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금속기판 상에 화학기상증착공정으로 그래핀층을 형성하는 단계;화학기상증착공정으로 형성된 그래핀층 상에 원자층증착공정으로 제1배리어층을 형성하여 그래핀층 상에 존재하는 결함영역에 원자들이 배열되어 형성되는 제1배리어층을 형성하는 단계;제1배리어층 상에 스퍼터링공정으로 전도층을 형성하는 단계; 및 전도층 상에 제2배리어층을 형성하는 단계;를 포함하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제1배리어층 및 제2배리어층은 금속 또는 금속산화물의 원자의 층인 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 1에 있어서, 전도층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 1에 있어서, 그래핀층의 두께는 0
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청구항 1에 있어서, 금속기판은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동, 백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제1배리어층을 형성하는 단계는 오존기반 원자층증착공정인 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 8에 있어서, 그래핀층은 단층그래핀 및 다층그래핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 1에 있어서, 제1배리어층을 형성하는 단계는 70 내지 100℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 다층박막필름 제조방법
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금속기판 상에 요철을 형성하는 단계;금속기판 상에 화학기상증착공정으로 그래핀층을 형성하는 단계;그래핀층 상에 원자층증착공정으로 제1배리어층을 형성하는 단계;제1배리어층 상에 스퍼터링공정으로 전도층을 형성하는 단계; 및 전도층 상에 제2배리어층을 형성하는 단계;를 포함하는 다층박막필름 제조방법
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청구항 11의 다층박막필름 제조방법에 의해 제조된 다층박막필름으로서, 그래핀층의 표면에 금속기판의 요철이 전사된 것을 특징으로 하는 다층박막필름
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