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제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되고 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합되어 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수평 자유 이송 모듈이 적층되고, 상기 수평 자유 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고,상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며, 상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구
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제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되고 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 고정부는 상기 쐐기 부재의 상기 제2 경사부 상에 결합되어 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고, 상기 수직 이송 모듈 상에 상기 수평 자유 이송 모듈이 적층되고,상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며,상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구
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제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되며 제1 고정부와 상기 제1 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제1 이동부를 포함하는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 구동 이송 모듈;상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송되며 제2 고정부와 상기 제2 고정부 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 이동부를 포함하는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 수평 자유 이송 모듈; 및제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 발생되는 상기 제1 축 방향을 따른 변위를 상기 제1 축 및 상기 제2 축에 각각 수직한 제3 축을 따른 변위로 변환하며 제1 경사부와 상기 제1 경사부의 경사면 상에 슬라이딩 이동 가능하도록 결합되는 제2 경사부를 포함하는 쐐기 부재를 포함하는 수직 이송 모듈을 포함하며,상기 제1 구동 부재 및 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 고정부는 상기 제2 리니어 가이드 부재의 상기 제2 이동부 상에 결합되고 상기 제2 구동 부재 및 상기 쐐기 부재의 상기 제1 경사부는 상기 제1 리니어 가이드 부재의 상기 제1 이동부 상에 결합되어 상기 수평 자유 이송 모듈 상에 상기 수평 구동 이송 모듈이 적층되고, 상기 수평 구동 이송 모듈 상에 상기 수직 이송 모듈이 적층되고,상기 제1 구동 부재와 상기 제2 구동 부재는 상기 제1 축을 따라 상기 쐐기 부재에 대하여 동일한 측에 위치하며,상기 수평 자유 이송 모듈은 구동 부재를 포함하지 않고 상기 수평 구동 이송 모듈 및 상기 수직 이송 모듈에서 발생되는 위치 이동에 반응하여 위치이동 되면서 이송을 수행하는 것을 특징으로 하는 미세 이송기구
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 축과 상기 제2 축은 서로 직교하는, 미세 이송기구
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 리니어 가이드 부재, 상기 제2 리니어 가이드 부재 또는 상기 쐐기 부재 중 최상층에 적층되는 어느 하나의 상부에 모션 플레이트를 틸팅 가능하게 연결시키기 위한 조인트 모듈을 더 포함하는, 미세 이송기구
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베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트의 상방에 이격 배치되는 모션 플레이트; 및제10항에 따른 미세 이송기구를 포함하며,상기 미세 이송기구는,상기 베이스 플레이트 상에 적어도 2개 이상 배치되어 상기 모션 플레이트를 지지하며 이송시키고, 상기 미세 이송기구의 수평 구동 이송 모듈의 제1 구동 부재의 구동에 의한 상기 제1 리니어 가이드 부재의 이송 및 상기 미세 이송기구의 수직 이송 모듈의 제2 구동 부재의 구동에 의한 상기 쐐기 부재의 이송 중 적어도 하나 이상의 이송에 연동하여, 상기 미세 이송기구의 수평 자유 이송 모듈의 제2 리니어 가이드 부재가 이송됨으로써 상기 모션 플레이트의 6-자유도 이송이 가능하도록 구성되는, 초정밀 포지셔닝 장치
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제11항에 있어서,상기 미세 이송기구는,상기 제1 축이 일방으로 연장되는 제1 미세 이송기구; 및상기 제2 축이 상기 제1 미세 이송기구의 상기 제1 축과 동일한 방향으로 연장되는 제2 미세 이송기구를 포함하는, 초정밀 포지셔닝 장치
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제12항에 있어서,상기 제1 미세 이송기구는,상기 제1 축이 동일한 방향으로 연장되는 복수 개가 구비되며, 상기 베이스 플레이트 상에 서로 이격 배치되는, 초정밀 포지셔닝 장치
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제11항에 있어서,상기 베이스 플레이트 상에 배치되며, 상기 모션 플레이트의 이송에 따라 변형되면서 상기 모션 플레이트를 지지하는 보조 지지기구를 더 포함하는, 초정밀 포지셔닝 장치
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