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전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법

  • 기술번호 : KST2020002286
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도전성 빔, 도전성 빔의 일측 방향으로 이격된 주 고정전극 및 도전성 빔의 타측 방향으로 이격된 보조 고정전극을 포함하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법에 관한 것으로, 보조 고정전극에 풀백 전압을 인가하여 도전성 빔을 초기 위치로부터 보조 고정전극의 방향으로 미리 설정된 풀백 위치까지 절곡시키는 단계, 및 주 고정전극에 풀인 전압을 인가하여 도전성 빔을 풀백 위치로부터 주 고정전극의 방향으로 절곡시키고, 도전성 빔과 주 고정전극 간에 도전 경로를 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 41/09 (2006.01.01) H01L 41/047 (2006.01.01) H01L 41/22 (2006.01.01)
CPC H01L 41/0926(2013.01) H01L 41/0926(2013.01) H01L 41/0926(2013.01)
출원번호/일자 1020180106134 (2018.09.05)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0027831 (2020.03.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.05)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최우영 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정부연 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 ** ***동 ***,***호(서초동, 한빛위너스)(현신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0884433-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0012009-59
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0705059-80
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1142818-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1142810-45
8 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2020-0157077-14
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0229125-87
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.04.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0438244-12
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0438268-07
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0335592-94
13 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.06.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5014822-08
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도전성 빔, 상기 도전성 빔의 일측 방향으로 이격된 주 고정전극 및 상기 도전성 빔의 타측 방향으로 이격된 보조 고정전극을 포함하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법에 있어서,상기 보조 고정전극에 풀백 전압을 인가하여 상기 도전성 빔을 초기 위치로부터 상기 보조 고정전극의 방향으로 미리 설정된 풀백 위치까지 절곡시키는 단계; 및상기 주 고정전극에 풀인 전압을 인가하여 상기 도전성 빔을 상기 풀백 위치로부터 상기 주 고정전극의 방향으로 절곡시키고, 상기 도전성 빔과 상기 주 고정전극 간에 도전 경로를 형성하는 단계를 포함하고,상기 풀백 위치는상기 풀백 전압이 상기 풀인 전압과 동일할 때 상기 도전성 빔이 상기 초기 위치로부터 이동한 거리이고,상기 도전성 빔을 상기 풀백 위치만큼 절곡시키는 단계 이후에 상기 풀백 전압을 차단시키는 단계를 더 포함하고,상기 풀인 전압은아래의 [수학식 1]에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 도전성 빔의 상기 초기 위치로부터 상기 풀백 위치까지의 거리는 상기 도전성 빔과 상기 보조 고정전극 간의 이격 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
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삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
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제1항에 있어서, 상기 주 고정전극은상기 풀인 전압이 인가되는 제어 고정전극 및 상기 도전성 빔과 접촉되어 상기 도전 경로를 형성하고, 상기 제어 고정전극과 이격되어 배치된 출력 고정전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 보조 고정전극은상기 풀백 전압이 인가되는 제어 고정전극 및 상기 도전성 빔과 접촉되어 상기 도전 경로를 형성하고, 상기 제어 고정전극과 이격된 출력 고정전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
8 8
도전성 빔, 상기 도전성 빔의 일측 방향으로 이격된 제1 고정전극 및 상기 도전성 빔의 타측 방향으로 상기 제1 고정전극과 대칭하여 배치된 제2 고정전극을 포함하고, 상기 도전성 빔과 상기 제1 및 제2 고정전극 중 어느 하나 간에 도전 경로를 형성하여 스위칭하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법에 있어서,상기 제1 및 제2 고정전극 중 상기 스위칭 방향과 반대 방향에 위치한 고정전극에 풀백 전압을 인가하여 상기 도전성 빔을 초기 위치로부터 상기 스위칭 방향과 반대 방향으로 미리 설정된 풀백 위치만큼 절곡시키는 단계; 및상기 제1 및 제2 고정전극 중 상기 스위칭 방향에 위치한 고정전극에 풀인 전압을 인가하여 상기 도전성 빔을 상기 풀백 위치로부터 상기 스위칭 방향으로 절곡시키고, 상기 도전 경로를 형성하는 단계를 포함하고,상기 풀백 위치는상기 풀백 전압이 상기 풀인 전압과 동일할 때 상기 도전성 빔이 상기 초기위치로부터 이동한 거리이고,상기 도전성 빔을 상기 풀백 위치만큼 절곡시키는 단계 이후에 상기 풀백 전압을 차단시키는 단계를 더 포함하고,상기 풀인 전압은아래의 [수학식 2]에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 도전성 빔의 상기 초기 위치로부터 상기 풀백 위치까지의 거리는 상기 도전성 빔과 상기 제2 고정전극 간의 이격 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
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11 11
삭제
12 12
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13 13
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 고정전극 각각은상기 풀인 전압 및 상기 풀백 전압 중 어느 하나가 인가되는 제어 고정전극 및 상기 도전성 빔과 접촉되어 상기 도전 경로를 형성하고, 상기 제어 고정전극과 이격되어 배치된 출력 고정전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기기계적 스위칭 소자의 구동 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 서강대학교 중견연구자지원사업 초저전력 전자 소자를 이용한 삼차원 이종집적 재구성가능 시스템의 개발
2 과학기술정보통신부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 나노·소재기술개발사업 재구성로직 소자 기술개발