| 1 |
1
기정의된 파장 및 출력 범위를 가지는 제1 및 제2 입사광을 측정 대상물의 형상 측정 및 시료의 성분 분석을 위해 순차적으로 출력하는 광원부;상기 광원부와 'ㄱ'자 형상으로 배치되며 상기 제1 및 제2 입사광이 하나의 미러에 의해 상기 측정 대상물로 입사되는 입사 경로를 수직하게 형성하는 입사부;상기 제1 입사광에 의하여 상기 측정 대상물로부터 반사되는 제1 측정광을 수광하여 형상 측정 장치로 출력하는 제1 수광부; 및상기 제2 입사광에 의하여 상기 측정 대상물로부터 출력되는 제2 측정광을 수광하여 성분 분석 장치로 출력하는 제2 수광부;를 포함하되,상기 입사부는,상기 하나의 미러에 의해 수직하게 입사 경로가 변경되는 상기 제1 및 제2 입사광을 상기 측정 대상물로 조사하는 하우징을 포함하며,상기 제2 수광부는,상기 하우징의 외부면에서 독립적으로 구성되며, 상기 제2 측정광을 상기 성분 분석 장치로 출력하는 광파이버를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 광원부는,상기 제1 및 제2 입사광 중 어느 하나의 광을 출력하며, 상기 제1 입사광을 제2 입사광으로, 또는 상기 제2 입사광을 제1 입사광으로 변조하는 광 변조장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 제1 측정광이 상기 형상 측정 장치로 입사되는 제1 수광 경로는, 상기 입사 경로와 적어도 일부가 중첩되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 제2 측정광이 상기 성분 분석 장치로 입사되는 제2 수광 경로는, 상기 제1 수광 경로와 독립적으로 형성되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 제2 수광부는,상기 하우징의 단부측에 형성되어 상기 측정 대상물로부터 출력되는 제2 측정광을 수광하여 상기 광 파이버로 안내하는 광 가이드 장치;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 7 |
7
제1파워를 가지는 제1레이저광을 출력하는 레이저 광원;상기 레이저 광원에서 출력된 상기 제1파워를 가지는 상기 제1레이저광을 변조하여 제2파워를 갖는 제2레이저광을 출력하는 레이저광 변조부;상기 제1 및 제2레이저광의 진행 경로를 시료의 방향으로 각각 수직하게 변경하는 하나의 미러; 상기 제1 및 제2레이저광을 투과하거나 시료에서 반사된 광을 반사하는 빔스프리터;상기 하나의 미러에 결합되어 상기 레이저 광원과 'ㄱ'자 형상으로 배치되며 상기 빔스프리터에서 투과된 상기 제1 및 제2레이저광을 상기 시료에 조사하는 대물렌즈;상기 시료의 형상 측정을 위하여 상기 제1레이저광이 상기 시료에서 반사된 광을 상기 대물렌즈를 통하고 상기 빔스플리터에서 반사되는 제1경로로 전달받아 촬상하여 상기 시료의 영상을 획득하는 카메라;상기 제2레이저광으로 상기 시료에서 발생된 플라즈마에서 방사된 광을 집광하는 링광가이드;상기 링광가이드에 광결합되고 상기 대물렌즈의 외부면을 따라 구비되어 상기 링광가이드에 집광된 광을 검출하는 광파이버; 및상기 시료에서 발생된 플라즈마에서 방사된 광을 상기 링광가이드 및 상기 광파이버로 전달되는 제2경로로 입력받아 분광 스펙트럼을 측정하는 스펙트로미터;를포함하는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 제1경로 및 상기 제2경로는 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 9 |
9
제7항에 있어서, 상기 링광가이드의 재질은 글래스이고,상기 링광가이드는 도넛형상이고, 상기 링광가이드는 내부가 비어있는 코어 공기층; 및 상기 코어 공기층을 감싸는 환상의 글래스층;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 광파이버와 결합되는 상기 링광가이드 영역의 글래스층에 광파이버 결합공이 형성되어 있고, 상기 광파이버 결합공은 상기 글래스층 외부에서 상기 코어 공기층까지 연통되는 구조로 이루어지고, 상기 광파이버가 상기 광파이버 결합공에 삽입되어 광결합되어 상기 광파이버의 단부가 상기 코어 공기층에 노출되는 것을 특징으로 하는 일체형 광학 장치
|
