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실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판의 상부면에 증착되는 클래딩층과, 상기 클래딩층 상부에 형성되며, 광원에서 출력되는 광신호가 입력되어 진행하는 코어층을 포함하는 격자 결합기로서, 직경 30nm 이상이고, 입력된 상기 광신호가 진행하는 방향으로 직경이 점차 증가하도록 상기 코어층에 형성되며, 매트릭스 형태로 배치되고 내측으로는 유전체 물질이 채워지는 복수의 원형 공간부를 포함하고,n+1 행상의 상기 원형 공간부의 직경은 n행상의 원형 공간부의 직경보다 4 내지 20nm 큰 격자 결합기
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실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판의 상부면에 증착되는 클래딩층과, 상기 클래딩층 상부에 형성되며, 광원에서 방출된 출력 광신호와 입력 광신호가 진행하는 코어층을 포함하는 격자 결합기로서, 직경 30nm 이상이고, 입력된 상기 광신호가 진행하는 방향으로 직경이 점차 증가하도록 상기 코어층에 형성되며, 매트릭스 형태로 배치되고 내측으로는 유전체 물질이 채워지는 복수의 원형 공간부; 및 상기 코어층 상면에 상기 원형 공간부에 이웃하여 일정 간격으로 형성되고, 상기 광신호의 진행 방향에서 상기 원형 공간부보다 후방에 배치되는 복수의 격자를 포함하고, n+1 행상의 상기 원형 공간부의 직경은 n행상의 원형 공간부의 직경보다 4 내지 20nm 큰 격자 결합기
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 원형 공간부는 홀 또는 홈 형태인 격자 결합기
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제2항에 있어서, 상기 격자의 주기는 300 내지 600nm 이고, 상기 격자와 상기 격자 사이의 홈의 깊이는 50 내지 300nm인 격자 결합기
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체 물질의 굴절률은 상기 코어층의 굴절률보다 작은 격자 결합기
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제8항에 있어서, 상기 유전체 물질은,SiO2, Si3N4, ZrO2, Al2O3, HfO2, TiO2, MnO, Ta2O5 중 어느 하나 또는 선택된 2개 이상을 포함하는 격자 결합기
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제9항에 있어서, 상기 유전체 물질은, 진공박막 증착법에 의해 상기 원형 공간부에 채워지는 격자 결합기
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 코어층의 굴절률은 상기 클래딩층의 굴절률보다 큰 격자 결합기
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