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베이스기판;상기 베이스기판상에 형성된 멤브레인층;상기 멤브레인층 내측영역에 형성된 감지전극;상기 멤브레인층 상기 감지전극과 동일 평면상에 전기적 절연되도록 형성된 히터전극;상기 감지전극의 전기적 연결을 위해 상기 멤브레인층 내측영역에 이격된 외측영역에 형성된 감지전극패드;상기 히터전극의 전기적 연결을 위해 상기 멤브레인층 내측영역으로부터 이격된 외측영역에 상기 감지전극패드와 전기적 절연되도록 형성된 히터전극패드;상기 멤브레인층상에 형성되되, 상기 감지전극이 노출되고, 상기 감지전극패드 및 상기 히터전극패드가 부분적으로 노출되도록 적층되는 절연층; 및 상기 감지전극에 직접 접촉되도록 적층되는 감지물질;을 포함하는 가스센서
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청구항 1에 있어서,상기 히터전극은,상기 멤브레인층 상에 상기 감지전극 외측을 감싸도록 형성되며, 상하 교대로 굴곡되어 일측 방향으로 연속되는 형상의 패턴을 갖는 가스센서
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청구항 2에 있어서,상기 감지전극은,상기 히터전극 내측에 형성되되, 상호 마주보는 방향으로 돌출된 적어도 하나 이상의 돌출전극을 포함하는 가스센서
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청구항 1에 있어서,상기 멤브레인층상에 상기 감지전극과 상기 감지전극패드를 전기적으로 연결하도록 형성되는 감지전극배선; 및상기 멤브레인층상에 상기 히터전극과 상기 히터전극패드를 전기적으로 연결하도록 형성되는 히터전극배선;을 포함하고,상기 절연층은 상기 감지전극배선 및 상기 히터전극배선을 커버하도록 적층되는 가스센서
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청구항 4에 있어서,상기 감지전극패드는 상기 멤브레인층 일측방향 양단에 제1 감지전극패드 및 제2 감지전극패드로 형성되고,상기 히터전극패드는 상기 멤브레인층 타측방향 양단에 제1 히터전극패드 및 제2 히터전극패드로 형성되고,상기 감지전극과 상기 제1 감지전극패드와 전기적 연결되는 제1 감지전극배선, 상기 감지전극과 상기 제2 감지전극패드와 전기적 연결되는 제2 감지전극배선;상기 히터전극과 상기 제1 히터전극패드와 전기적 연결되는 제1 히터전극배선, 상기 히터전극과 상기 제2 히터전극패드와 전기적 연결되는 제2 히터전극배선;을 더 포함하는 가스센서
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6
청구항 5에 있어서,상기 베이스기판은상기 멤브레인층의 내측영역과 외측영역 사이 영역에 대응되는 부분을 제1 공동으로 형성하는 가스센서
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7
청구항 6에 있어서,상기 멤브레인층 및 상기 절연층은 상기 멤브레인층의 상기 내측영역과 상기 외측영역 사이의 영역에서, 상기 제1 및 제2 감지전극배선과 상기 제1 및 제2 히터전극배선을 지지하는 영역 이외의 영역을 제2 공동으로 형성하는 가스센서
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청구항 7에 있어서,상기 베이스기판은 평면이 사각형의 형상으로 이루어 지고,상기 제1 감지전극패드 및 상기 제2 감지전극패드는 상기 베이스기판 평면의 일측방향 양 모서리 부분에 각각 형성되고,상기 제1 히터전극패드 및 상기 제2 히터전극패드는 상기 베이스기판 평면의 타측방향 양 모서리 부분에 각각 형성되며,상기 제1 공동 및 상기 제2 공동은, 상기 베이스기판 평면상의 상기 제1 감지전극패드와 상기 제2 감지전극패드 사이, 상기 제1 히터전극패드와 상기 제2 히터전극패드 사이, 상기 제1 감지전극패드와 상기 제1 감지전극패드에 인접한 제1 히터전극패드 사이 및 상기 제2 감지전극패드와 상기 제2 전극패드에 인접한 상기 제2 히터전극패드 사이에 각각 형성되되, 외측방향으로 폭이 넓어지도록 형성되어 외측 방향 양끝 모서리가 곡선으로 형성되는 삼각형 형상을 이루는 가스센서
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베이스기판을 준비하는 단계;상기 베이스기판상에 멤브레인층을 형성하는 단계;상기 멤브레인층상에 도금층을 형성하는 단계;상기 멤브레인층상에 내측영역에 히터전극 및 감지전극을 상호 절연되도록 형성하고, 상기 멤브레인층 내측영역으로부터 이격된 외측영역에 상기 히터전극에 전기적 연결되는 히터전극패드 및 상기 감지전극과 상기 감지전극과 전기적 연결되는 감지전극패드를 상호 절연되도록 상기 도금층을 패터닝하는 단계;상기 히터전극패드와 상기 감지전극패드의 일부 영역 및 상기 감지전극만이 노출되도록 상기 멤브레인층상에 절연층을 형성하는 단계 및상기 노출된 감지전극상에 직접 접촉되도록 감지물질을 도포하는 단계를 포함하는 가스센서의 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 금속층을 히터전극과 상기 히터전극에 전기적 연결되는 히터전극패드 및 상기 감지전극과 상기 감지전극과 전기적 연결되는 감지전극패드를 상호 절연되도록 패터닝하는 단계는,상기 히터전극과 상기 히터전극패드를 전기적 연결하는 히터전극배선 및상기 감지전극과 상기 감지전극패드를 전기적 연결하는 감지전극배선을 동시에 형성하는 단계를 더 포함하는 가스센서의 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 히터전극패드와 상기 감지전극패드의 일부 영역 및 상기 감지전극만이 노출되도록 상기 멤브레인층상에 절연층을 형성하는 단계 이후에,상기 멤브레인층의 내측영역과 외측영역 사이에, 상기 히터전극배선 및 상기 감지전극배선을 지지하는 영역 이외의 멤브레인층을 제거하는 단계를 더 포함하는 가스센서의 제조방법
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12
청구항 11에 있어서,상기 멤브레인층의 내측영역과 외측영역 사이에, 상기 히터전극배선 및 상기 감지전극배선을 지지하는 영역 이외의 멤브레인층을 제거하는 단계는,상기 멤브레인층의 내측영역과 외측영역 사이에, 상기 히터전극배선 및 상기 감지전극배선을 지지하는 상기 멤브레인층 영역 이외의 영역에 대응되는 상기 베이스기판 영역을 제거하는 단계를 더 포함하는 가스센서의 제조방법
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