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나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법에 있어서,제1감광제 패턴을 형성하는 단계와;상기 제1감광제 패턴을 통해 제1위상전이마스크를 형성하는 단계와;상기 제1위상전이마스크를 이용하여 제2감광제 패턴을 형성하는 단계와;상기 제2감광제 패턴에 금속도금층을 성장시켜 나노금형을 형성하는 단계와;상기 나노금형을 통해 나노패턴 필름을 형성하는 단계와;상기 나노패턴 필름을 이용하여 나노패턴이 형성된 바코터를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1감광제 패턴을 형성하는 단계는,크롬마스크를 준비하는 단계와;상기 크롬마스크의 일면인 크롬 패턴면에 감광제를 도포하고, 상기 크롬마스크의 타면에서 감광제 방향으로 자외선(UV)을 조사하여 상기 제1감광제 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1위상전이마스크를 형성하는 단계는,상기 제1감광제 패턴의 상부에 투명한 액상의 고분자를 도포한 후 60 내지 100℃에서 열경화하고, 상기 제1감광제 패턴으로부터 분리하여 상기 제1감광제 패턴에 의해 기둥형상으로 함몰된 패턴을 가지는 상기 제1위상전이마스크를 형성하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제2감광제 패턴을 형성하는 단계는,상기 제1위상전이마스크에 자외선을 조사하여 상기 제1위상전이마스크에 형성된 패턴 중 양각으로 돌출된 패턴 부분과 음각으로 함몰된 패턴이 만나는 에지(edge) 부분에서 자외선 강도가 낮아져 상기 제2감광제 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 나노금형을 형성하는 단계는,전기도금 공정을 이용하여 니켈(Ni) 또는 니켈합금(Ni alloy)으로 이루어진 금속도금층을 성장시킨 후, 상기 제2감광제 패턴을 상기 금속도금층으로부터 분리하여 상기 나노금형을 형성하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 나노패턴이 형성된 바코터를 얻는 단계는,상기 나노패턴 필름의 하부에 탄성필름을 부착하고, 상기 나노패턴 필름을 바(bar)에 감아서 형성하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 나노패턴 필름은 상기 바의 길이방향과 나노패턴의 방향을 수직하게 부착하거나 또는 상기 바의 길이방향과 나노패턴의 방향을 평행하도록 부착하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 바코터는 나노패턴의 선폭이 500 내지 2,000nm이고, 나노패턴의 높이는 500 내지 2,000nm이며, 나노패턴 간의 간격은 5 내지 20㎛인 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터 제조방법
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나노패턴을 포함하는 바코터에 있어서,바(bar)와;상기 바의 표면에 상기 바의 길이방향과 수직하거나 또는 평행한 나노패턴을 포함하며,상기 나노패턴은 선폭이 500 내지 2,000nm이고, 높이는 500 내지 2,000nm이며, 간격은 5 내지 20㎛인 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터
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나노패턴을 포함하는 바코터를 이용한 박막 형성방법에 있어서,제1감광제 패턴을 형성하는 단계와;상기 제1감광제 패턴을 통해 제1위상전이마스크를 형성하는 단계와;상기 제1위상전이마스크를 이용하여 제2감광제 패턴을 형성하는 단계와;상기 제2감광제 패턴에 금속도금층을 성장시켜 나노금형을 형성하는 단계와;상기 나노금형을 통해 나노패턴 필름을 형성하는 단계와;상기 나노패턴 필름을 이용하여 나노패턴이 형성된 바코터를 얻는 단계와;상기 바코터를 이용하여 트렌치패턴 필름에 페이스트를 도포하는 단계와;상기 트렌치패턴 필름 상부에 잔여 페이트를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노패턴을 포함하는 바코터를 이용한 박막 형성방법
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