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반응 챔버;상기 반응 챔버의 일 측에 구비되고, 상기 반응 챔버 내로 원료 기체를 공급하는 원료 기체 주입부;상기 반응 챔버의 다른 일 측에 구비되고, 상기 반응 챔버 내로 주입된 원료 기체에 레이저 빔이 입사되는 레이저 빔 입사부; 및상기 반응 챔버 내부의 상기 레이저 빔이 입사되는 반대 측에 구비되고, 상기 레이저 빔 입사부로부터 입사된 레이저 빔이 충돌되는 레이저 빔 충돌부를 포함하고,상기 원료 기체는 상기 반응 챔버 내에서 상기 레이저 빔이 입사되는 방향을 따라 유동하는 나노입자 합성 장치
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청구항 1에 있어서,상기 반응 챔버의 적어도 일 부분은 외부에서 상기 레이저 빔에 의한 상기 원료 기체의 분해 반응이 관찰 가능한 것인 나노입자 합성 장치
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청구항 1에 있어서,상기 레이저 빔 충돌부의 외주면과 상기 반응 챔버의 내주면은 서로 이격되어 그 사이에 이격 공간이 형성되는 것인 나노입자 합성 장치
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청구항 1에 있어서,상기 레이저 빔 충돌부는 상기 입사된 레이저 빔이 흡수 또는 반사되는 코팅층이 적어도 일부 표면에 구비되는 것인 나노입자 합성 장치
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청구항 1에 있어서,상기 반응 챔버의 적어도 일부의 외주면에는 복수의 냉각핀이 구비되는 것인 나노입자 합성 장치
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청구항 1에 따른 나노입자 합성 장치를 이용한 나노입자의 합성 방법으로서,반응 챔버 내에 원료 기체를 공급하는 단계;상기 공급된 원료 기체에 레이저 빔을 조사하는 단계; 및입사된 상기 레이저 빔에 의한 상기 원료 기체의 분해 반응을 유도하여, 나노입자를 성장시키는 단계를 포함하고,상기 원료 기체는 상기 반응 챔버 내에서 상기 레이저 빔이 입사되는 방향을 따라 유동하는 나노입자의 합성 방법
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청구항 6에 있어서,상기 레이저는 CO2 연속 파 레이저인 것인 나노입자의 합성 방법
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청구항 6에 있어서,상기 원료 기체는 반응 기체 및 운반 기체를 포함하는 것인 나노입자의 합성 방법
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