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광 간섭을 활용한 노광시스템

  • 기술번호 : KST2020001683
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 간섭을 활용한 노광시스템에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 광간섭을 활용하여 곡면에도 노광을 할 수 있는 일체형 노광시스템에 대한 것이다. 본 발명에 따른 노광시스템은 하우징과, 콜리메이터와, 렌저부와, 하우징과, 포토마스크와, 프리즘을 포함한다. 상기 하우징은 광선이 유입되는 입사구와, 상기 광선이 분사되는 출사구가 형성된다. 상기 콜리메이터는 상기 입사구에 장착된다. 상기 렌즈부는 상기 콜리메이터에서 분사되는 광선을 확대시키기 위하여 상기 하우징에 장착된다. 상기 포토마스크는 상기 렌즈부에서 분사되는 광선을 특정한 형태로 잘라주도록 상기 하우징에 장착된다. 상기 프리즘은 광선을 분할시킬 수 있는 복수의 입사면이 형성된 입사부와, 상기 입사면으로 입사된 광선을 간섭시킬 수 있게 반사하도록 복수의 반사면과 상기 반사면에서 반사된 광선이 빠져나가는 출사면이 형성된 반사부를 구비하며, 상기 포토마스크에서 분사된 광선이 상기 복수의 입사면의 입사되어 분할된 후 상기 반사면으로 반사되어 상기 출사면으로 분사될 수 있도록 상기 하우징의 출사구에 장착된다. 본 발명에 의하면, 프리즘을 사용함으로써 종래의 복잡한 광학시스템을 최소한으로 구현할 수 있으며 이를 하우징 내부에 일체화시킨 뒤 광섬유를 통해 나오는 광선으로 사용할 수 있게 설계하여 패턴을 원하는 위치에 쉽게 설치할 수 있다. 따라서 평면 뿐만 아니라 곡면에도 패턴을 형성할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01)
출원번호/일자 1020180099421 (2018.08.24)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0023058 (2020.03.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준한 부산광역시 북구
2 마용원 부산광역시 금정구
3 윤단희 부산광역시 해운대구
4 곽청렬 부산광역시 금정구
5 신보성 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0842596-29
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0855749-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0126754-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0822711-18
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0034411-76
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0150887-72
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0150881-09
9 등록결정서
Decision to grant
2020.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0402280-15
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번호 청구항
1 1
광선이 유입되는 입사구와, 상기 광선이 분사되는 출사구가 형성된 하우징과,상기 입사구에 장착된 콜리메이터와,상기 콜리메이터에서 분사되는 광선을 확대시키기 위하여 상기 하우징에 장착된 렌즈부와,상기 렌즈부에서 분사되는 광선을 특정한 형태로 잘라주도록 상기 하우징에 장착된 포토마스크와,광선을 분할시킬 수 있는 복수의 입사면이 형성된 입사부와, 상기 입사면으로 입사된 광선을 간섭시킬 수 있게 반사하도록 복수의 반사면과 상기 반사면에서 반사된 광선이 빠져나가는 출사면이 형성된 반사부를 구비하며, 상기 포토마스크에서 분사된 광선이 상기 복수의 입사면으로 입사되어 분할된 후 상기 반사면으로 반사되어 상기 출사면으로 출사될 수 있도록 상기 하우징의 출사구에 장착된 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 입사구로 레이저를 이송할 수 있게 콜리메이터에 연결된 광섬유를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광시스템
3 3
제2항에 있어서,상기 포토마스크는 상기 프리즘의 입사부로 입사되는 광선이 사각형 형태로 입사되도록 사각형인 것을 특징으로 하는 노광시스템
4 4
제3항에 있어서, 상기 프리즘은 상기 반사면이 알루미늄 또는 절연체로 거울 코팅되며, 상기 입사면과 출사면이 반사방지 코팅된 것을 특징으로 하는 노광시스템
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제4항에 있어서,상기 프리즘은 상기 입사부에 상기 입사면이 2개 또는 4개 형성되며, 상기 반사부에 상기 반사면이 2개 또는 4개 형성된 것을 특징으로 하는 노광시스템
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패밀리정보가 없습니다
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1 산업통상자원부 (재)경남테크노파크 산업기술혁신사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터