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웨이퍼 상에 형성된 복수 개의 기준저항;각 기준저항의 사이에 형성되는 열전부와, 상기 기준저항의 일단으로부터 직렬로 하나 이상 연결되는 열전부;각 측정접점(기준저항과 열전부의 양단)과 측정단자 사이를 전기적으로 연결하는 연결배선들로 이루어지는 배선부; 및상기 열전부가 형성된 층과 상기 배선부가 형성된 층의 사이에 배치되는 층간절연층을 포함하고,상기 기준저항과 열전부는 동일한 층에 형성되며,상기 각 측정접점과 그에 대응하는 연결배선은 상기 층간절연층을 관통하여 형성되는 비아 홀을 통해 서로 연결되고,상기 열전부는 열전쌍(thermocouple)을 형성하는 2 종류의 도선이 서로 교대로 복수회 반복하여 직렬 연결되는 형태로 구성되며,상기 각 도선은 두 영역 사이에서 지그재그 형태로 형성되고, 상기 각 영역의 크기는 100μm 이하이며, 상기 두 영역 사이의 거리는 1cm 이상인 것을 특징으로 하는, 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기준저항은 상기 웨이퍼의 중심에서 에지를 향하여 직선 방향으로 3개가 단속적으로 형성되고, 인접한 두 기준저항의 사이에 상기 열전부가 형성되는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 2 종류의 도선은 금으로 이루어진 도선과 백금으로 이루어진 도선인 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 2 종류의 도선이 교대로 반복하여 나타나는 횟수는 100회 이상 1,000회 이하인 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 비아 홀은 금 또는 백금으로 채워지는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 연결배선은 금으로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기준저항의 양단과 상기 측정단자 사이에 연결되는 기준저항 측정배선을 더 포함하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기준저항과 열전부가 형성된 층은 상기 배선부가 형성된 층보다 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서
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제1항에 기재된 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서를 제조하는 방법으로서,웨이퍼 상에 각 측정접점과 측정단자를 연결할 연결배선을 형성하는 단계;상기 연결배선 위에 층간절연층을 형성하는 단계;상기 각 연결배선의 일단이 노출되도록 상기 층간절연층에 비아 홀을 형성하는 단계;상기 각 비아 홀에 도전플러그를 형성하는 단계; 및상기 도전플러그에 상기 각 측정접점이 전기적으로 접속되도록 각 기준저항과 열전부를 형성하는 단계를 포함하고,상기 기준저항은 상기 웨이퍼의 중심에서 에지를 향하여 직선 방향으로 3개가 단속적으로 형성되며, 인접한 두 기준저항의 사이에는 상기 열전부가 형성되고,상기 열전부는 열전쌍(thermocouple)을 형성하는 2 종류의 도선이 서로 교대로 복수회 반복하여 직렬 연결되며,상기 각 도선은 두 영역 사이에서 지그재그 형태로 형성되고, 상기 각 영역의 크기는 100μm 이하이며, 상기 두 영역 사이의 거리는 1cm 이상인 것을 특징으로 하는, 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 2 종류의 도선이 교대로 반복하여 나타나는 횟수는 100회 이상 1,000회 이하인 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 연결배선은 금으로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서 제조 방법
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