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2차원 절대 위치 측정 방법 및 절대 위치 측정 장치

  • 기술번호 : KST2020001840
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정밀 다축 스테이지 시스템의 평면 모션 측정을 위한 새로운 절대 X-Y-Θ 위치 센서를 제공한다. 2차원 위상 인코딩된 이진 스케일 (2D phase-encoded binary scale; 2D PEBS)의 회전된 관심 영역(ROI)의 이미지를 분석하여, 두 개의 분리된 점에서 절대 위치 값을 각각 얻는다. 이 값들을 결합하여, 절대 X-Y-Θ 위치를 계산할 수 있다.
Int. CL G01D 5/245 (2006.01.01) G06F 17/14 (2006.01.01)
CPC G01D 5/2454(2013.01) G01D 5/2454(2013.01)
출원번호/일자 1020180124033 (2018.10.17)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-2082476-0000 (2020.02.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.17)
심사청구항수 28

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종안 대전광역시 유성구
2 김재완 대전광역시 유성구
3 이재용 충청북도 청주시 상당구
4 우제흔 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1025117-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0022544-43
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0627767-89
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0996111-67
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0996097-15
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0114690-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
2차원 절대 위치 스케일을 이용한 위치 측정 방법에 있어서,기준 좌표계(X-Y)의 상기 2차원 절대 위치 스케일을 촬상하여 회전 좌표계(X'-Y')의 스케일 이미지를 제공하는 단계;상기 스케일 이미지의 전부 또는 일부를 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)으로 선택하고 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계; 상기 스케일 이미지에서 서로 이격된 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 제2 예비 관심 영역(ROI2)을 각각 선택하고 상기 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 상기 제2 예비 관심 영역(ROI2)을 상기 예비 회전 각도(θ)로 회전시키고 예비 회전 각도(θ)로 회전된 예비 기준 좌표계(X''-Y'')를 기준으로 절단하여 제1 관심 영역(ROI1') 및 제2 관심 영역(ROI2')을 각각 산출하는 단계;상기 제1 관심 영역(ROI1')을 디코딩하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제1 중심 위치(X1,Y1)를 산출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')을 디코딩하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 중심 위치(X2,Y2)를 산출하는 단계;상기 제1 관심 영역의 상기 중심 위치(X1,Y1)와 상기 제2 관심 영역의 상기 중심 위치(X2,Y2)를 사용하여 상기 2차원 절대 위치 스케일의 위치(X,Y) 및 회전 각도(Θ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 스케일 이미지의 일부를 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)으로 선택하고 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계는:상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 공간 주파주 도메인(FX-FY)으로 푸리어 변환하는 단계;상기 푸리어 변환된 푸리어 변환 스펙트럼에서 직류 성분을 제거하는 필터를 안가하여 4 개의 포인트 스펙트럼의 중심 위치를 선택하는 단계; 및4 개의 포인트 스펙트럼 중에서 하나의 중심 위치를 선택하여 공간 주파주 도메인의 중심점을 기준으로 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 제2 예비 관심 영역(ROI2) 각각은 상기 푸리어 변환 관심 영역의 중심(FFT ROI)을 기준으로 회전 좌표계(X'-Y')의 축 방향으로 각각 일정한 거리만큼 이격되어 배치되고, 상기 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 제2 예비 관심 영역(ROI2) 각각은 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)과 중첩되지 않도록 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 제1 관심 영역(ROI1')은 상기 회전된 제1 예비 관심 영역(ROI1) 내에서 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 정사각형 형태로 절단되고,상기 제2 관심 영역(ROI2')은 상기 회전된 제2 예비 관심 영역(ROI2') 내에서 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 상기 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 정사각형 형태로 절단되는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
5 5
제1 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제1 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제2 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
6 6
제5 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
7 7
제1 항에 있어서,2차원 절대 위치 스케일은 2차원 위상 인코딩된 이진 스케일인 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
