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외부 환경으로부터 원통 코팅 공정을 보호해 줄 수 있는 차폐 장치;코팅 시 감광제 잔여 물질의 기체나 액체를 외부로 배출할 수 있는 배기장치;원통에 감광제를 일정한 양으로 분사하여 원통에 감광제를 도포하는 노즐;원통을 회전시켜 전면적에 감광제가 고르게 도포될 수 있도록 하는 장치;원통에 감광제 도포 후 감광제를 베이크할 수 있도록 열 처리를 할 수있는 장치;원통에 감광제가 원하는 두께로 코팅되었는지 실시간으로 측정할 수 있는 박막 측정 장치;를 포함하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 1 항에 있어서, 외부 환경으로부터 원통 코팅 공정을 보호 할 수 있도록 하는 챔버 구조와, 열처리 시 열이 외부로 배출되지 않도록 단열할 수 있는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 1 항에 있어서, 원통에 일정한 양의 감광제를 분사하기 위한 노즐은,대면적 원통에 적용할 수 있도록 용량에 맞는 감광제를 담을 수 있는 수조로 구성되어 있고,감광제를 분사하는 바늘을 코팅 공정 시 이송하기 쉽도록 수조와 바늘이 유연 파이프로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 3 항에 있어서, 수조와 바늘을 연결하는 유연 파이프는,내열성이 있는 열경화성 수지를 재료로 하는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 3 항에 있어서, 감광제를 저장하고 분사할 수 있는 장치는,다른 코팅된 물질이 열처리 되는 동안 열로부터 보호될 수 있도록 장치에 단열할 수있는 공간을 따로 두어 이에 보관하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 1 항에 있어서, 원통을 회전시키는 장치는,원통의 크기에 따라 지그의 높이를 조절할 수 있도록 하는 것으로 원통의 지름이 클수록 지그의 높이를 높여 장치의 바닥으로부터 이격시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 1 항에 있어서, 원통에 코팅 두께를 측정할 수 있도록 빛을 이용하여 박막 두께를 측정하는 기기를 설치하여 코팅된 원통을 코팅장치에서 분리하지 않아도 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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제 7 항에 있어서, 코팅 두께 측정 기기는,곡면을 가지는 원통에 빛을 조사하여 변화된 파장을 감지하여 두께를 측정하므로 조사된 빛이 원통 기판에 반사되어 감지센서에 정확히 입사될 수 있도록 원통과 측정 기기를 정렬 시키고 레일을 통해 정렬된 위치에 고정되고 원통의 축 방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 장치
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원통의 회전속도를 조절함으로 감광제의 코팅 균일도를 조절하는 단계;를 포함하고,감광제 점도에 따른 임계회전속도 이상으로 원통을 회전시켜 코팅 균일도를 조절하는 것을 특징으로 하는 일체형 나노원통 금형 제작을 위한 원통에서 감광제를 균일하게 코팅하는 방법
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