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레이저 유도 플라즈마 셔터를 이용하는 레이저 조사기간 조정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2020001509
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저에서 유도 생성되는 플라즈마를 셔터로 이용하여 레이저 빔의 조사기간을 조정하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저를 타겟 펄스와 셔터 펄스로 분할하고; 분할된 레이저의 광경로를 변환시키고; 내부 압력이 조절되는 셀에서 상기 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마를 광학 셔터로 이용하여 상기 타겟 펄스를 절단;함으로써, 레이저 조사기간을 정밀하고 빠르게 조정할 수 있는 레이저 조사기간 조정 장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01S 3/00 (2019.01.01) H01S 3/11 (2006.01.01) H05H 1/46 (2006.01.01)
CPC H01S 3/005(2013.01) H01S 3/005(2013.01) H01S 3/005(2013.01) H01S 3/005(2013.01) H01S 3/005(2013.01) H01S 3/005(2013.01)
출원번호/일자 1020190012133 (2019.01.30)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2085571-0000 (2020.03.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.30)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 도형록 서울특별시 관악구
2 배상은 서울특별시 관악구
3 오성균 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 수안특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *,*층 (역삼동,형정빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0111202-56
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0019858-88
7 등록결정서
Decision to grant
2020.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0118411-60
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 광원으로부터 발생되는 레이저를 타겟 펄스와 셔터 펄스로 분할하는 빔 스플리터;상기 타겟 펄스의 경로와 상기 셔터 펄스의 경로가 교차되도록, 상기 타겟 펄스 또는 상기 셔터 펄스의 광경로를 변환시킬 수 있는 광경로변환부;내부 압력이 조절될 수 있고, 상기 타겟 펄스와 상기 셔터 펄스가 만나는 지점에 위치되되, 상기 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마를 형성하여 상기 타겟 펄스의 조사기간을 조정할 수 있는 플라즈마형성부; 및상기 셔터 펄스의 경로상에 위치되되, 상기 플라즈마형성부 내에 상기 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마가 형성되도록 상기 셔터 펄스를 집속시키는 집속부;를 포함하는, 레이저 조사기간 조정 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 플라즈마형성부는, 내부에서 상기 타겟 펄스가 상기 플라즈마 내를 전파하여 유도되는 역제동 방사(inverse-Bremsstrahlung) 광자 흡수를 활성화시켜, 상기 타겟 펄스가 절단되어 조사기간이 조정되는, 레이저 조사기간 조정 장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저는 인젝션 시딩(injection seeding)을 통해 안정화되는, 레이저 조사기간 조정 장치
4 4
청구항 1에 있어서,상기 플라즈마형성부는 압력 셀(pressure cell)인, 레이저 조사기간 조정 장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 플라즈마형성부 내부로 투명한 유체가 유입 및 방출되는, 레이저 조사기간 조정 장치
6 6
청구항 1에 있어서,상기 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저의 광량을 연속적으로 조절하기 위한 광량조절부를 더 포함하고, 상기 광량조절부 및 상기 빔 스플리터로 레이저 특성을 동일하게 유지시키면서 연속적으로 가변 가능한 집속 에너지를 상기 플라즈마형성부로 공급하는, 레이저 조사기간 조정 장치
7 7
청구항 1에 있어서,상기 타겟 펄스의 경로상에 위치되되, 상기 타겟 펄스가 상기 플라즈마형성부를 통과하기 전 또는 후에 통과되도록 위치되는 포화성 흡수체(saturable absorber)를 더 포함하는, 레이저 조사기간 조정 장치
