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진공관에 연결된 전단 펌프 및 후단 펌프와, 진공관의 외측에 설치된 리모트 플라즈마 장치를 포함하며,상기 리모트 플라즈마 장치는, 상기 진공관에 형성된 제1 개구를 둘러싸며 상기 진공관의 외벽에 고정된 관형의 접지 전극과, 접지 전극의 단부에 결합된 절연체와, 절연체의 외면에 위치하는 고전압 전극을 포함하고,상기 접지 전극은, 상기 진공관과 교차하는 제1 관형부와, 제1 관형부의 절연체측 단부보다 제1 관형부의 진공관측 단부에 더 가깝도록 제1 관형부의 내측에 위치하며 상기 진공관의 내경보다 작은 직경의 제2 개구가 형성된 고리 형상의 제한부를 포함하고,상기 제한부는 플라즈마 영역을 상기 리모트 플라즈마 장치의 내부 공간으로 제한하며, 플라즈마에서 생성된 전자와 라디칼이 상기 진공관을 통해 상기 전단 펌프 및 상기 후단 펌프로 확산되는 진공 펌프 시스템
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제1항에 있어서,상기 제한부는 상기 절연체와 마주하는 측이 경사면으로 이루어지고,상기 경사면은 상기 제한부의 두께가 상기 제2 개구로부터 멀어질수록 커지는 경사를 가지는 진공 펌프 시스템
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 절연체는, 상기 제1 관형부의 단부에 결합되며 상기 제1 관형부보다 큰 길이를 가지는 제2 관형부와, 상기 제2 관형부의 단부를 막는 덮개부를 포함하고,상기 고전압 전극은, 상기 제2 관형부를 둘러싸는 관형 전극과, 상기 제2 관형부를 나선형으로 감싸는 코일형 전극 중 어느 하나인 진공 펌프 시스템
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제6항에 있어서,상기 리모트 플라즈마 장치는 상기 고전압 전극보다 상기 진공관으로부터 더 멀리 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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제6항에 있어서,상기 리모트 플라즈마 장치는 상기 고전압 전극보다 상기 진공관에 더 가깝게 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 절연체는 상기 제1 관형부의 단부를 막는 판형으로 이루어지고,상기 고전압 전극은 상기 절연체보다 작은 크기의 판형으로 이루어지는 진공 펌프 시스템
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제9항에 있어서,상기 제1 관형부는 상기 제한부보다 상기 절연체에 더 가깝게 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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진공관에 연결된 전단 펌프 및 후단 펌프와, 진공관의 외측에 설치된 리모트 플라즈마 장치를 포함하며,상기 리모트 플라즈마 장치는, 상기 진공관에 형성된 제1 개구를 둘러싸며 상기 진공관의 외벽에 고정된 관형의 접지 전극과, 접지 전극의 단부에 결합된 절연체와, 절연체의 외면에 위치하는 고전압 전극을 포함하고,상기 접지 전극은, 상기 진공관과 교차하는 제1 관형부와, 제1 관형부의 절연체측 단부와 거리를 두고 제1 관형부의 내측에 위치하며 복수의 제2 개구가 형성된 판형의 제한부를 포함하고, 상기 복수의 제2 개구의 전체 면적은 상기 진공관 내부 공간의 단면적보다 작으며,상기 제한부는 플라즈마 영역을 상기 리모트 플라즈마 장치의 내부 공간으로 제한하고, 플라즈마에서 생성된 전자와 라디칼이 상기 진공관을 통해 상기 전단 펌프 및 상기 후단 펌프로 확산되는 진공 펌프 시스템
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제11항에 있어서,상기 복수의 제2 개구는 가상의 원을 따라 정렬된 복수의 원호형(arc shape) 개구로 이루어지는 진공 펌프 시스템
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제12항에 있어서,상기 제한부는 상기 제1 관형부의 진공관측 단부와 거리를 두고 상기 제1 관형부에 연결되며, 상기 제1 관형부의 절연체측 단부보다 진공관측 단부에 더 가깝게 위치하는 진공 펌프 시스템
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제11항에 있어서,상기 절연체는, 상기 제1 관형부의 단부에 결합되며 상기 제1 관형부보다 큰 길이를 가지는 제2 관형부와, 제2 관형부의 단부를 막는 덮개부를 포함하고,상기 고전압 전극은, 상기 제2 관형부를 둘러싸는 관형 전극과, 상기 제2 관형부를 나선형으로 감싸는 코일형 전극 중 어느 하나인 진공 펌프 시스템
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제14항에 있어서,상기 리모트 플라즈마 장치는 상기 고전압 전극보다 상기 진공관으로부터 더 멀리 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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제14항에 있어서,상기 리모트 플라즈마 장치는 상기 고전압 전극보다 상기 진공관에 더 가깝게 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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제11항에 있어서,상기 절연체는 상기 제1 관형부의 단부를 막는 판형으로 이루어지고,상기 고전압 전극은 상기 절연체보다 작은 크기의 판형으로 이루어지는 진공 펌프 시스템
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제17항에 있어서,상기 제1 관형부는 상기 제한부보다 상기 절연체에 더 가깝게 위치하는 세정 가스 주입을 위한 제3 개구를 구비하는 진공 펌프 시스템
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