| 1 |
1
(a) 비극성용매 및 선형고분자를 혼합하는 단계;(b) 하나의 채널에 상기 (a)단계의 혼합용액과 극성용매를 공급하여 마이셀 구조를 형성하는 단계;(c) 상기 채널에서 유출되는 마이셀 구조를 가열하여 선형고분자를 중합시키고, 용매를 증발시켜 다공성 구조를 수득하는 단계; 및(d) 상기 (c) 단계에서 제조된 다공성 구조의 표면에 전도성 고분자를 중합하는 단계;를 포함하는 낮은 이력현상을 가지는 고민감도 압력센서 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 비극성 용매는 벤젠, 헥산, 톨루엔, 자일렌, 헥사데칸, 옥타데칸 또는 노나데칸인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 선형 고분자는 폴리디메틸실록산(PDMS), 알린하이드로카복실란(allyhydrocarboxsliane) 인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 극성 용매는 물, 클로로포름 인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 (b)단계는 미세유체 시스템을 이용하여 수행되는 단계인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 (c) 단계는 50~100℃에서 수행되며, 선형 고분자의 중합이 먼저 수행된 다음, 용매의 증발이 수행되는 단계인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 (d)단계의 전도성 고분자를 증착하기 이전, 플라즈마 처리를 통하여 작용기를 부착한 다음, 고분자 중합 조제를 부착하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 플라즈마 처리는 O2플라즈마를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 고분자 종합 조제는 피롤실레인 인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 (d) 단계의 전도성 고분자는 피롤 또는 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate(PEDOT;PSS) 인 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 (d)단계는 Fe3+촉매의 존재하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 압력센서의 제조방법
|
| 12 |
12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 압력센서
|
