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경로 변경부가 이동되면서 형성되는 제 1 라인빔을 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈; 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 제 1 라인빔이 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 어레이 검출부로 제 1 라인빔이 출사되는 측에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 상기 제 1 라인빔이 상기 제 1 개구부로 입사하여 내부에서 반사되어 상기 제 2 개구부로 출사되어 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈; 및상기 집속렌즈의 제 2 개구부의 아래쪽에 구비되고, 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되어, 상기 제 2 개구부로 출사된 제 1 라인빔을 검출하는 어레이 검출부;를 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 집속렌즈는,비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가지는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈
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6
제 1 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 어레이 검출부는 일직선 상에 배치되는, 고효율 투과영상 물체 검사 모듈
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7
입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부;상기 경로 변경부가 이동되면서 형성되는 제 1 라인빔을 검사 대상 물체로 집속시키는 스캐닝 렌즈; 제 1 단면적을 가지는 제 1 개구부 및, 제 2 단면적을 가지는 제 2 개구부를 포함하고 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되고, 제 1 개구부는 상기 검사대상물체로부터 투과되는 제 1 라인빔이 입사되는 측에 구비되고, 제 2 개구부는 어레이 검출부로 제 1 라인빔이 출사되는 측에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 상기 제 1 라인빔이 상기 제 1 개구부로 입사하여 내부에서 반사되어 상기 제 2 개구부로 출사되어 상기 어레이 검출부로 집속시키는 집속렌즈; 및상기 집속렌즈의 제 2 개구부의 아래쪽에 구비되고, 상기 제 1 라인빔을 따라 연장되어 형성되어, 상기 제 2 개구부로 출사된 제 1 라인빔을 검출하는 어레이 검출부;를 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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제 7 항에 있어서,상기 집속렌즈는,비구면 형상 또는 포물면(parabolic) 형상을 가지는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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10
제 7 항에 있어서,상기 제 2 단면적은 상기 제 1 단면적과 같거나 작고, 상기 제 2 단면적은 상기 어레이 검출부가 검출할 수 있는 단면적의 크기와 같거나 작은, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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11
제 7 항에 있어서,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부는 일직선 상에 배치되고, 상기 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부의 맞은편에 구비되는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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12
제 7 항에 있어서,상기 스캐닝 렌즈, 상기 집속 렌즈, 및 상기 어레이 검출부는 일직선 상에 배치되는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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13
제 7 항에 있어서,전자기파를 생성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 전자기파 생성부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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14
제 13 항에 있어서,상기 전자기파 생성부로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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15
제 7 항에 있어서,상기 경로 변경부와 기계적으로 결합되고, 상기 경로 변경부를 제 1 라임빔에 다른 방향으로 이동시켜 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔이 형성되도록 하는 이동부를 더 포함하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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제 15 항에 있어서,상기 경로 변경부는,서로 다른 각도로 틸팅된 복수의 반사면을 포함하고, 회전함에 따라 상기 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경시켜, 상기 검사 대상 물체에 제 1 라인 빔을 형성하는 폴리곤 미러인, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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제 16 항에 있어서,상기 이동부는,상기 폴리곤 미러와 기계적으로 결합되고, 상기 폴리곤 미러를 이동시켜 복수의 반사면에 의해 반사되는 상기 전자기파의 경로를 변경하여, 상기 검사 대상 물체에 상기 제 1 라인빔과 다른 방향으로 형성되는 제 2 라인 빔을 형성하는, 고효율 투과영상 물체 검사 장치
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