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원자층 증착장치용 가스 공급시스템

  • 기술번호 : KST2020002008
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 분사되는 분자량을 일정하게 유지하면서 유동속도를 제어할 수 있는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은, 액체상태의 전구체가 수용되는 캐니스터; 상기 캐니스터로 삽입되어 불활성기체를 주입시키는 불활성기체주입관; 상기 불활성기체의 압력에 의해 배출되는 전구체를 헤드방향으로 이송하는 전구체배출관; 상기 전구체배출관에 의해 운송된 전구체를 기화시킴과 동시에 유동속도를 제어하는 원자화유닛; 상기 원자화유닛에 의해 기화된 전구체를 헤드로 이송시키는 헤드분사관을 포함하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템을 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 헤드로 주입되는 불활성 가스, 전구체 및 반응가스의 분사량 및 분사속도를 각각 원하는 대로 조절할 수 있어 정밀하게 분사시킬 수 있는 이점이 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC C23C 16/45548(2013.01) C23C 16/45548(2013.01) C23C 16/45548(2013.01) C23C 16/45548(2013.01)
출원번호/일자 1020180091533 (2018.08.07)
출원인 제주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0016428 (2020.02.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.07)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 대한민국 제주특별자치도 제주시 제주

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경현 제주특별자치도 제

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 피앤피특허법인 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 **, *동 *층 ***호

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0777025-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2018-0071291-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0038671-69
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0276682-30
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0334201-43
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0334243-50
8 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0344136-52
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0719967-18
10 [법정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-1243688-75
11 법정기간연장승인서
2020.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0175759-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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액체상태의 전구체가 수용되는 캐니스터;상기 캐니스터로 삽입되어 불활성기체를 주입시키는 불활성기체주입관;상기 불활성기체의 압력에 의해 배출되는 전구체를 헤드방향으로 이송하는 전구체배출관;상기 전구체배출관에 의해 운송된 전구체를 기화시킴과 동시에 유동속도를 제어하는 원자화유닛;상기 원자화유닛에 의해 기화된 전구체를 헤드로 이송시키는 헤드분사관을 포함하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템
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제1항에 있어서,상기 원자화유닛은 상기 원자화유닛 내부로 상기 전구체를 기화시켜 분출하는 노즐이 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템
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제2항에 있어서,상기 원자화유닛은 상기 전구체의 유동속도를 제어하는 불활성기체를 분출하는 유동속도제어부가 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 제주대학교 산학협력단 산업핵심기술개발사업 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온상압 패턴 증착 장비 개발