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튜브의 외주면에 접착층을 코팅하는 접착층 코팅단계; 기판의 일면에 마이크로 소자 패턴을 마련하는 소자 패턴 마련단계; 상기 튜브의 외주면이 상기 기판에 접하도록 위치시키되, 상기 소자 패턴의 길이방향과 상기 튜브의 반경방향이 교차되도록 위치시키고, 상기 튜브를 상기 튜브의 축방향을 기준으로 회전시킴과 동시에 상기 튜브 및 상기 기판 중 하나 이상을 직선 이동시켜 상기 기판 상의 마이크로 소자 패턴을 상기 접착층에 전사시키는 전사단계; 그리고 상기 접착층을 완전 경화시켜 전사된 상기 마이크로 소자 패턴을 상기 접착층에 고정시키는 고정단계를 포함하는 마이크로 소자의 곡면 전사방법
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제1항에 있어서, 상기 접착층 코팅단계는 상기 접착층에 전사될 마이크로 소자 패턴과의 접착력이 조정되도록, 상기 접착층을 예비경화시키는 예비경화단계를 더 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사방법
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제1항에 있어서, 상기 소자 패턴 마련단계는 원판의 일면에 희생층을 마련하는 희생층 마련단계와, 상기 희생층 상에 상기 마이크로 소자 패턴을 마련하는 패터닝 단계와, 에칭으로 상기 희생층을 약화시켜 상기 마이크로 소자 패턴과 상기 원판 사이의 접착력을 감소시키는 접착력 감소단계와, 상기 마이크로 소자 패턴을 상기 기판으로 전사시키는 예비전사단계를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사방법
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일면에 마이크로 소자 패턴이 마련되는 기판을 지지하는 제1지지부; 외주면에 접착층이 코팅된 튜브가 상기 튜브의 축방향을 중심으로 회전되도록 하고, 상기 튜브의 외주면이 상기 기판에 접하도록 위치시키되, 상기 소자 패턴의 길이방향과 상기 튜브의 반경방향이 교차되도록 상기 튜브를 지지하는 제2지지부; 그리고 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부 중 하나 이상을 직선 이동시켜 상기 기판 상의 상기 마이크로 소자 패턴이 회전하는 상기 튜브의 외주면에 전사되도록 하는 구동부를 포함하고,상기 제1지지부는 상기 튜브의 축방향과 교차하는 방향의 양측에 구비되고, 상기 기판에 장력을 인가하는 장력인가부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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일면에 마이크로 소자 패턴이 마련되는 기판을 지지하는 제1지지부; 외주면에 접착층이 코팅된 튜브가 상기 튜브의 축방향을 중심으로 회전되도록 하고, 상기 튜브의 외주면이 상기 기판에 접하도록 위치시키되, 상기 소자 패턴의 길이방향과 상기 튜브의 반경방향이 교차되도록 상기 튜브를 지지하는 제2지지부; 그리고 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부 중 하나 이상을 직선 이동시켜 상기 기판 상의 상기 마이크로 소자 패턴이 회전하는 상기 튜브의 외주면에 전사되도록 하는 구동부를 포함하고,상기 기판은 롤러 형태로 형성되고, 상기 롤러의 축방향과 상기 튜브의 축방향은 평행한 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제6항에 있어서, 상기 마이크로 소자 패턴은 상기 기판 상에 복수로 마련되며, 상기 제2지지부 및 상기 튜브는 복수의 상기 마이크로 소자 패턴에 대응되도록 복수로 구비되되, 상기 튜브의 축방향과 교차하는 방향을 따라 상기 마이크로 소자 패턴의 간격에 대응되는 간격으로 이격되어 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제7항에 있어서, 복수의 상기 마이크로 소자 패턴은 상기 튜브의 축방향과 교차하는 방향을 따라 상기 기판에 미리 정해진 간격으로 형성되는 영역 내에만 마련되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제7항에 있어서, 상기 기판은 롤러 형태로 형성되고, 상기 롤러의 축방향과 복수의 상기 튜브의 축방향은 평행하게 배치되며, 각각의 상기 튜브는 외주면이 상기 롤러에 마련되는 상기 마이크로 소자 패턴 중 대응되는 마이크로 소자 패턴 각각에 밀착되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제9항에 있어서, 복수의 상기 마이크로 소자 패턴은 상기 기판에 원주방향을 따라 미리 정해진 각도범위로 형성되는 영역 내에만 마련되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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외주면에 복수의 마이크로 소자 패턴이 마련되는 롤러가 상기 롤러의 축방향을 중심으로 회전되도록 지지하는 제1지지부; 외주면에 접착층이 코팅된 복수의 튜브가 각각 상기 튜브의 축방향을 중심으로 회전되도록 하고, 각각의 상기 튜브의 외주면이 상기 롤러의 외주면에 접하도록 위치시키되, 각각의 상기 튜브의 반경방향과 상기 소자 패턴의 길이방향이 교차되도록 각각의 상기 튜브를 지지하는 복수의 제2지지부; 그리고 상기 롤러의 외주면 상의 복수의 상기 마이크로 소자 패턴 각각이 회전하는 상기 튜브 각각의 외주면에 전사되도록, 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부를 독립적으로 상대 직선 이동시키는 구동부를 포함하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제11항에 있어서, 각각의 상기 튜브의 축방향은 서로 평행하게 구비되고, 각각의 상기 튜브의 축방향과 상기 롤러의 축방향은 교차하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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제11항에 있어서, 상기 구동부는 상기 롤러의 회전 선속도와 이동속도가 동일한 크기가 되도록 하고, 각각의 상기 튜브의 회전 선속도와 이동속도가 동일한 크기가 되도록 구동시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 곡면 전사장치
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