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원활한 칩의 방열을 위한 유연소재의 제작 및 이를 활용한 칩의 냉각 방법

  • 기술번호 : KST2020001210
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 고 열전도율을 지닌 유연 소재의 제작 및 이를 활용한 칩의 냉각 방법이 개시된다. 일 실시예에 따르면, 칩의 방열을 위한 방열 소재는 고체 방열 물질 및 액체 유연 물질이 기 설정된 비율로 혼합되어 형성되며, 이 때, 고체 방열 물질 및 액체 유연 물질이 혼합되는 비율은 상기 방열 소재가 갖게 되는 열 전도율 및 상기 방열 소재가 상기 칩에 부착되는 접착성에 기초하여 적응적으로 조절될 수 있다.
Int. CL H01L 23/373 (2006.01.01) H01L 23/467 (2006.01.01)
CPC H01L 23/373(2013.01) H01L 23/373(2013.01) H01L 23/373(2013.01) H01L 23/373(2013.01)
출원번호/일자 1020180084206 (2018.07.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0009613 (2020.01.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.07.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최양규 대전광역시 유성구
2 박준영 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0715616-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0023483-24
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0827829-57
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0045929-61
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0164571-22
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0227509-12
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0227510-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0514630-30
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1021809-63
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-1021808-17
15 등록결정서
Decision to grant
2020.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0831868-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
칩의 방열을 위한 방열 소재에 있어서,상기 방열 소재는, 고체 방열 물질 및 액체 유연 물질이 기 설정된 비율로 혼합되어 형성되는, 방열 소재
2 2
제1항에 있어서,상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율은, 상기 방열 소재가 갖게 되는 열 전도율 및 상기 방열 소재가 상기 칩에 부착되는 접착성에 기초하여 적응적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 방열 소재
3 3
제2항에 있어서,상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율은, 1:9의 비율인 것을 특징으로 하는 방열 소재
4 4
제1항에 있어서,상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율은, 유기용매가 사용됨에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 방열 소재
5 5
제1항에 있어서,상기 방열 소재는, 상기 칩에 탈부착되는 필름 형태 또는 상기 칩에 도포된 뒤 경화되어 사용되는 액체 형태 중 어느 하나로 구현되는 것을 특징으로 하는 방열 소재
6 6
제5항에 있어서,상기 방열 소재는, 상기 칩에 도포된 뒤 경화되어 사용되는 액체 형태로 구현되는 경우, 상기 칩과 상기 칩이 배치되는 기판 사이에 존재하는 공기층에 확산되는 것을 특징으로 하는 방열 소재
7 7
제1항에 있어서,상기 고체 방열 물질로는, CNT(Carbon Nano Tube), 정렬(align) 기술이 적용된 CNT, 흑연 또는 그래핀, 다이아몬드를 포함하는 탄소 계열 물질이 사용되고, 상기 액체 유연 물질로는, PDMS(Polyimethylsiloxane) 또는 하이드로젤(hydrogel) 중 적어도 하나가 사용되는, 방열 소재
8 8
칩의 방열을 위한 방열 소재의 제작 방법에 있어서, 고체 방열 물질 및 액체 유연 물질을 준비하는 단계; 및 상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질을 기 설정된 비율로 혼합하여 상기 방열 소재를 형성하는 단계를 포함하는 방열 소재의 제작 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 방열 소재를 형성하는 단계는, 상기 방열 소재가 갖게 되는 열 전도율 및 상기 방열 소재가 상기 칩에 부착되는 접착성에 기초하여, 상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율을 적응적으로 조절하는 단계를 포함하는 방열 소재의 제작 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율을 적응적으로 조절하는 단계는, 상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율을 1:9의 비율로 조절하는 단계인 것을 특징으로 하는 방열 소재의 제작 방법
11 11
제8항에 있어서,상기 방열 소재를 형성하는 단계는, 상기 고체 방열 물질 및 상기 액체 유연 물질이 혼합되는 기 설정된 비율을 유기용매를 사용하여 조절하는 단계인 것을 특징으로 하는 방열 소재의 제작 방법
12 12
제8항에 있어서,상기 방열 소재를 형성하는 단계는, 액체 상태의 상기 방열 소재를 상기 칩에 도포하는 단계; 및 상기 칩에 도포된 액체 상태의 상기 방열 소재를 건조하여 상기 방열 소재를 경화하는 단계를 더 포함하는 방열 소재의 제작 방법
13 13
제8항에 있어서,상기 방열 소재를 형성하는 단계는, 액체 상태의 상기 방열 소재를 임시 기판에 분사 또는 도포하는 단계; 및 상기 임시 기판에 분사 또는 도포된 액체 상태의 상기 방열 소재를 건조하여 분리함으로써, 필름 형태로 구현된 상기 방열 소재를 제작하는 단계를 더 포함하는 방열 소재의 제작 방법
14 14
제13항에 있어서,필름 형태로 구현되는 상기 방열 소재의 두께를 조절하기 위하여, 상기 임시 기판에 분사 또는 도포된 액체 상태의 상기 방열 소재에 스핀 코팅을 수행하는 단계를 더 포함하는 방열 소재의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.