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이송되는 기판 위에 원자층을 증착시키는 원자층 증착장치용 헤드에 있어서,상기 헤드는,가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 기판의 진행방향을 따라 형성되는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 탑레이어부에서 분사된 가스가 기판의 진행방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 탑레이어부 및 미드레이어부 사이에 구비되며, 상기 탑레이어부에서 분사되는 가스의 방향을 바꾸어 균일하게 분산되도록 하는 탑미드분산레이어부;상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부;상기 미드레이어부 및 상기 바텀레이어부 사이에 구비되며, 상기 미드레이어부를 통과한 가스를 기판의 폭방향으로 균일하게 분사시키는 미드바텀분산레이어부를 포함하고,상기 탑미드분산레이어부에는, 상기 탑레이어부에서 주입되는 가스가 기판의 폭방향으로 양갈래로 나뉘어 분산되도록 하는 분산주입홀이 형성되고, 상기 분산주입홀의 하부에는 상기 분산주입홀을 기준으로 기판의 진행방향으로 가스의 양을 양분하는 갈라진 균일분사로가 구비되고,상기 미드바텀분산레이어부에는, 상단이 상기 미드레이어부의 슬릿과 연통되고 타단이 바텀레이어부로 향하도록 구비되되, 모두 기판의 폭방향으로 미리 설정된 동일한 위치에 형성되는 폭방향균일분사로가 형성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 헤드
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제1항에 있어서,상기 균일분사로는 아래방향으로 동일 각도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 헤드
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기판을 이송시키는 이송부;상기 기판 위에 원자층을 적층시키는 헤드부를 포함하며,상기 헤드는,가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 기판의 진행방향을 따라 형성되는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 탑레이어부에서 분사된 가스가 기판의 진행방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 탑레이어부 및 미드레이어부 사이에 구비되며, 상기 탑레이어부에서 분사되는 가스의 방향을 바꾸어 균일하게 분산되도록 하는 탑미드분산레이어부;상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부;상기 미드레이어부 및 상기 바텀레이어부 사이에 구비되며, 상기 미드레이어부를 통과한 가스를 기판의 폭방향으로 균일하게 분사시키는 미드바텀분산레이어부를 포함하고,상기 탑미드분산레이어부에는, 상기 탑레이어부에서 주입되는 가스가 기판의 폭방향으로 양갈래로 나뉘어 분산되도록 하는 분산주입홀이 형성되고, 상기 분산주입홀의 하부에는 상기 분산주입홀을 기준으로 기판의 진행방향으로 가스의 양을 양분하는 갈라진 균일분사로가 구비되고,상기 미드바텀분산레이어부에는, 상단이 상기 미드레이어부의 슬릿과 연통되고 타단이 바텀레이어부로 향하도록 구비되되, 모두 기판의 폭방향으로 미리 설정된 동일한 위치에 형성되는 폭방향균일분사로가 형성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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