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간헐적으로 제1레이저빔을 검사대상에 조사하여 상기 검사대상에 열팽창이 일어나 초음파를 생성하도록 하는 레이저빔 조사부;상기 초음파를 검출하도록 상기 제1레이저빔과 파장이 다른 제2레이저빔을 상기 검사대상에 지속적으로 조사하는 초음파 측정부;상기 제1레이저빔과 제2레이저빔을 각각 전달받아 반사하여 검사대상의 동일 지점에 조사시키거나, 상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔을 상기 초음파 측정부로 전달하는 광 경로를 제공하는 레이저빔 조절부; 및상기 레이저빔 조사부와 초음파 측정부를 각각 제어하고, 상기 초음파 측정부로부터 측정된 신호를 전달받아 검사대상의 결함을 가시화하여 영상처리하는 제어부;를 포함하고,상기 레이저빔 조절부는,상기 레이저빔 조사부에서 조사되는 제1레이저빔을 반사시키는 제1반사 거울과, 상기 제1반사 거울로부터 반사된 제1레이저빔은 반사시키나, 상기 초음파 측정부에서 조사되는 제2레이저빔 또는 상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔은 그대로 통과시키는 색 선별 거울과, 상기 색 선별 거울에 의해 반사 및 통과된 제1레이저빔 및 제2 레이저빔을 반사시켜 검사대상의 동일 지점에 조사되고, 상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔은 반사시켜 상기 색 선별 거울쪽으로 전달되도록 하는 제2반사 거울이 부착된 갈바노미터로 이루어진 스캐너로 이루어지며, 상기 제1 레이저빔은 532 nm 또는 1064 nm의 파장을 사용하며, 상기 제2레이저빔은 상기 제1레이저빔과 다른 파장을 사용하는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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청구항 1에 있어서,상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔은 상기 스캐너의 제2반사 거울에 의해 반사되어 상기 색 선별 거울을 통과한 다음 상기 초음파 측정부로 전달되는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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청구항 2에 있어서,상기 레이저빔 조사부에서 제1레이저빔이 조사되는 부분에는 제1콜리메이터가 설치되고, 상기 레이저빔 조사부로부터 조사된 제1레이저빔이 제1반사 거울에 도달하기 전에 위치한 레이저빔 조절부에는 제2콜리메이터가 설치되며, 상기 제1콜리메이터와 제2콜리메이터는 제1광케이블로 연결되고,상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔이 상기 스캐너의 제2반사 거울에 의해 반사되어 상기 색 선별 거울을 통과한 부분에 위치한 상기 레이저빔 조절부에는 제3콜리메이터가 설치되며, 상기 제3콜리메이터를 통과한 제2레이저빔이 전달되는 초음파 측정부에는 제4콜리메이터가 설치되고, 상기 제3콜리메이터와 제4콜리메이터는 제2광케이블로 연결되는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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청구항 1에 있어서,상기 레이저빔 조사부와 초음파 측정부는 레이저빔 조절부에 일체로 마련되어 모듈화된 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 청구항에 있어서,상기 레이저빔 조절부는 다관절로 이루어진 로봇에 연결되고, 상기 로봇은 상기 제어부의 제어신호에 의해 위치조절이 이루어지는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 청구항에 있어서,상기 초음파 측정부는 레이저 도플러 진동계(LDV, laser doppler vibrometer)인 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 장치
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레이저빔 조사부에서 간헐적으로 제1레이저빔을 검사대상에 조사하여 상기 검사대상에 열팽창이 일어나 초음파를 생성하도록 하는 제1단계;초음파 측정부에서 상기 초음파를 검출하도록 상기 제1레이저빔과 파장이 다른 제2레이저빔을 상기 검사대상에 지속적으로 조사하는 제2단계;상기 제1레이저빔이 레이저빔 조절부의 제1반사 거울에 의해 반사되고, 상기 제1반사 거울로부터 반사된 제1레이저빔이 레이저빔 조절부의 색 선별 거울에 의해 반사되며, 상기 색 선별 거울로부터 반사된 제1레이저빔이 레이저빔 조절부의 제2반사 거울이 부착된 갈바노미터로 이루어진 스캐너에 의해 반사되어 검사대상에 조사되도록 하고, 상기 초음파 측정부에서 조사되는 제2레이저빔이 상기 색 선별 거울을 통과하며, 상기 색 선별 거울을 통과한 제2레이저빔이 제2반사 거울이 부착된 갈바노미터로 이루어진 스캐너에 의해 반사되어 상기 검사대상에 조사되도록 하는 제3단계;상기 검사대상에서 초음파를 검출한 제2레이저빔이 상기 스캐너의 제2반사 거울에 의해 반사되어 상기 색 선별 거울을 통과한 다음 상기 초음파 측정부로 전달되는 제4단계;상기 초음파 측정부로부터 측정된 신호를 전달받아 제어부에서 검사대상의 결함을 가시화하여 영상처리하는 제5단계;를 포함하며, 상기 제1 레이저빔은 532 nm 또는 1064 nm의 파장을 사용하며, 상기 제2레이저빔은 상기 제1레이저빔과 다른 파장을 사용하는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 방법
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청구항 7에 있어서,상기 레이저빔 조절부는 다관절로 이루어진 로봇에 연결되어 상기 제어부의 제어신호에 의해 상기 로봇을 제어함으로써, 상기 레이저빔 조절부의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 완전 비접촉 레이저 초음파 기반 3차원 구조물 결함 가시화 방법
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