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기판 일측 면에 일정 간격으로 두 개 이상의 돌출부가 형성된 선형패턴을 갖는 요철면이 형성된 것으로, 상기 돌출부는 폭이 50 내지 500nm이고, 요철 주기가 50 내지 500nm인 선형패턴이 형성된 선형패턴 기판을 준비하는 단계;박막 증착 장비 내부의 상부에 형성된 기판 거치대를 0°초과 내지 85°미만의 경사각으로 기울이고, 기울어진 기판 거치대에 상기 선형패턴 기판을 설치하는 기판 설치 단계; 및상기 경사각으로 일정 기울어진 선형패턴 기판이 설치된 기판 거치대의 중심에 설치되어 중심을 기준으로 회전가능한 회전축이 설정된 회전 주기에 따라 회전하여 선형패턴 기판에 증착 물질이 증착하여 증착 박막을 형성하는 경사 입사 증착 단계;를 포함하며,상기 경사 입사 증착 단계는, 상기 선형패턴 기판의 중심축을 기준으로 45° 내지 180° 회전 각도로 회전하는 반주기 또는 360° 회전 각도로 회전하는 연속주기로 선형패턴 기판을 회전하며 선형패턴 기판에서 돌출부의 최상부 면에 증착 물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 경사 입사 증착을 이용한 선형 편광자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 경사 입사 증착 단계는,상기 기판을 0
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제1항에 있어서,상기 경사 입사 증착 단계는,물리적 증착 방식(Physical Vapor Deposition)을 기반으로 한 전자-빔 증착 방법(E-beam evaporation), 스퍼터링 방법(sputtering) 및 열증착 방법(thermal evaporation) 중에서 선택되는 어느 하나의 방법으로 기판에 증착 물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 경사 입사 증착을 이용한 선형 편광자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 증착 물질은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 구리(Cu) 및 크롬(Cr) 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 또는 이들 중 어느 둘 이상의 조합에 의한 합금이거나,SiO2, TiO2 및 Al2O3 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 금속 산화물인 것을 특징으로 하는 경사 입사 증착을 이용한 선형 편광자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 경사 입사 증착 단계를 통해 형성된 상기 증착 박막의 두께는 0
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제1항, 제4항, 제5항, 제8항, 및 제9항 중 어느 한 항의 제조 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 선형 편광자
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제10항에 있어서,상기 선형 편광자의 파장은 3000 내지 15000nm 범위의 적외선 파장인 것을 특징으로 하는 선형 편광자
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