8 8
제1 항에 있어서,상기 제1 관심 영역(ROI1')을 디코딩하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제1 중심 위치(X1,Y1)를 산출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')을 디코딩하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 중심 위치(X2,Y2)를 산출하는 단계는:상기 제1 관심 영역(ROI1')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향(X'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 강도 프로파일(Isum(y))을 제공하는 단계;상기 제1 관심 영역(ROI1')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제2 방향(Y'')으로 합산 또는 평균화되어 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제1 방향 강도 프로파일(Isum(x))을 제공하는 단계;상기 제2 관심 영역(ROI2')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향(X'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 강도 프로파일(Isum(y))을 제공하는 단계;상기 제2 관심 영역(ROI2')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제2 방향(Y'')으로 합산 또는 평균화되어 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제1 방향 강도 프로파일(Isum(x))을 제공하는 단계;상기 제1 관심 영역(ROI1')의 상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 중심 위치(Y1)를 제공하는 단계;상기 제1 관심 영역(ROI1')의 상기 제1 방향 강도 프로 파일(Isum(x))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제1 방향 중심 위치(X1)를 제공하는 단계;상기 제2 관심 영역(ROI2')의 상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 중심 위치(Y2)를 제공하는 단계; 및상기 제2 관심 영역(ROI2')의 상기 제1 방향 강도 프로 파일(Isum(x))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제1 방향 중심 위치(X2)를 제공하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
9 9
제7 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 제2 관심 영역(ROI2')의 상기 제1 방향 강도 프로 파일(Isum(x))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제1 방향 중심 위치(X1)를 제공하는 단계는:상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))에서 상기 클락 섹션에 대응하는 클락 픽셀들(Cp)을 찾는 단계;상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))에서 상기 클락 픽셀들(Cp)로부터 상기 데이터 섹션에 대응하는 절대코드 픽셀들을 산출하고 기준값과 비교하여 데이터 셀의 논리 상태를 판별하는 단계;상기 데이터 셀들로 구성된 코드 워드를 절대 위치 코드로 변환하는 단계;상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))에서 상기 데이터 섹션에 대응하는 위치이고 상기 데이터 셀에 대응하는 각 픽셀 서브셋에서 최대 세기를 가질 것으로 기대되는 데이터 픽셀들(Dp)을 선택하는 단계;상기 데이터 픽셀들(Dp) 주위의 픽셀들의 세기 분포를 이용하여 위상을 계산하는 단계; 및상기 위상과 상기 절대 위치 코드를 이용하여 절대 위치를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
10 10
2차원 절대 위치 이진 스케일을 이용한 위치 측정 방법에 있어서,기준 좌표계(X-Y)의 상기 2차원 절대 위치 스케일을 촬상하여 회전 좌표계(X'-Y')의 스케일 이미지를 제공하는 단계;상기 스케일 이미지의 일부를 푸리어 변환 관심 영역으로 선택하고 상기 푸리어 변환 관심 영역을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계;상기 스케일 이미지의 중심 위치를 기준으로 회전 좌표계(X'-Y')의 제1 방향(X')으로 일정한 거리로 이격된 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 제2 예비 관심 영역(ROI2)을 선택하고 상기 제1 예비 관심 영역(ROI1)과 상기 제2 예비 관심 영역(ROI2)을 상기 예비 회전 각도(θ)로 회전시키고 예비 기준 좌표계(X''-Y'')를 기준으로 절단하여 제1 관심 영역(ROI1') 및 제2 관심 영역(ROI2')을 산출하는 단계;상기 스케일 이미지의 중심 위치를 기준으로 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(Y')으로 일정한 거리로 이격된 제3 예비 관심 영역(ROI3)과 제4 예비 관심 영역(ROI4)을 선택하고 상기 제3 예비 관심 영역(ROI3)과 상기 제4 예비 관심 영역(ROI4)을 상기 예비 회전 각도(θ)로 회전시키고 예비 기준 좌표계(X''-Y'')를 기준으로 절단하여 제3 관심 영역(ROI3') 및 제4 관심 영역(ROI4')을 산출하는 단계;상기 제1 관심 영역(ROI1')을 디코딩하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 중심 위치(Y1)를 산출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')을 디코딩하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 중심 위치(Y2)를 산출하는 단계;상기 제3 관심 영역(ROI3')을 디코딩하여 상기 제3 관심 영역(ROI3')의 제1 방향 중심 위치(X1)를 산출하고 상기 제4 관심 영역(ROI4')을 디코딩하여 상기 제4 관심 영역(ROI4')의 제1 방향 중심 위치(X2)를 산출하는 단계; 및상기 제1 관심 영역의 제2 방향 중심 위치(Y1), 상기 제2 관심 영역의 제2 방향 중심 위치(Y2), 상기 제3 관심 영역의 제1 방향 중심 위치(X1), 및 상기 제4 관심 영역의 제1 방향 중심 위치(X2)를 사용하여 상기 2차원 절대 위치 스케일의 위치(X,Y) 및 회전 각도(Θ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
