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적어도 하나의 제1 밸브의 제어를 통해 정압의 미세유체를 수신하여 맥동압력을 각각 가지는 복수의 채널들을 형성하는 비안정 구동기;상기 복수의 채널들 중 하나와 촉발채널로서 연결되고 촉발신호에 해당하는 맥동압력이 입력되면 적어도 하나의 제2 밸브의 제어를 통해 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단안정 구동기를 포함하고,상기 단안정 구동기는상기 적어도 하나의 제2 밸브의 기준압력이 입력압력 보다 높은 압력조건을 형성하여 폐쇄 상태를 유지하다가 상기 촉발신호에 해당하는 맥동압력이 입력되면 일정시간 동안 개방하고 다시 폐쇄되어 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서, 상기 비안정 구동기는상호 교번하는 복수의 아웃오브페이즈(out-of-phase) 맥동압력들을 형성하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서, 상기 비안정 구동기는 상기 맥동압력을 생성하기 위해 교번 개폐되고 상기 적어도 하나의 제1 밸브를 구성하는 제1 및 제2 제어밸브들; 및상기 제1 및 제2 제어밸브들과 각각 연결되는 제1 및 제2 멤브레인 커패시터들을 포함하고,상기 제2 멤브레인 커패시터는 상기 단안정 구동기와 연결되어 상기 맥동압력의 전이 시점에 상기 촉발채널을 형성하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서, 상기 단안정 구동기는 상기 촉발채널의 형성을 위해 상기 적어도 하나의 제2 밸브를 구성하는 제3 제어밸브; 및상기 제3 제어밸브와 연결되는 제3 멤브레인 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제4항에 있어서, 상기 단안정 구동기는 상기 제3 멤브레인 커패시터에 흐르는 미세유체에 의해 커패시터 압력이 상승하면 상기 제3 제어밸브를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제5항에 있어서, 상기 단안정 구동기는 상기 미세유체의 흐름이 중단되어 상기 커패시터 압력이 감소하면 상기 제3 제어밸브를 상기 일정시간동안 개방하고 다시 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제6항에 있어서, 상기 단안정 구동기는 상호 병렬 연결된 복수의 서브 단안정 구동기들을 포함하고, 전단 서브 단안정 구동기에 있는 적어도 하나의 제2 밸브의 폐쇄 및 후단 서브 단안정 구동기에 있는 적어도 하나의 제2 밸브의 개방을 순차적으로 수행하여 상기 유체 출력으로서 웨이브 유체 출력들을 생성하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제7항에 있어서, 상기 비안정 구동기는 상기 패쇄와 상기 개방 간의 주기를 제어하여 상기 웨이브 유체 출력들을 가변시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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제1 및 제2 제어밸브들의 교번 제어를 통해 정압의 미세유체를 수신하여 맥동압력을 각각 가지는 복수의 채널들을 형성하는 비안정 구동기; 및상기 복수의 채널들 중 하나와 촉발채널로서 연결되고 상기 제2 제어밸브의 폐쇄 시점에서 제3 제어밸브의 개방을 통해 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단안정 구동기를 포함하고,상기 제3 제어밸브는전자회로의 트랜지스터로 해석되는 양방향 유체 이동이 가능한 밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동장치
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비안정 구동기가 적어도 하나의 제1 밸브의 제어를 통해 정압의 미세유체를 수신하여 맥동압력을 각각 가지는 복수의 채널들을 형성하는 단계;단안정 구동기가 상기 복수의 채널들 중 하나와 촉발채널로서 연결되고 촉발신호에 해당하는 맥동압력이 입력되면 적어도 하나의 제2 밸브의 제어를 통해 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단계를 포함하고,상기 단안정 구동기가 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단계는상기 적어도 하나의 제2 밸브의 기준압력이 입력압력 보다 높은 압력조건을 형성하여 폐쇄 상태를 유지하다가 상기 촉발신호에 해당하는 맥동압력이 입력되면 일정시간 동안 개방하고 다시 폐쇄되어 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동방법
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제10항에 있어서, 상기 단안정 구동기가 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단계는 복수의 서브 단안정 구동기들이 상호 병렬 연결되는 단계를 더 포함하고,상기 상호 병렬 연결된 복수의 서브 단안정 구동기들이 전단 서브 단안정 구동기에 있는 적어도 하나의 제2 밸브의 폐쇄 및 후단 서브 단안정 구동기에 있는 적어도 하나의 제2 밸브의 개방을 순차적으로 수행하여 상기 유체 출력으로서 웨이브 유체 출력들을 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동방법
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제11항에 있어서, 상기 단안정 구동기가 일정시간 동안 유체 출력을 생성하는 단계는상기 패쇄와 상기 개방 간의 주기를 제어하여 상기 웨이브 유체 출력들을 가변시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 주기적인 미세유체 구동방법
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