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(1단계) 용매로 오링용 고무패킹 표면을 세척 건조한 후 플라즈마 처리하여 1차 표면처리하는 단계;(2단계) 1차 표면처리된 오링용 고무패킹을 농도가 0
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제1항에 있어서,상기 1단계에서 플라즈마 처리는 공기, 수소, 질소, 산소, 아르곤 및 암모니아로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 가스 존재하에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 의료용 금속 표면에 패럴린 박막을 코팅하는 방법
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제1항에 있어서,상기 알킬트리알콕시실란은 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 메틸트리프로폭시실란, 메틸트리이소프로폭시실란, 에틸트리메톡시실란, 에틸트리에톡시실란, 프로필트리메톡시실란, 프로필트리에톡시실란, 부틸트리메톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 페닐트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, γ-글리시톡시프로필트리메톡시실란, γ-아크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, γ-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 디메틸디메톡시실란 및 메틸페닐디메톡시실란으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 오링용 고무패킹 표면을 개질하는 방법
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제1항에 있어서,상기 1단계 또는 3단계에서 용매는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올, 이소부탄올 또는 이의 수용액으로 이루어진 군에서 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 오링용 고무패킹 표면을 개질하는 방법
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제1항에 있어서,상기 3단계에서 패럴린 박막은 증착 시 조성압력은 5 ~ 20 mTorr인 것을 특징으로 하는 오링용 고무패킹 표면을 개질하는 방법
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