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약액 챔버, 상부 일측에 형성된 중간 배출구 및 상부 타측에 형성된 개방구를 포함하는 마이크로 바디;상기 개방구를 덮는 제1 멤브레인;상기 중간 배출구의 덮으며 상기 중간 배출구로부터 이격된 위치에 형성된 약액 배출구를 포함하는 제2 멤브레인; 및상기 제1 멤브레인에 형성되는 마그네틱 구동부;를 포함하며,상기 마그네틱 구동부가 자기장 내에서 일 방향으로 이동하면서 상기 제1 멤브레인이 상기 약액 챔버 내의 약액을 가압하고, 상기 약액 중 일부가 상기 중간 배출구를 통해 상기 제2 멤브레인 및 상기 마이크로 바디의 상면 사이로 이동하고, 상기 제2 멤브레인이 부분적으로 변형되면서 상기 약액 배출구를 통해 약액을 배출하는 초박형 약액 펌프
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제1항에 있어서,상기 제1 멤브레인 및 상기 제2 멤브레인은 동일 멤브레인으로 형성된 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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제2항에 있어서,상기 개방구에서의 멤브레인 변형과 상기 중간 배출구에서의 멤브레인 변형을 차단하기 위해 상기 개방구 및 상기 중간 배출구 사이의 상기 멤브레인 중 일부를 상기 마이크로 바디의 상면에 고정시킨 고정 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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제3항에 있어서,상기 마이크로 바디는 바닥을 형성하는 제1 레이어, 상기 제1 레이어 상에서 상기 약액 챔버를 위한 최외곽 측벽을 형성하는 제2 레이어, 상기 제2 레이어 상에 제공되며 상기 개방구 및 상기 중간 배출구를 제공하는 제3 레이어, 상기 제3 레이어 상에 상기 멤브레인이 제공되고, 그리고 상기 멤브레인 상에 제공되며 상기 고정 영역을 포함한 상기 개방구 및 상기 중간 배출구 주변을 덮는 제4 레이어를 포함하고,상기 제3 및 제4 레이어에 의해서 상기 멤브레인이 상기 마이크로 바디에 고정되며, 상기 고정 영역에서 상기 멤브레인은 상기 제3 및 제4 레이어에 의해서 고정되어 상기 개방구 주변에서의 상기 멤브레인 일부의 변형이 상기 중간 배출구 주변의 상기 멤브레인으로 전달되지 않는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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제4항에 있어서,상기 제3 레이어에서 상기 주변 배출구 주변으로 비접착 영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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6
제5항에 있어서,상기 비접착 영역에 대응하여 상기 멤브레인과 접하는 상기 제3 레이어의 상면에 복수의 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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7
제5항에 있어서,상기 비접착 영역에 대응하여 상기 멤브레인의 저면 및 상기 제3 레이어의 상면을 마스킹 처리하고, 산소 플라스마에 노출시키는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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8
제1항에 있어서,상기 마그네틱 구동부는 상기 개방구의 직경의 중앙에 위치하며,상기 개방구의 직경에 대한 상기 마그네틱 구동부의 직경은 0
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9
제1항에 있어서,상기 마이크로 바디는 오스테머를 이용하여 제공되고, 상기 멤브레인은 PDMS를 이용하여 제공되는 것으 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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10
제1항에 있어서,상기 마그네틱 구동부는 PDMS와 자성 나노입자를 교반하여 제공되는 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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11
제1항에 있어서,상기 마그네틱 구동부는 상기 제1 멤브레인의 저면에서 상기 약액 챔버를 향하도록 형성된 것을 특징으로 하는 초박형 약액 펌프
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