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유기 소재의 표면에 제 1 금속 전구체를 증착하여, 제 1 금속 산화물을 포함하는 제 1금속 산화물 층을 형성하는 단계; 상기 제 1 금속 산화물 층이 형성된 유기소재를 2가 금속의 할로겐화물인 제 2 금속 전구체에 노출하는 노출단계; 및상기 노출단계를 거친 유기소재를 탄소열환원하는 단계;를 포함하는 탄소 복합체 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 노출단계는 상기 제 2 금속 전구체를 포함하는 제 2 금속 전구체 용액에 상기 제 1 금속 산화물 층이 형성된 유기 소재를 함침하는 것인 탄소 복합체 제조방법
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삭제
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제 2항에 있어서,상기 제 2 금속 전구체 용액에 포함된 제 2 금속 전구체의 농도는 0
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제 1항에 있어서,상기 제 1 금속 전구체의 증착은 기상 증착법을 이용하는 것인 탄소 복합체 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 제 1 금속 전구체의 증착은 a) 유기 재료를 반응 챔버에 투입하는 단계; 및b) 상기 반응 챔버에 제 1 금속 전구체를 포함하는 원료가스 및 반응가스를 순차로 공급하는 단계;를 포함하며,상기 b) 단계를 1회 이상 반복 수행하는 단계를 포함하는 탄소 복합체 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 탄소 복합체는 유기소재와 제 1 금속 산화물이 혼합된 중간층을 포함하는 탄소 복합체 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제 1 금속 산화물에 포함되는 금속은 V, Al, Zn, Ti, Hf, Mg, Cu, Zr, Ca, Li, Sr, Ba, Sc, Y, Nb, Cr, Mo, W, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Ag, Cd, B, Ga, In, Si, Ge, Sn, Sb 및 Bi에서 선택되는 하나 또는 둘 이상인 탄소 복합체 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제 1 금속 전구체는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인 탄소 복합체 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제 2 금속은 아연, 마그네슘, 칼슘, 철, 바륨 및 망간에서 선택되는 하나 또는 둘 이상인 탄소 복합체 제조방법
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탄소 기저층;상기 탄소 기저층 상에 위치하며, 탄소, 제 1 금속 산화물 및 제 1 금속 탄화물이 혼합된 중간층; 및상기 중간층 상에 위치하며, 상기 중간층의 제 1 금속 산화물 및 제 1 금속 탄화물과 동종의 제 1 금속 산화물 및 제 1 금속 탄화물을 포함하는 입자를 함유하는 표면층;을 포함하며, 비표면적이 750 내지 1,000 m2/g인 범위에서 인성이 2×104 내지 1×106 J/m2인 것을 특징으로 하는 탄소 복합체
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제 11항에 있어서,상기 탄소 복합체는 전체 공극 부피 중 직경이 0
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제 11항에 있어서,상기 입자는 입경이 0
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제 11항에 있어서,상기 중간층의 두께는 1 내지 100 ㎚인 탄소 복합체
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제 11항에 있어서,상기 탄소 복합체는 표면에 주름진 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 복합체
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제 11항 내지 제 15항에서 선택되는 어느 한 항의 탄소 복합체를 포함하는 슈퍼커패시터용 전극
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