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상부에 레이저 조사를 위한 가드글래스(guard glass)(11)가 형성된 진공챔버(10);상기 가드글래스(11)를 통해 피용접물로 레이저를 조사하는 레이저발생기(20);상기 진공챔버(10)의 내부의 공기를 배출하여 상기 진공챔버(10)의 내부 분위기를 저진공 상태로 형성하는 두개 이상의 진공펌프(30); 및상기 가드글래스(11)의 저부에서 상기 진공챔버(10)의 내측 상부면에 장착되어 내부에 다수의 층류를 생성하는 것에 의해, 용접되는 피용접물에서 발생하는 플룸(plume)이 상기 가드글래스(11)에 증착되는 것을 방지하는 플룸방지관부(40);를 포함하여 구성되는 저진공 레이저 용접 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 플룸방지관부(40)는,상부가 개방되어 상기 가드글래스(11)의 저부에서 상기 진공챔버(10)의 내측 상부면에 장착되는 플룸방지경통(41); 및상기 플룸방지경통(41) 내측으로 가스를 분사하는 것에 의해 상기 다수의 층류를 생성하여, 상기 플룸이 상기 가드글래스(11)에 도달하는 것을 방지하는 두개 이상의 경사노즐(43)들;을 포함하여 구성되는 저진공 레이저 용접 장치
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청구항 2에 있어서, 상기 경사노즐(43)들은,단부는 하방향 분사 경사를 가지도록 형성되어, 상기 플룸방지경통(41)의 원주 상에서는 등각도 간격을 가지며, 수직 하방향으로는 일정 이격 간격을 가지고 배치되도록 상기 플룸방지경통(41)을 관통하여 장착되는 저진공 레이저 용접 장치
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청구항 3에 있어서, 상기 경사노즐(43)들은,분사되는 가스가 상기 플룸방지경통(41)의 내부에서 회전하지 않는 다수의 층류를 형성하도록, 단부가 상기 플룸방지경통(41)의 수직 중심축을 향해 배치 구성되는 저진공 레이저 용접 장치
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청구항 3에 있어서, 강기 경사노즐(43)들은,분사되는 가스가 상기 플룸방지경통(41)의 내부에서 회전하는 다수의 회전층류를 형성하도록, 단부가 상기 경사노즐(43)이 관통되는 플룸방지경통(41)에서의 위치와 상기 플룸방지경통(41)의 수직 중심축을 잇는 반지름에 대하여 일정 각도로 틀어지도록 배치 구성되는 저진공 레이저 용접 장치
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상부에 레이저 조사를 위한 가드글래스(guard glass)(11)가 형성된 진공챔버(10); 상기 가드글래스(11)를 통해 피용접물로 레이저를 조사하는 레이저발생기(20); 상기 진공챔버(10)의 내부의 공기를 배출하여 상기 진공챔버(10)의 내부 분위기를 저진공 상태로 형성하는 하나 이상의 진공펌프(30); 및 상기 가드글래스(11)의 저부에서 상기 진공챔버(10)의 내측 상부면에 장착되어 내부에 다수의 층류를 생성하는 것에 의해, 용접되는 피용접물에서 발생하는 플룸(plume)이 상기 가드글래스(11)에 증착되는 것을 방지하는 플룸방지관부(40);를 포함하여 구성되는 저진공 레이저 용접 장치에 의한 저진공 레이저 용접 방법에 있어서,저진공 레이저 용접을 위한 레이저의 조사와 함께, 단부가 수평면에 대하여 하방향으로 경사를 가지는 상기 경사노즐(43)들을 통해 가스를 분사하여 상기 플룸방지경통(41)의 내부에서 하방향으로 향하는 다수의 층류를 형성하며 레이저 용접을 수행하는 저진공 레이저 용접 방법
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청구항 6에 있어서,상기 경사노즐(43)들의 단부가 상기 플룸방지경통(41)의 수직 중심축을 향하도록 배치되어, 분사되는 가스가 상기 플룸방지경통(41)의 내부에서 하방향을 향하는 회전하지 않는 다수의 층류를 형성하도록 하여 레이저 용접을 수행하는 저진공 레이저 용접 방법
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청구항 6에 있어서, 상기 경사노즐(43)들의 단부가 상기 경사노즐의 장착위치에서 상기 플룸방지경통(41)의 수직 중심축을 잇는 선분에 대하여 동일한 일정 각도로 틀어지도록 배치되어, 분사되는 가스가 상기 플룸방지경통(41)의 내부에서 회전하는 다수의 회전층류를 형성하도록 하여 레이저 용접을 수행하는 저진공 레이저 용접방법
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