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상단에 플라즈마 토치가 장착되어 있는 플라즈마 분해 반응기; 및상기 플라즈마 분해 반응기 내부 공간에 상부로부터 하부를 향해 불화가스를 분사하여 가스를 공급하는 가스 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 분해 반응기는 원통형 형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 분해 반응기는,반응기 본체; 및상기 반응기 본체의 상부에 위치하는 상부 반응기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 분해 반응기는 반응율 향상을 위한 반응율 향상 소켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 4 항에 있어서,상기 반응율 향상 소켓의 재질은 니켈계 합금, 코발트계 합금, 탄소강, 스테인리스 스틸, 알루미늄, 마그네슘을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 4 항에 있어서,상기 반응율 향상 소켓은,반응기 본체와 상부 반응기 사이에 결합되는 결합부; 및상기 결합부로부터 연장되어 있는 연장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 6 항에 있어서,상기 결합부는 반응기 본체와 상부 반응기 사이에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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8
제 6 항에 있어서,상기 연장부는 결합부로부터 플라즈마 분해 반응기의 상부 반응기의 내부 공간을 향해 상향 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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9
제 3 항에 있어서,상기 반응기 본체의 상부 일측에는 증산벽 가스 주입구가 천공되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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10
제 3 항에 있어서,상기 반응기 본체의 하단 외주부에는 후단가스 처리 결합부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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11
제 3 항에 있어서,상기 반응기 본체의 하단 내부에는 가스 누출을 방지하기 위한 스토퍼가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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12
제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 분해 반응기는 증산벽을 형성하는 반응기 내부 본체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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13
제 12 항에 있어서,상기 반응기 내부 본체의 재질은 니켈계 합금, 코발트계 합금, 탄소강, 스테인리스 스틸을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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14
제 12 항에 있어서,상기 반응기 내부 본체는 증산벽 가스 분사를 위해 증산벽 가스 분사구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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15
제 14 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구는 반응기 내부 본체에 다수개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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16
제 14 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구는 등간격 또는 비등간격으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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17
제 14 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구의 크기는 상호 상이한 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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18
제 14 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구는 평면을 기준으로 하향 경사진 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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19
제 18 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구는 0° 내지 90° 범위인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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20
제 19 항에 있어서,상기 증산벽 가스 분사구는 45° 내지 75° 범위인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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21
제 12 항에 있어서,상기 증산벽을 형성하는 가스는 수증기, 질소, 아르곤, 헬륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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22
제 1 항에 있어서,상기 가스 공급부는 플라즈마 분해 반응기와 동심원을 이루는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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23
제 1 항에 있어서,상기 가스 공급부는,불화가스 분사구; 및상기 불화가스 분사구의 외주에 위치하는 보호가스 분사구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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24
제 23 항에 있어서,상기 불화가스 분사구와 보호가스 분사구는 축방향을 기준으로 분사각도가 조절되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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25
제 23 항에 있어서,상기 불화가스 분사구와 보호가스 분사구의 분사각도 범위는 수직 단면의 축방향을 기준으로 -45° 내지 45° 범위인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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상단에 플라즈마 토치가 장착되어 있고 증산벽을 형성하는 반응기 내부 본체를 포함하는 플라즈마 분해 반응기; 및상기 반응기 내부 공간에 상부로부터 하부를 향해 불화가스를 분사하도록 가스를 공급하는 가스 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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상단에 플라즈마 토치가 장착되어 있고 증산벽을 형성하는 반응기 내부 본체를 포함하는 플라즈마 분해 반응기; 및상기 반응기 내부 공간에 상부로부터 하부를 향해 불화가스를 분사하도록 가스를 공급하는 가스 공급부;를 포함하고,상기 플라즈마 분해 반응기는 반응율 향상을 위한 반응율 향상 소켓을 더 포함하며,상기 반응율 향상 소켓은 결합부와 상기 결합부로부터 반응기 내부 본체를 향해 하향 연장되어 있는 연장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용하는 불화가스 혼합물 분해 장치
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제 1 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 따른 불화가스 혼합물 분해 장치를 이용하는 방법으로서,불화가스를 투입하는 단계,보호가스를 투입하는 단계,불활성가스를 투입하여 증산벽을 형성하는 단계, 및플라즈마 토치에 의한 불화가스 분해 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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