8 8
레이저 광원으로부터 발생되는 레이저를 타겟 펄스, 제 1 셔터 펄스 및 제 2 셔터 펄스로 분할하는 적어도 하나의 빔 스플리터;상기 제 1 셔터 펄스와 상기 타겟 펄스의 경로가 교차되도록 하되, 상기 제 1 셔터 펄스의 광경로가 상기 타겟 펄스의 광경로보다 짧도록 상기 타겟 펄스의 광경로를 변환시킬 수 있는 제 1 광경로변환부;상기 제 2 셔터 펄스와 상기 타겟 펄스의 경로가 교차되도록 하되, 상기 제 2 셔터 펄스의 광경로가 상기 타겟 펄스의 광경로보다 길도록 상기 제 2 셔터 펄스의 광경로를 변환시킬 수 있는 제 2 광경로변환부;내부 압력이 조절될 수 있고, 상기 타겟 펄스와 상기 제 1 셔터 펄스가 만나는 지점에 위치되되, 상기 제 1 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마를 형성하여 상기 타겟 펄스의 전반부를 절단할 수 있는 제 1 플라즈마형성부;내부 압력이 조절될 수 있고, 상기 타겟 펄스와 상기 제 2 셔터 펄스가 교차되는 지점에 위치되되, 상기 제 2 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마를 형성하여 상기 타겟 펄스의 후반부를 절단할 수 있는 제 2 플라즈마형성부;상기 제 1 셔터 펄스의 경로상에 위치되되, 상기 제 1 플라즈마형성부 내에 상기 제 1 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마가 형성되도록 상기 제 1 셔터 펄스를 집속시키는 제 1 집속부; 및상기 제 2 셔터 펄스의 경로상에 위치되되, 상기 제 2 플라즈마형성부 내에 상기 제 2 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마가 형성되도록 상기 제 2 셔터 펄스를 집속시키는 제 2 집속부를 포함하는, 레이저 조사기간 조정 장치
9 9
청구항 8에 있어서,상기 제 1 플라즈마형성부 및 상기 제 2 플라즈마형성부는, 내부에서 상기 타겟 펄스가 상기 플라즈마 내를 전파하여 유도되는 역제동 방사(inverse-Bremsstrahlung) 광자 흡수를 활성화시켜, 상기 타겟 펄스가 절단되어 조사기간이 조정되는, 레이저 조사기간 조정 장치
10 10
청구항 8에 있어서,상기 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저는 인젝션 시딩(injection seeding)을 통해 안정화되는, 레이저 조사기간 조정 장치
11 11
청구항 8에 있어서,상기 제 1 플라즈마형성부 및 상기 제 2 플라즈마형성부는 압력 셀(pressure cell)인, 레이저 조사기간 조정 장치
12 12
청구항 8에 있어서,상기 제 1 플라즈마형성부 및 상기 제 2 플라즈마형성부 내부로 투명한 유체가 유입 및 방출되는, 레이저 조사기간 조정 장치
13 13
청구항 8에 있어서,상기 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저의 광량을 연속적으로 조절하기 위한 광량조절부를 더 포함하는, 레이저 조사기간 조정 장치
14 14
청구항 8에 있어서,상기 타겟 펄스의 경로상에 위치되는 포화성 흡수체(saturable absorber)를 더 포함하는, 레이저 조사기간 조정 장치
15 15
레이저 광원으로부터 발생되는 레이저를 타겟 펄스와 적어도 하나의 셔터 펄스로 분할하는 제 1단계;상기 타겟 펄스의 경로와 상기 셔터 펄스의 경로가 교차되도록, 상기 타겟 펄스 또는 상기 셔터 펄스의 광경로를 변환시키는 제 2단계; 상기 타겟 펄스와 상기 셔터 펄스가 만나는 지점에서, 상기 셔터 펄스로부터 유도되는 플라즈마를 형성하는 제 3단계; 및상기 플라즈마로 상기 타겟 펄스를 절단하고 조사기간을 조정하는 제 4단계를 포함하는, 레이저 조사기간 조정 방법
16 16
청구항 15에 있어서,상기 제 4단계는 상기 타겟 펄스가 상기 플라즈마 내를 전파하여 유도되는 역제동 방사(inverse-Bremsstrahlung) 광자 흡수를 활성화시켜 수행되는, 레이저 조사기간 조정 방법
17 17
청구항 15에 있어서,상기 레이저 광원으로부터 발생되는 레이저는 인젝션 시딩(injection seeding)을 통해 안정화되는, 레이저 조사기간 조정 방법
18 18
청구항 15에 있어서,상기 제 3단계 및 상기 제 4단계는, 압력이 조절되는 환경에서 수행되는, 레이저 조사기간 조정 방법
19 19
청구항 15에 있어서,상기 제 3단계 및 상기 제 4단계는, 투명한 유체가 유입 및 방출되는 환경에서 수행되는, 레이저 조사기간 조정 방법
20 20
청구항 15에 있어서,상기 타겟 펄스는 플라즈마로 절단되기 전후로 포화성 흡수체(saturable absorber)를 통과하여 추가적으로 절단되어 조사기간이 조정되는, 레이저 조사기간 조정 방법
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1 US2020244028 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 서울대학교 집단연구지원 광자-물질 상호작용 기반 열유동 제어 기초연구실