 14
제1항에 있어서,상기 광의 세기가 단위 면적(1㎠) 및 단위 두께(1nm)를 기준으로 1Х107 내지 1Х1010W/1㎠·nm인 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
15 15
삭제
16 16
제1항에 있어서,단계 (c)에서, 코팅층 제거는 세정 용매에 상기 프리-패턴화된 기판을 침지(Dipping) 또는 세정(Washing)하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
17 17
제1항에 있어서,단계 (b)에서, 상기 광 조사가 상기 코팅층에 포함된 PEDOT:PSS 고분자 내부에 열을 발생시키는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
18 18
제17항에 있어서,상기 내부에 발생된 열에 의해 PEDOT:PSS 고분자의 저항이 감소하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
19 19
제1항에 있어서,상기 PEDOT:PSS 패턴을 포함하는 전도성 고분자 박막의 두께가 5nm 내지 5㎛인 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 박막 패턴형성 방법
20 20
다수개의 변성 PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(styrenesulfonate))코어쉘을 포함하고,다수개의 상기 변성 PEDOT:PSS 코어쉘 중 어느 하나의 변성 PEDOT:PSS 코어쉘은 PEDOT을 포함하는 코어; 상기 코어의 표면 중 일 부분에 위치하고, PSS을 포함하는 쉘; 및상기 코어의 표면 중 타 부분의 전부 또는 일부에 위치하고, 상기 변성 PEDOT:PSS 코어쉘에 인접한 다른 하나의 변성 PEDOT:PSS 코어쉘의 코어에 접하여 연결되는 PEDOT(poly(3,4-ethylenedioxythiophene))을 포함하는 연결부;를 포함하는 변성 PEDOT:PSS 코어쉘 클러스터
21 21
제20항에 있어서,상기 변성 PEDOT:PSS 코어쉘 클러스터가 박막 또는 패턴 형성에 사용하기 위한 것을 특징으로 하는 변성 PEDOT:PSS 코어쉘 클러스터
22 22
(1) PEDOT을 포함하는 코어 및 상기 코어의 표면에 위치하고, PSS을 포함하는 쉘을 포함하는 다수의 PEDOT:PSS 코어쉘에 광을 조사하여 상기 코어를 가열하는 단계; 및(2) 가열된 코어의 열이 상기 쉘에 전달되어 상기 쉘의 일부가 녹아 재배열하여 상기 코어와 인접한 다른 코어를 서로 연결하고 상기 PEDOT을 포함하는 연결부를 형성하여 제20항에 따른 변성 PEDOT/PSS 코어쉘 클러스터를 제조하는 단계;를 포함하고,상기 광의 파장이 500nm 내지 10㎛인 것인, 변성 PEDOT/PSS 코어쉘 클러스터의 제조방법
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