11 11
제10 항에 있어서,상기 제1 관심 영역(ROI1')을 디코딩하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 중심 위치(Y1)를 산출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')을 디코딩하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 중심 위치(Y2)를 산출하는 단계는:상기 제1 관심 영역(ROI1')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향(X'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 강도 프로파일(Isum(y))을 제공하는 단계; 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제1 관심 영역(ROI1')의 제2 방향 중심 위치(Y1)를 산출하는 단계;상기 제2 관심 영역(ROI2')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향(X'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 강도 프로파일(Isum(y))을 제공하는 단계; 및상기 제2 관심 영역(ROI2')의 상기 제2 방향 강도 프로 파일(Isum(y))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제2 관심 영역(ROI2')의 제2 방향 중심 위치(Y2)를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
12 12
제10 항에 있어서,상기 제3 관심 영역(ROI3')을 디코딩하여 상기 제3 관심 영역(ROI3')의 제1 방향 중심 위치(X1)를 산출하고 상기 제4 관심 영역(ROI4')을 디코딩하여 상기 제4 관심 영역(ROI4')의 제1 방향 중심 위치(X2)를 산출하는 단계는:상기 제3 관심 영역(ROI3')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제2 방향(Y'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제3 관심 영역(ROI3')의 제1 방향 강도 프로파일(Isum(x))을 제공하는 단계; 상기 제3 관심 영역(ROI3')의 상기 제1 방향 강도 프로 파일(Isum(x))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제3 관심 영역(ROI3')의 제1 방향 중심 위치(X1)를 산출하는 단계; 상기 제4 관심 영역(ROI4')을 구성하는 픽셀들을 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제2 방향(Y'')으로 합산 또는 평균화하여 상기 제4 관심 영역(ROI4')의 제1 방향 강도 프로파일(Isum(x))을 제공하는 단계; 및상기 제4 관심 영역(ROI4')의 상기 제1 방향 강도 프로 파일(Isum(x))을 이용하여 절대 위치 코드 및 위상을 추출하고 상기 제4 관심 영역(ROI4')의 제1 방향 중심 위치(X2)를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
13 13
제10 항에 있어서,상기 스케일 이미지의 일부를 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)으로 선택하고 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계는:상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 공간 주파주 도메인(FX-FY)으로 푸리어 변환하는 단계;상기 푸리어 변환된 푸리어 변환 스펙트럼에서 직류 성분을 제거하는 DC 필터를 안가하여 4 개의 포인트 스펙트럼의 중심 위치를 선택하는 단계; 및4 개의 포인트 스펙트럼 중에서 하나를 선택하여 공간 주파주 도메인의 중심점을 기준으로 예비 회전 각도(θ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
14 14
제10 항에 있어서,상기 제1 예비 관심 영역과 제2 예비 관심 영역 각각은 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)의 중심을 기준으로 좌측 및 우측으로 각각 일정한 거리만큼 이격되어 배치되고, 상기 제1 예비 관심 영역과 제2 예비 관심 영역 각각은 상기 푸리어 변환 관심 영역과 중첩되지 않도록 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
15 15
제10 항에 있어서,상기 제1 관심 영역은 상기 회전된 제1 예비 관심 영역 내에서 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 정사각형 형태로 절단되고,상기 제2 관심 영역은 상기 회전된 제2 예비 관심 영역 내에서 예비 기준 좌표계(X''-Y'')의 상기 제1 방향과 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 정사각형 형태로 절단되는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
16 16
제10 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제1 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제2 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
17 17
제16 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
18 18
2차원 절대 위치 스케일을 이용한 위치 측정 방법에 있어서,기준 좌표계(X-Y)의 상기 2차원 절대 위치 스케일을 촬상하여 회전 좌표계(X'-Y')의 스케일 이미지를 제공하는 단계;상기 스케일 이미지의 전부 또는 일부를 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)으로 선택하고 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(Θ)를 산출하는 단계; 상기 스케일 이미지의 전부 또는 일부를 상기 예비 회전 각도(θ)로 회전된 예비 기준 좌표계(X''-Y'')를 기준으로 절단하여 관심 영역(ROI을 각각 추출하는 단계; 및상기 관심 영역(ROI)을 디코딩하여 그 중심 위치를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
19 19
