| 1 |
1
제1 레이저 빔을 수신하고, 상기 제1 레이저 빔과 다른 제2 레이저 빔을 출력하는 레이저 모듈에 있어서,상기 제1 레이저 빔을 상기 제2 레이저 빔으로 변조하여 출력하는 광학계;상기 레이저 모듈 내의 광 경로(optical path) 상에 배치되어, 상기 제1 레이저 빔을 상기 광학계로 반사하는 제1 미러;상기 제1 미러에 인접하게 배치되어, 상기 제1 미러에 입사하는 상기 제1 레이저 빔을 감지하는 제1 센서;상기 레이저 모듈 내의 광 경로 상에 배치되어, 상기 제2 레이저 빔을 상기 레이저 모듈의 외부로 반사하는 제2 미러; 및상기 제2 미러와 연결되어 상기 제2 미러를 회동시키는 제1 구동기를 포함하는 레이저 모듈
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 광학계는 펄스 확장기, 증폭기 및 펄스 압축기 중 적어도 하나를 포함하는 레이저 모듈
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 제2 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔과 펄스 폭, 펄스 스펙트럼, 강도 및 편광 방향 중 적어도 하나가 다른 레이저 모듈
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 제1 센서와 연결되며, 상기 제1 센서로부터 제1 레이저 빔에 대한 감지신호를 제공받아 구동신호를 생성하도록 구성된 제어부를 더 포함하는 레이저 모듈
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,상기 제어부와 연결된 제1 단자 및 상기 제1 구동기와 연결된 제2 단자를 포함하는 레이저 모듈
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 제1 미러는 반투과성 미러를 포함하고, 상기 제1 센서는 상기 제1 미러를 투과하는 상기 제1 레이저 빔을 감지 하도록 구성된 전하결합 소자를 포함하는 레이저 모듈
|
| 7 |
7
제1 항에 있어서,상기 제1 미러와 연결되어 상기 제1 미러를 회동시키는 제2 구동기를 더 포함하는 레이저 모듈
|
| 8 |
8
제1 항에 있어서,상기 레이저 모듈의 광 경로 상에서 상기 제1 미러의 뒤에 배치된 제3 미러; 및 상기 제3 미러와 인접하게 배치되어, 상기 제3 미러에 입사하는 제1 레이저 빔을 감지하는 제2 센서를 더 포함하는 레이저 모듈
|
| 9 |
9
제1 항에 있어서,상기 제1 미러와 연결되어 상기 제1 미러를 회동시키는 제2 구동기;상기 레이저 모듈의 광 경로 상에서 상기 제1 미러의 뒤에 배치된 제3 미러;상기 제3 미러와 인접하게 배치되어, 상기 제3 미러에 입사하는 제1 레이저 빔을 감지하는 제2 센서; 및상기 제2 센서로부터 제1 레이저 빔에 대한 감지신호를 제공받아 상기 제2 구동기에 구동신호를 제공하도록 구성된 제어부를 더 포함하는 레이저 모듈
|
| 10 |
10
제1 레이저 모듈; 및 상기 제1 레이저 모듈로부터 레이저 빔을 수신하는 제2 레이저 모듈을 포함하되,상기 제1 레이저 모듈은:제1 레이저 빔을 출력하는 제1 광학계;상기 제1 레이저 빔을 상기 제2 레이저 모듈로 반사하는 제1 미러; 및상기 제1 미러를 회동시키도록 상기 제1 미러에 결합된 제1 구동기를 포함하고,상기 제2 레이저 모듈은:상기 제1 레이저 빔을 전달받아 상기 제1 레이저 빔과 다른 제2 레이저 빔을 출력하는 제2 광학계;상기 제1 레이저 빔을 상기 제2 광학계를 향하여 반사하는 제2 미러; 및상기 제2 미러에 인접하게 배치되어, 상기 제2 미러에 입사하는 상기 제2 레이저 빔을 감지하는 센서를 포함하는 레이저 시스템
|
| 11 |
11
제10 항에 있어서,상기 제2 레이저 모듈은 상기 센서 및 상기 제1 구동기와 연결된 제어부를 더 포함하는 레이저 시스템
|
| 12 |
12
제11 항에 있어서,상기 제어부는 상기 센서로부터 상기 제1 레이저 빔에 대한 감지신호를 제공받아 상기 제1 구동기에 구동신호를 제공하도록 구성되는 레이저 시스템
|
| 13 |
13
제12 항에 있어서,상기 감지신호는 상기 제1 레이저 빔이 상기 제2 미러에 조사되는지 여부에 관한 정보 및 제3 미러 상에 제1 레이저 빔이 조사되는 위치에 관한 정보 중 적어도 하나를 포함하는 레이저 시스템
|
| 14 |
14
제10 항에 있어서,상기 제1 광학계는 오실레이터, 펄스 확장기, 증폭기 및 펄스 압축기 중 적어도 하나를 포함하는 레이저 시스템
|
| 15 |
15
제10 항에 있어서,상기 제2 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔과 펄스 폭, 펄스 스펙트럼, 강도 및 편광 방향 중 적어도 하나가 다른 레이저 시스템
|
| 16 |
16
제10 항에 있어서,상기 제2 레이저 모듈은 상기 제2 레이저 빔을 상기 제2 레이저 모듈의 외부로 반사하는 제3 미러 및 상기 제3 미러를 회동시키도록 상기 제3 미러에 결합된 제2 구동기를 포함하는 레이저 시스템
|
| 17 |
17
제10 항에 있어서,상기 제2 미러는 반투과성 미러를 포함하고, 상기 센서는 상기 제2 미러를 투과하는 상기 제1 레이저 빔을 감지 하도록 구성된 전하결합 소자를 포함하는 레이저 시스템
|
| 18 |
18
제10 항에 있어서,상기 제1 레이저 모듈은 상기 제1 구동기와 연결된 제1 단자를 포함하고, 상기 제2 레이저 모듈은 상기 제1 구동기와 연결된 제어부 및 상기 제어부와 연결된 제2 단자를 포함하고,상기 제1 단자 및 상기 제2 단자는 서로 연결되어 상기 제어부와 상기 제1 구동기를 연결시키도록 구성되는 레이저 시스템
|
