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고효율 원자층 증착장치용 헤드 및 그것을 이용한 원자층 증착장치

  • 기술번호 : KST2020002004
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전구체 및 증착가스를 균일하게 분사할 수 있는 헤드구조를 가진 균일분사로를 갖는 원자층 증착장치에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 이송되는 기판 위에 원자층을 증착시키는 원자층 증착장치용 헤드에 있어서, 상기 헤드는, 가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 형성되는 탑레이어부; 상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 탑레이어부에서 분사된 가스가 기판의 이송방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부; 상기 탑레이어부 및 미드레이어부 사이에 구비되며, 상기 탑레이어부에서 분사되는 가스의 방향을 바꾸어 균일하게 분산되도록 하는 탑미드분산레이어부; 상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부를 포함하여 구성되는 원자층 증착장치용 헤드를 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 연속적인 공정으로 종래보다 빠른 속도로 박막이 형성된 휘어지는 기판을 제조할 수 있으며, 기판의 폭방향으로 모든 가스가 균일하게 분사되어 고품질의 박막이 형성된 기판을 제조할 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45548(2013.01)C23C 16/45548(2013.01)C23C 16/45548(2013.01)C23C 16/45548(2013.01)
출원번호/일자 1020180087647 (2018.07.27)
출원인 제주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0012392 (2020.02.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.07.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 대한민국 제주특별자치도 제주시 제주

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경현 제주특별자치도 제주
2 김현범 제주특별자치도
3 이재욱 제주특별자치도 서귀

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 피앤피특허법인 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 **, *동 *층 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 제주특별자치도 제주시 제주
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0743943-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2019-0012338-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0038669-77
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0276527-72
6 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0344206-50
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2020-0485489-71
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0485472-06
9 등록결정서
Decision to grant
2020.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0719966-62
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번호 청구항
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이송되는 기판 위에 원자층을 증착시키는 원자층 증착장치용 헤드에 있어서,상기 헤드는,가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 형성되는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 가스가 기판의 진행방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부;상기 미드레이어부 및 바텀레이어부의 사이에 구비되어 상기 가스를 기판 폭방향으로 균일하게 분사시키는 폭방향균일분사로가 형성된 미드바텀분산레이어부; 및상기 탑레이어부 및 상기 미드레이어부 사이에 구비되고, 상기 가스가 이동하는 분산주입홀과, 상기 분산주입홀을 통해 이동하는 가스를 기판진행방향으로 양분하는 균일분사로가 형성된 탑미드분산레이어부를 포함하고,상기 탑미드분산레이어부는 복수개의 층으로 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 헤드
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제1항에 있어서,상기 폭방향균일분사로의 일단은 미드레이어부의 슬릿과 연통되고, 타단은 바텀레이어부로 향하도록 형성되며, 상기 폭방향균일분사로의 타단은 가스의 종류에 관계없이 폭방향으로 동일한 간격으로 형성되도록 상기 폭방향균일분사로는 절곡된 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 헤드
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기판 위에 원자층을 적층시키는 헤드를 포함하는 원자층 증착장치에 있어서,상기 헤드는,가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 형성되는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 가스가 기판의 진행방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부;상기 미드레이어부 및 바텀레이어부의 사이에 구비되어 상기 가스를 기판 폭방향으로 균일하게 분사시키는 폭방향균일분사로가 형성된 미드바텀분산레이어부; 및상기 탑레이어부 및 상기 미드레이어부 사이에 구비되고, 상기 가스가 이동하는 분산주입홀과, 상기 분산주입홀을 통해 이동하는 가스를 기판진행방향으로 양분하는 균일분사로가 형성된 복수의 탑미드분산레이어부를 포함하고,상기 탑미드분산레이어부는 복수개의 층으로 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 제주대학교 산학협력단 산업핵심기술개발사업 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온상압 패턴 증착 장비 개발