제18 항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 상기 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드에 대응하는 일차원 데이터 셀들의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, 각 섹션은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제1 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 일차원 데이터 셀은 제2 상태를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
20 20
제19 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
21 21
2차원 절대 위치 이진 코드로 구성된 2차원 절대 위치 스케일;상기 2차원 절대 위치 스케일에 광을 조사하는 광원;상기 2차원 절대 위치 스케일을 감지하는 광센서 어레이; 및상기 광센서 어레이가 생성한 2차원 절대 위치 스케일의 스케일 이미지를 처리하여 상기 2차원 절대 위치 스케일의 위치(X,Y) 및 회전 각도(Θ)를 산출하는 신호 처리부를 포함하고,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드와 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고,상기 1차원 데이터 셀은 제1 상태(“0”) 또는 제2 상태(“1”)를 나타내고,제1 상태(“0”)를 나타내는 상기 1차원 데이터 셀은 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,제2 상태(“1”)를 나타내는 상기 1차원 데이터 셀은 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교차점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교차점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교차점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교차점에 마킹되는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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제21항에 있어서,상기 광원의 출력광을 반사시키어 상기 2차원 절대 위치 스케일에 제공하고 상기 2차원 절대 위치 스케일에서 반사된 광을 투과시키는 빔 분리기;상기 빔 분리기를 투과한 광을 상기 광센서 어레이에 집속하는 렌즈; 상기 광원, 상기 빔 분리기, 및 상기 렌즈를 지지하는 지지부;상기 광센서 어레이를 장착하는 광센서 어레이 지지부; 및상기 광센서 어레이 지지부와 상기 렌즈 사이의 간격을 유지하는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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제21항에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일을 장착하고 직선 운동 및 회전 운동 중에서 적어도 하나를 제공하는 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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삭제
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제21 항에 있어서,상기 데이터 섹션, 상기 중립 섹션, 및 상기 클락 섹션 각각은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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제25 항에 있어서,상기 신호 처리부는, 상기 스케일 이미지의 전부 또는 일부를 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)으로 선택하고, 상기 푸리어 변환 관심 영역(FFT ROI)을 푸리어 변환하여 예비 회전 각도(Θ)를 산출하고,상기 신호 처리부는, 상기 스케일 이미지의 전부 또는 일부를 상기 예비 회전 각도(θ)로 회전된 예비 기준 좌표계(X''-Y'')를 기준으로 절단하여 관심 영역(ROI을 각각 추출하고,상기 신호 처리부는, 상기 관심 영역(ROI)을 디코딩하여 그 중심 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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절대 위치 이진 코드로 구성된 2차원 절대 위치 이진 스케일에 있어서,상기 2차원 절대 위치 스케일은 기준 좌표계의 제1 방향으로 배열된 제1 절대 위치 이진 코드과 제2 방향으로 배열된 제2 절대 위치 이진 코드의 조합으로 구성된 2차원 데이터 셀들을 포함하고,상기 제1 절대 위치 이진 코드 및 상기 제2 절대 위치 이진 코드 각각은 1차원 데이터 셀들로 구성되고, 상기 1차원 데이터 셀은 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고, (0,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교점에 마킹되고,(0,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교점에 마킹되고,(1,0) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “0”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교점에 마킹되고,(1,1) 상태를 나타내는 2차원 데이터 셀은 제2 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)과 제1 방향의 절대 위치 이진 코드의 “1”을 나타내는 데이터 섹션(D)의 교점에 마킹되는 것을 특징으로 하는 2차원 절대 위치 이진 스케일
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제 27항에 있어서,상기 데이터 섹션, 상기 중립 섹션, 및 상기 클락 섹션 각각은 하나 이상의 일정한 간격의 세그먼트를 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제1 상태(“0”)를 나타내고 연속적으로 배열된 데이터 섹션, 중립 섹션, 및 클락 섹션을 포함하고,상기 1차원 데이터 셀은 제2 상태(“1”)를 나타내고 연속적으로 배열된 중립 섹션, 데이터 섹션, 및 클락 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 절대 위치 이진 스케일
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제28 항에 있어서,상기 중립 섹션은 2 세그먼트이고,상기 데이터 섹션은 3 세그먼트이고,상기 클락 섹션은 3 세그먼트인 것을 특징으로 하는 2차원 절대 위치 이진 스케일
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